エッチング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！

• エッチング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム

• 表面処理受託サービス
• エッチング装置
• 加工受託

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が大幅アップ！ドライエッチング装置部品の保護膜・再生に最適！

• 表面処理受託サービス
• 加工受託
• エッチング装置

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

• ノズル
• バルブ
• エッチング装置

フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジストスカムをスプレイ処理を施す事で簡単に除去が可能です

• エッチング装置

切削工具、治具、金型の再コーティングの前処理として浸漬処理を施すことで、残留コーティング膜の剥離が可能です

• エッチング装置

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

• エッチング装置

半導体・ＦＰＤ・光通信の各分野の発展に貢献、業界トップシェア

• エッチング装置

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

• エッチング装置

自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析

• エッチング装置

液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄肉化処理に適しています。

• その他加工機械
• エッチング装置
• その他表面処理装置

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

• エッチング装置
• 蒸着装置
• その他表面処理装置

表面処理とは、基材表面に加工を施し、基材そのものにはない様々な特性を付与することを表面処理といいます。

• その他
• エッチング装置
• 分析機器・装置

フッ素樹脂（別名：テフロン）とは、様々な特性があるが、一言でいうと熱に対して特に安定しています。

• その他
• エッチング装置
• 分析機器・装置

１台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができる！薬品に強く汚れもカンタンに落とせる！

• エッチング装置

ドライブ基板は1ch毎に電流設定が可能！御希望に合わせたシステム装置の提案・製作が可能です

• その他産業用ロボット
• エッチング装置

独自の社内システムで、材料手配から社内加工、加工委託の進行状況を一元管理し、お客様の要望に対して迅速な対応を可能にしています

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

• ステッパー
• エッチング装置
• レジスト装置

ポケット加工／フライス加工／研磨加工

• エッチング装置

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネルを一体化できるため、装置の空間を有効に活用できます。

• フィルタ
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

• エッチング装置
• アッシング装置
• 表面処理受託サービス

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご紹介

• エッチング装置

切削加工/金属加工

• エッチング装置
• イオン注入装置
• アッシング装置

切削加工/金属加工

• レジスト装置
• 酸化/拡散装置
• エッチング装置

金属加工/大阪/ステンレス

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

デメリットを解決！特長は、パターン間を繋ぐブリッジ（ツナギ）が無いことです

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

ご指定の形状、仕様に応じて製作することが可能！反射防止の黒染め処理を施してあります

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

エッチングの高い加工自由度を活かす！放熱性を高めている製造事例です

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

液体を封入する為の中空構造、フタ側に放熱性を高める為のフィン構造を形成！

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

少しずつ径を変えていくことでグラデーション状の表現にすることも可能です！

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

ワークやパターンの情報を元に設計からの対応実績も豊富にございます！

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

メッキ仕様にも対応！ブリッジレスエッチングで生産することが多いです

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

厚み精度が重視されるシムに好適！試作から量産まで幅広く対応しております

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

熱環境下でも反りにくい！全て切削加工で製作するのに比べコスト的に有利です

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

流路構造を内蔵！立体構造を再現できるのがエッチング積層品の大きな特長です

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

携帯電話やノートパソコンの筐体、自動車の内装部品などに用いられた実績があります

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

同じ面内での開口形状、開口サイズなどを自由に変えられるのが特長です！

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

イニシャル費用も安価！厚板の加工を得意としており、1.0mmを超える厚みの銅板でも対応

• 加工受託
• エッチング装置
• 表面処理受託サービス

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

XeF2エッチング装置

• エッチング装置

数百台の実績を誇る汎用性に優れたドライエッチング装置。

• エッチング装置

フロステックの石英ガラス用エッチング剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した３Ｒ薬剤です。

• エッチング装置
• ガラス
• その他光学部品

フロステックの無アルカリ及びソーダガラス用エッチング剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した３Ｒ薬剤です。

• エッチング装置
• ガラス
• 液晶ディスプレイ

フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した３Ｒ薬剤です。

• ガラス
• 液晶ディスプレイ
• エッチング装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用可能

• エッチング装置

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ　眞空プラズマの高い効果を量産ラインに

• プラズマ表面処理装置
• エッチング装置
• アッシング装置

精密写真と写真腐食法の応用から生まれた技法！極小極薄・複雑形状の製品に好適 な加工法

• 加工受託
• エッチング装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置
• レジスト装置
• 酸化/拡散装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力を精度よくコントロール

• エッチング装置

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• エッチング装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

• めっき装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去！

• エッチング装置
• ドリル
• 乾燥機器

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置