プラズマ表面処理装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧プラズマ装置

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の用途などに好適

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程で採用されています

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ランキング形式でご紹介。コスト削減、ECOに貢献し悩みを解決

• その他照明器具
• プラズマ表面処理装置
• エンジニアリングプラスチック

A4サイズ試作無料！樹脂フィルムだけでなくアルミ・銅など金属箔の処理も可

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフェスのＰＶＤ膜＋ハイレートＤＬＣ。硬度＋トライボロジー薄膜

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• その他工作機械

大気圧でフィルム・基板等の高速連続処理が可能！【サンプルテスト受付中！】

• プラズマ表面処理装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステム

• プラズマ表面処理装置
• その他

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

【聴講料】1名につき45,150円★10月4日までに初めてのお申込様は早期割引価格⇒39,900円

• プラズマ表面処理装置
• プラスチック
• 技術セミナー

『超撥水・超親水化技術のメカニズムとコーティング剤による表面改質技術および撥水性評価』

• プラズマ表面処理装置
• 技術セミナー
• タッチパネル

NIST公開の原子スペクトルのデータを簡単にダウンロード、検索、一覧表示、ファイル出力します。

• 分光分析装置
• その他理化学機器
• プラズマ表面処理装置

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空インラインシステム。豊富なオプションと柔軟な対応で要求に対応

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

• プラズマ表面処理装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！

• その他理化学機器
• その他工作機械
• プラズマ表面処理装置

【オートモーティブワールド2020出展】電子部品への大気圧プラズマによる表面処理についてご紹介しています！

• プラズマ表面処理装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中

• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現　サンプルテスト＆装置見学対応中

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

大気圧プラズマに特化した製造メーカー！大気圧プラズマ処理の自動化システムについてご紹介します

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温域の処理において、窒素拡散だけではなく、炭素拡散も有効な表面硬化法です

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス
• その他表面処理装置

真空中でプラズマエネルギーを利用した環境重視の窒化処理についてのご紹介です

• プラズマ表面処理装置
• 表面処理受託サービス
• その他表面処理装置

熱処理や表面処理でお困りの方は当社はお任せ！お客様から高い評価を頂いた強みをご紹介

• 表面処理受託サービス
• その他表面処理装置
• プラズマ表面処理装置

「大気圧プラズマの発生メカニズム」や「大気圧プラズマ装置の特長」などを掲載！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

射出成形機、スルーフィード転造機、プラズマ溶射システムなどを設備！

• 射出成形機
• プラズマ表面処理装置
• 旋盤

高性能卓上システム！簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示

• プラズマ表面処理装置

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高効率プラズマで表面改質。コスト削減も

• プラズマ表面処理装置

高温での硬度および強度が極めて高い特殊合金粉末！

• プラズマ表面処理装置
• その他金属材料

アジア大手電子機器メーカーに実績多数！様々な分野での表面処理を提案します！

• プラズマ表面処理装置
• その他理化学機器

「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつでも！　どこでも！　簡単に表面改質や活性化に使用できます。

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場実務に役立つよう、応用技術事例を図表を多数使用して掲載。

• 技術書・参考書
• プラズマ表面処理装置

経済産業省・埼玉県の各種補助金事業を活用した産学官連携！

• その他
• プラズマ表面処理装置
• 2次電池・バッテリー

表面処理に関する技術資料を5冊まとめてプレゼント！

• コーティング剤
• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

硝酸態窒素水溶液を植物の肥料に！液中にてコロナ放電を発生させる技術

• 放電加工機
• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。

• プラズマ表面処理装置
• イオン注入装置

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装置

• プラズマ表面処理装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲載

• その他理化学機器
• その他表面処理装置
• プラズマ表面処理装置

処理による肌荒れが少なく鏡面仕上げ品・シボ加工面等にも安心して適用可能

• 表面処理受託サービス
• プラズマ表面処理装置

NCプラズマ加工のことなら、当社にお任せ

• 加工受託
• プラズマ表面処理装置
• 基板設計・製造

希望の粒度に調整した溶射粉末の作製も！スピッティング等のトラブルを回避しながら高い付着効率を発揮　※溶射粉末の解説資料プレゼント

• その他
• プラズマ表面処理装置

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

• プラズマ表面処理装置

強力なプラズマ分子照射とヒータチャックを組み合わせることにより、通常のプラズマクリーナーでは除去することが難しい有機物等を除去。

• プラズマ表面処理装置

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非接触にて所定の位置に搬送します。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• 加熱装置

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

• プラズマ表面処理装置
• その他

大容量の粉体表面改質装置

• プラズマ表面処理装置

低価格な小型装置！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズマ装置！材料の表面改質・洗浄にお使い頂けます！

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置

低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置 洗浄・表面改質・親水化・接着強化に高い処理実績！ラボ用途小ロット向け

• プラズマ発生装置
• プラズマ表面処理装置