半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

ファナック協働ロボットCRXの柔軟性を高めるためのシンプルで効果的なハンドツール！

• その他産業用ロボット
• ウエハ加工/研磨装置
• センサ

ご近隣への騒音問題の解決や作業者への騒音負荷の軽減をはかります！

• 半導体検査/試験装置

医療関連・産業設備関連に弊社ステンレス引抜品が採用されています！

• 半導体検査/試験装置

保有設備は洗浄装置や画像寸法測定器など！セラミック等の研磨加工承ります

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

サイズは最大9インチ×12インチ！2つの構成がある単軸ダイシングソーのご紹介

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他加工機械
• ウエハ加工/研磨装置

堅牢な冷陰極型電離真空計

• 蒸着装置

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

• 蒸着装置

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計

• 蒸着装置

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

• CVD装置

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

• CVD装置

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

• CVD装置

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減！

• 蒸着装置

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。

• コーター

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。

• レジスト装置

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。

• レジスト装置

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク（PEB）対応自動レジスト現像装置です。

• レジスト装置

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせて、枚葉による高速処理・高洗浄力・低消費薬液が可能。

• その他半導体製造装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！

• レジスト装置

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

• コーター

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！

• レジスト装置

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。

• レジスト装置

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。

• レジスト装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

• レジスト装置

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！

• コーター

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。

• コーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し、ソーティングします。

• その他半導体製造装置

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。

• レジスト装置

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置