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安全柵　『SATECH』【低コスト＆スピード施工！】

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

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低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

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ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

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バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

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オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

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UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。

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Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。

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高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

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真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

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UHVアングルバルブ　Series 28.4

腐食性ガスにも対応！

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コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

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ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

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バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

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大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

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大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

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大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

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振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

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振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

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高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

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緊急遮断シャッターシステム　Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

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PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

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ピラニー真空計『PG-2CR』

独自の特殊ピラニー球を採用！リレー接点を1点装備した小型のピラニー真空計

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ピラニー真空計『PG-3F2/PG-4F2』

独自の特殊ピラニー球を採用！リレー接点を2点装備したピラニー真空計

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ピラニー真空計『PG-3F/PG-4F』

独自の特殊ピラニー球を採用！コンパクトタイプのピラニー真空計

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ピラニー真空計『PG-3B/PG-3B2』

独自の特殊ピラニー球を採用！システム制御にも使用可能なピラニー真空計

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ピラニー真空計『PG-1F』

独自の特殊ピラニー球を採用！2K Paから測定が可能なピラニー真空計

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ピラニー真空計『PG-2B/PG-2BN』