大塚電子の製品・サービス一覧

『MINUK』は、目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化できる 光波動場三次元顕微鏡です。　 nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得可能。ワンショットで 深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム 表面の傷や欠陥の断面形状や三次元形状を可視化し数値化することができます。 高速で広範囲をマッピングし情報を得ることができるスティッチング機能に より、観察したい場所を素早く見つけ、詳細情報を取得することが可能です。 【特長】 ■nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ■1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得 ■フォーカス不要で高速測定が可能 ■非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能 ■任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SM-100 series』は高精度かつ簡単に持ち運び・操作ができる膜厚計です。 現場での抜き取り検査や成膜条件の検討にも柔軟に対応が可能。 基材(ガラス・プラスチック)を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で測ることができます。 ■持ち運び可能なハンディタイプ ■高精度測定＆簡単測定 ■多層膜も対応 ■非破壊・非接触測定 ■様々なサンプルを測定 ※詳しくは＜PDFダウンロード＞より資料をご覧ください。 　デモ機を無料貸し出し中！＜お問い合わせ＞よりお申し込みいただけます。

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！

『MCPD Series』は、高感度のためmicroLEDの評価に適した マルチチャンネル分光器です。 スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 しているほか、日本産業規格(JIS)に対応。 また、低迷光機能搭載により、UV評価や量子効率評価に好適で、 当社従来機種に比べて迷光率が約1/5となっております。 【特長】 ■減光機能搭載によりハイパワー光源の評価も可能 ■広いダイナミックレンジを有し、LED、有機ELなどの測定に好適 ■スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■日本産業規格(JIS)に対応 ■低迷光機能搭載により、UV評価や量子効率評価に好適、 　当社従来機種に比べて迷光率を約1/5に ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)」は、インラインでの フィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせる ことで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの 膜厚測定が可能。 また、膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポートや、バタつきに 強い光学系を採用しているなどといった特長が備わっております。 【特長】 ■ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■高速・高精度に測定が可能 ■バタつきに強い光学系を採用 ■幅広のサンプル(TD方向に最大10m測定可能) ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「ラインスキャン膜厚計(オフライン)」は、フィルムなどの研究開発や 品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な 装置です。 フィルムなどの面内膜厚ムラを検査することができ、全面を高速かつ高精度 に測定可能。 また、測定範囲は0.1～300μmで、測定幅は250mm。ハード・ソフト共に オリジナル設計となっております。 【特長】 ■フィルムなどの面内膜厚ムラを検査可能 ■全面を高速かつ高精度に測定可能 ■膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート ■分光測定による高精度な膜厚測定 ■ハード・ソフト共にオリジナル設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『RETS-100nx』は、OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差 フィルム付偏光板など、多種多様なフィルムに対応したリタデーション測定 装置です。 超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現し、フィルムの積層状態を "剥がさず、非破壊"で測定することが可能。 さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによる ズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。 【特長】 ■独自の分光器だからできる高精度測定 ■超複屈折フィルムを高速・高精度に測定できる ■剥がさず、非破壊でさまざまなフィルムの積層状態を測定できる ■サンプル設置がズレていても手軽に再現性良く測れる ■測定時間と処理時間が大幅短縮 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。（屈折率1.5の場合） 測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。 【特長】 ■プロセス中の薄膜高速測定に最適 ■最短露光時間1ms～　※仕様による ■リモート測定に対応 ■膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。（屈折率1.5の場合） 測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。 【特長】 ■プロセス中の薄膜高速測定に最適 ■最短露光時間1ms～　※仕様による ■リモート測定に対応 ■膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

各種フィルム上コート膜などの透過率測定および吸光度、色などの測定が可能。 仕様により膜厚測定も可能であり、測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。（屈折率1.5の場合） 測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。 【特長】 ■プロセス中の薄膜高速測定に最適 ■最短露光時間1ms～　※仕様による ■リモート測定に対応 ■膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

各種フィルム上コート膜などの反射率測定および膜厚などの測定が可能。 測定可能膜厚範囲は　65nm～92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。（屈折率1.5の場合） 測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。 【特長】 ■プロセス中の薄膜高速測定に最適 ■最短露光時間1ms～　※仕様による ■リモート測定に対応 ■膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。