ウェハ/の製品一覧

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

• スパッタリング装置

お客さまが必要とする検査や評価のための好適なソリューションをご提案！

• 振動試験

検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム

• その他

トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。

• その他加工機械

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット

• 搬送・ハンドリングロボット

半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクトを短縮します

• 半導体検査/試験装置
• その他検査機器・装置

各工場の仕様や装置独自の動作プロセスのノウハウを使用し、装置と各工場のオンライン通信機能を提供するシステムです。

• 通信関連
• その他半導体製造装置

シリコン部品製造用シリコンディスク、プラズマ処理装置用フォーカスリング等をご用意！

• ウエハー
• その他高分子材料
• プラズマ発生装置

徹底した品質管理のもと、高品質ウエーハを提供いたします！

• その他金属材料

裏面アライメントがないので低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に最適な装置を実現しました。

• その他

樹脂・コーティング剤・接着剤等の材質の厚み測定が可能！

• その他計測・記録・測定器
• 加工治具
• 受託測定

多岐にわたる先端の光学機器を開発！国内外のお客様にご提供します

• レーザ部品

十分に競争できるコスト！広い範囲で光工学表面弾性波フィルターなどの分野などをカバー可能

• その他機械要素

ALD研究およびとバッチ生産向けのプラットフォーム

• その他検査機器・装置
• その他半導体製造装置

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• その他半導体

精巧なドッキング及び高い信頼性を保証できるHi-Fixボードなどをラインアップ！

• その他半導体製造装置
• その他半導体製造装置

10mm角でも加工方法により可能！試作開発時は1枚から加工させていただきます

• 加工受託
• 基板設計・製造
• その他半導体

結晶成長からウェハーまでHEXATECH社自社で製造！結晶欠陥の少ない高品質なウェハーを安定供給

• アルミニウム
• その他金属材料

TTVが0.5μmまで対応！センサー形成基板の製造に最適なガラスウエハー！

• ガラス
• 加工受託

化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機

• その他搬送機械

SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能に！単結晶GaNの測定事例もご紹介

• 受託測定

TMFをキープロセスとして活用！高い水質の濾過処理水を95％という高い廃水回収率で実現

• フィルタ

チャッキング（吸着）パターンは、ワークに合わせたカスタマイズ対応！

• その他

セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています

• チャック
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

空荷時の稼働時間は13時間以上で、満載時でも10時間以上の運行が可能です！

• 搬送・ハンドリングロボット

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他半導体製造装置
• その他搬送機械

Simple and friendly。ロボットをもっと身近に、もっとシンプルに

• その他産業用ロボット

さまざまな業界で対応可能！自動スクリーニング検査システム専用機を構築！

• その他組込み系（ソフト＆ハード）
• 画像解析ソフト
• 半導体検査/試験装置

低温から高温まで対応！電子デバイス、ウエハの温度試験用に最適です

• その他

お客様のご希望に応じたカスタムTEGウエハの設計・試作！

• 試作サービス
• ウエハ加工/研磨装置
• 基板設計・製造

貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！

• 加熱装置

多くのお客様の測定ニーズに対応したシステムを取り揃えております！

• その他検査機器・装置

エリアスキャンモードを搭載した高速高感度TDIラインスキャンカメラをご紹介

• カラーカメラ
• モノクロカメラ

軽量・コンパクトな高輝度グリーンLED表面検査ライト

• LED照明
• その他検査機器・装置

様々なニーズに合わせ、適したセンサーをご提案します！

• その他半導体

ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

Wタングステンとその合金の超薄高精度加工

• チップ型LED
• ウエハー
• ダイオード

治具を使用しないめっき装置。取付の煩雑さ、治具部品の劣化によるめっき不良の解消だけでなく、良品歩留まり率が大幅に向上！

• めっき装置
• 表面処理受託サービス

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置

評価用標準TEG Waferをご用意！お客様の用途に合わせたTEG作成も承ります

• 加工受託
• 基板検査装置

メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を！シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセスにおすすめ！

• プラズマ表面処理装置

経験のある高い技術を持ったチームがご提供！標準的でない仕様に関してもご検討可能です

• その他機械要素

少数ロットでのご案内も可能ですので、ぜひご相談ください！

• ウエハー

小型軽量オールインワン！カスタマイズで接触式も可能な非接触厚み測定機

• その他計測・記録・測定器