【仕様】 〇吐出圧力：0.4MPa max 〇吐出流量：7L毎分 0.2MPa時 〇駆動エア圧力：0.2～0.4MPa 〇エア消費量：50L毎分 〇脈動防止：アキュムレータ内蔵 〇接液配管材質：テフロンPFA、または、PTFE 〇漏水検知：ワイヤー式漏水検知器内蔵

• その他ポンプ

【仕様】 〇電源 　・3相200V　10KVA　30A 〇寸法 　・W750×D1210×H1050 ○使用周囲温度範囲 　・10～35℃ ○重量 　・約450kg

• その他半導体製造装置

【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300（mm） ○薬液 　・酸系　H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター 　・カプセルフィルター　0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ 　・エアオペレーションバルブ　PTFE製 〇排気 　・ダンパー、マノメータ内蔵

• その他半導体製造装置

【仕様】 〇サイズ 　・W598×D548×H1224（mm） ○重量　150Kg ○吐出流量、圧力 　・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ○純水仕様圧力：0.3～0.4MPa ○アラーム機能 　供給水圧低下 　インバータ出力異常

• その他ポンプ

【仕様】 〇サイズ ・W470×D800×H370 （mm） 〇重量 ・110Kg ○吐出圧力／流量 ・No.1 4MPa／12LPM ・No.2 2MPa／3LPM 吐出圧調整　出荷時固定

• その他ポンプ

【仕様】 〇サイズ 　・FSBL：W250×H191×D413　 ○吐出圧力 　・FSBL-50：2.5～25MPa ○吐出流量 　・FSBL-50：1.68? ○駆動エア圧：0.05~0.5MPa ○エア消費量：約670L (ポンプストローク数 60SPM時) ○接液シール 　・純水､IPA：FKM 　・NMP：カルレッツ

• その他理化学機器

【仕様】 〇ポンプ：カスケードステンレスポンプ　400W 〇吐出流量：13L毎分/16L毎分　50/60Hz 0.5MPa時 〇適用流体：純水 〇表示：吐出圧力計 0～0.6MPa 　　　吐出圧調整バルブ（リリーフ方式） 〇リモート機能：ポンプ運転/停止指令　DC24V 〇安全動作： 　・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え 　　リリーフ作動圧　0.5MPa 　・循環水温度上昇検知 　　作動温度50℃ 　・過電流・漏電保護機能 　　ブレーカ作動 〇供給電源：AC200V±10% 三相 50/60Hz 1.2KVA 〇外形寸法：W228×H336×D520 〇筐体：ステンレスヘアライン仕上げ 〇重量：約25Kg 〇使用環境：室内、温度10℃～35℃、湿度30～80%

• その他ポンプ

【仕様】 〇スラリー：コロイドシリカベースPH11 〇希釈倍率：10、15、20倍 〇PH制御：PH10～11±0.2 〇温度制御：20～40±0.5℃ 〇供給流量：1.5LPM ､0.3MPa 〇スラリータンク：20L 内蔵 〇アンモニアタンク：5L 内蔵 〇外形寸法：W1250*D580*H1400 〇重量：500Kg

• その他半導体製造装置

【仕様】 ○ポンプ：カスケードステンレスポンプ 200W ○吐出流量：7L毎分/9L毎分 50/60HZ 4Kgf/cm2 ○適用流体：純水 ○リモート機能：ポンプ運転/停止指令 DC24V ○安全動作 　・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え 　 　リリーフ作動圧 5Kgf/cm2 　・循環水温度上昇検知、作動温度 50℃ 　・過電流・漏電保護機能、ブレーカ作動 ○供給電源：AC100V ±10% 50/60HZ 8A ○外形寸法：W210×H245×D390 ○重量：約15Kg

