レジスト装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

【ベストウォッシング】は汚れを選びません。 自然にやさしい強力洗剤、用途を選ばない、まったく新しい高性能 洗剤です。

• レジスト装置
• エッチング装置

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。

• レジスト装置

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。

• レジスト装置

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク（PEB）対応自動レジスト現像装置です。

• レジスト装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！

• レジスト装置

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！

• レジスト装置

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。

• レジスト装置

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。

• レジスト装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

• レジスト装置

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。

• レジスト装置

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！

• レジスト装置

リチルピュアで解決！高純度性に優れたＰＦＡ樹脂リチルライニング

• バルブ
• レジスト装置

用途に応じた幅広い孔径（1nm相当の微細孔径も）と清浄度を有するポリエチレンフィルタ

• レジスト装置
• その他高分子材料

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。

• レジスト装置
• エッチング装置

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！

• コーター
• レジスト装置
• その他半導体製造装置

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

• ステッパー
• エッチング装置
• レジスト装置

低弾性でFPCの折り曲げが容易。薄型化・軽量化、設計自由度アップに貢献

• レジスト装置

切削加工/金属加工

• レジスト装置
• 酸化/拡散装置
• エッチング装置

切削加工/金属加工

• スパッタリング装置
• アニール炉
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

• 高圧洗浄機
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

• 高圧洗浄機
• レジスト装置

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！

• レジスト装置
• その他半導体製造装置

単品アルミ加工・試作・A5052【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置
• レジスト装置
• 酸化/拡散装置

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！

• その他
• レジスト装置

多目的全自動スクリーン印刷機

• 印刷機械
• レジスト装置

虫が好む紫外線領域も大幅にカットするため、防虫効果も絶大なLEDライト！

• LED蛍光灯
• レジスト装置
• 蛍光灯

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

• レジスト装置

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり

• ノズル
• ディスペンサー
• レジスト装置