半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
φ450(18インチ)治具 Siウェハと同等の比重、ヤング率! 低価格!
- ファインセラミックス
- その他半導体製造装置
SiC/Si複合材料をターゲット材としてご使用頂いております。
- スパッタリング装置
- その他金属材料
- ファインセラミックス
最大□800x40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置性能向上や熱問題解消等、採用効果を実績にて紹介します。
- ファインセラミックス
- その他機械要素
- その他半導体製造装置
軽量高剛性の金属セラミックス複合材料により装置性能が向上します
- マウンター
- その他半導体製造装置
- その他産業用ロボット
「光とレーザーの科学技術フェア2023」に出展いたします。
オプトシリウス株式会社は、「光とレーザーの科学技術フェア2023」に出展いたします。 【開催概要】 開催期間:2023年11月7日(火)~9日(木) 会 場:パシフィコ横浜(展示ホールC) 小間位置:S-10 主な展示品:レーザーパワー測定器、小型分光器、積分球、量子ドット、配光装置、高出力LED、レジスト 詳しくは以下のリンクをご参照ください。 https://www.optronics.co.jp/fair/
受託テスト成膜サービス(高品位反応膜などの試験成膜)のご案内
これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究。 次世代のMEMS用途として注目されるAlScN成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートいたします。 ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置が不得意とする強磁性体ターゲットや誘電体ターゲットも安定した製膜を実現します。 イオン源とターゲット印加を個別に制御することにより、幅広い成膜条件への対応が可能となるだけでなく、高レートでの成膜も両立させます。 ターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層薄膜も成膜可能です。 基盤表面がプラズマに晒されないため、基盤表面を低温に保っての成膜が可能となります。
ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です
- ステッパー
~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現!
- コーター
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度~高粘度(MAX10000cP)レジスト対応!
- コーター
研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置!卓上タイプとは違う自動機と同等のレジスト塗布機構を搭載!
- コーター
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置
- コーター
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです
- コーター
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドでも面内均一は±5%以内が標準で±3%以内の実績です。
- コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(ノウハウ)が多数あります!
- コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます(例、2・4インチ、6・8インチなど)
- コーター
FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。
- スパッタリング装置
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
- スパッタリング装置
大好評 高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置
今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルター等の光学薄膜に特化した装置です。高品質かつ安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソースの搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大4基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜
2024年九州で開催される第1回半導体産業展に出展します
有限会社オルテコーポレーションです。 注目集まる九州の地において、9月25日より開催される、「第一回九州半導体産業展」に弊社ブースを出展します。 近年、熊本県での半導体工場設立を背景に、日本国内での半導体製造分野への関心が再び高まっています。 この機会に、ぜひイベントに足を運んでみてください。 展示内容には、新製品の「白色・灰色ゴムコレット」様々な目的や工程に応用可能な「超音波洗浄機」も含む下記の製品を展示します。 展示内容 ・ピックアップコレット(ゴム/樹脂/金属/その他) ・超音波洗浄機・超音波発振機 ・半導体製造後工程の消耗品、保守部品(サードパーティー品) ・ダイボンディング関連部品(突き上げニードル・ディスペンスノズル) ・ワイヤーボンディング関連部品(ウインドウクランパー・フィンガークランプ) ・部品洗浄外注サービス(キャピラリーやウェッジ、保全部品) ・搬送部品(マガジンラック・ICチップトレイ) ・マイクロ3Dプリンター BMF MicroArch
工具の寿命が延びた!メーカーでできないことが!再研磨の短納期化!など、お客様に喜んでいただいた7つの事例をご紹介!
- ウエハ加工/研磨装置
寿命を延ばしたい…、加工精度が悪い…、再研磨に時間がかかる…など、工具のお悩みをジヤトコツールが解決!
- ウエハ加工/研磨装置
営業提案から設計・製作・納品まで一貫対応!工具の再研磨で生産を変える
- ウエハ加工/研磨装置