• その他ポンプ

【製品仕様】 ■サイズ ・SSBL（-20A、-30A、-37.5A共通）：W123×H116×D296.5mm ■吐出圧力 ・SSBL-20A：0.98～9.8MPa ・SSBL-30A：1.47～14.7MPa ・SSBL-37.5A：1.76～17.6MPa ■吐出流量 ・SSBL-20A: 1.13L/min ・SSBL-30A : 0.71L/min ・SSBL-37.5A : 0.58L/min ■駆動エア圧：0.05～0.5MPa ■適応流体 　FKM仕様：純水、IPA 　KLZ仕様：NMP ■エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他理化学機器

【仕様】 〇サイズ 　・W194×H190×D490 ○吐出圧力 　・KPW20 : 0.98~9.8MPa 　・KPW30 : 1.47~14.7MPa 　・KPW37.5 : 1.76~17.6MPa ○吐出流量 　・KPW20 : 1.13L 　・KPW30 : 0.71L 　・KPW37.5 : 0.58L ○駆動エア圧：0.05~0.5MPa ○エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時) ○接液シール 　・純水・IPA ：FKM 　・NMP： カルレッツ

• その他ポンプ

【仕様】 ○水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成 ○電動機出力：1.45KW/1.85KW (50/60HZ) 〇到達圧力：3.3kPa ○排気速度：48m3/h 、59ｍ3/h (50/60HZ) ○接続口径：25mm ○給水量：3.83LP、0.2?0.5MPa ○重量：約50Kg ○外形寸法：D484×H218×W186 ○騒音レベル：65dB/69dB (50/60HZ) ○電源電圧：185?220V 3相Δ結線 ○定格電流：6.4A/8.2A (50/60HZ) ○周囲温度：40℃

• その他ポンプ

YAGレーザの発光時の発熱を純水で冷却する 水冷式YAGレーザ冷却装置 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• 冷却装置

【仕様】 ○加温能力：12?/分、ΔT＝55.0℃（12Nの場合） ○最高設定温度：85℃ ○温度調整制度：±1℃ ○加温タンク数：2個（12Nの場合） ○ヒーター本数：12本（12Nの場合） ○電源（制御用）：AC200V　5A

• 加熱装置

スラリー液をタンク内で希釈混合したものを 装置へ供給するための実験用供給装置 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

　・漏水 　・バッファタンク空 　・バッファタンクオーバーフロー 　・切削水圧上限　0.6MPa以上 　・切削水圧下限　0.15MPa以下 　・導電率上限　導電率が設定値以上 　・導電率下限　導電率が設定値以下 　・ボトル１空 　・ボトル２空 　・アラーム一括 　・シーケンサバッテリー異常（低下） ○導電率計 　・測定範囲　0～20μs/cm 　・測定精度　±1%FS±1gigit以内 　・温度補償　5～45℃ 　・セル定数　0.2cm　e-1 　・電極材質　SUS316 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他理化学機器

対象となる装置より温風発生の指令を受け内蔵タイマーにより一定時間 温風を発生し､ウエハに乾燥用温風を供給するためのものである ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他理化学機器

分析機器などの組み込みに好適な冷却装置 ○仕様（電源制御部） 　・外形寸法　W280*D430*H235 　・重量　約14Kg 　・電源　AC100V　5A 　・直流電源出力　DC24V　5A 　・温度調節器　デジタル設定デジタル表示0～200℃　分解能0.1℃ 　・PID制御方式　4～20mAによる電源電圧連続可変制御

• その他理化学機器

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他理化学機器

【仕様】 ○周囲温度：20℃～25℃ ○周囲湿度：55%±15 ○供給電源：200℃ ○必要給水量：3L/min ○エア消費量：110L/min

• 加熱装置

【仕様】 ○定格：3相200V　2KW ○絶縁抵抗：DC500V　メガーにて10MΩ以上（冷間時） ○耐電圧：AC1500V1分間 ○電流誤差：定格に対して±10％以下 ○圧力：0.5MPa以下 ○適用Oリング　G85EPDM ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください

• 加熱装置