ウェハ/の製品一覧

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半導体製造工程の効率化と品質向上に貢献。専用部品がないのでメンテナンスしやすく、早期復旧が可能です。低コストを実現しています。

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  • 半導体検査/試験装置

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スルーガラスヴィア(TGV)ウェハの世界市場:300 mm、200 mm、150mm以下、バイオテクノロジー/医療、家電 ...

  • その他の各種サービス

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ソーラーウェハ切削液の世界市場:PEG-300、PEG-400、その他、半導体、ソーラーウェーハ、結晶、その他

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ウェハ保管により既存の設計に対する半導体製品を長期的にサポート/製造中止品(EOL品)の継続供給サポート

  • その他電子部品

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ウェハ搬送ロボから自動外観検査装置まで、半導体用各種装置をご紹介!

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  • ウエハー

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12インチウェハも対応!ダイシングテープ付きウェハへのバンプボンディングの量産実績

  • その他半導体製造装置

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独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます

  • その他半導体

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最大12インチのウェハ上のバンプのシェア、ツィーザープルテストに最適なボンドテスター

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  • 半導体検査/試験装置

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ウェハ検査の常識を変える!誰でも簡単且つ定量的に目視検査・評価することが可能です

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  • ウエハー

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ロチェスターエレクトロニクスのウェハ処理および保管能力 /製造中止品(EOL品)の再生産

  • その他半導体

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カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能

  • その他半導体製造装置

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波長掃引方式により、シリコン基板の厚みを、非接触で高感度にリアルタイム測定

  • その他計測・記録・測定器
  • 膜厚計
  • その他光学部品

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バラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置

  • 半導体検査/試験装置

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ウェハ1枚当たり約10秒で短い時間で測定でき検査工程を短縮!不良セルを従来よりも早い段階で発見し製品歩留まりを向上

  • その他機械要素

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搬送の難しい特殊ウェハも各種ユニットを開発してきたアテルが解決します!

  • その他搬送機械
  • その他高分子材料

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“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8インチウェハに対応

  • 加熱装置

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人が行う官能外観検査から、設備による全自動検査へ!完全なトレーサビリティを導入

  • その他の各種サービス

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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

  • CVD装置

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8インチウェハ対応!ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹介

  • 製造受託
  • 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

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完全自動化!マルチセンサ技術を備えた高速ウエハ計測・選別システムをご紹介します

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  • ウエハー

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LorlinやNSFなど主要メーカーからご用意!一部のモデルでは、複数のウエハーを組み立て可能

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  • スイッチ
  • スイッチ

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豊富な種類で、あらゆる温度測定ニーズに対応!常時在庫でスピーディーな納品を実現!

  • その他

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SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能!

  • 搬送・ハンドリングロボット

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付着物除去・金属不純物低減!ご使用の用途に応じた洗浄をご提案

  • その他受託サービス

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300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基板にも対応。先端電子デバイス量産用熱処理装置

  • アニール炉

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BG(バックグラインド)テープ付きでも、パターンがあっても、『真のウェハの厚み』がわかるウェハ厚み計

  • その他計測・記録・測定器

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ローコスト、省スペースに高速な外観検査を実現!AI搭載のウェハ外観検査装置

  • その他検査機器・装置
  • 外観検査装置
  • 欠陥検査装置

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人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合!タッチパネルで簡単操作! (閉塞防止、ブリッジ防止)

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置

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粉体工業展『大阪2013』に出展します!!!

POWTEX OSAKA 2013 粉体工業展『大阪2013』に出展します!!! 会期:2013年10月 9日~10月11日 10:00~17:00 会場:インテックス大阪(南港)1・2号館  小間番号:No2-42  出展内容 *低価格型搬送装置:【ブルーインパクト BIシリーズ  】特許取得 意匠取得 ブリッジレスでコストパフォーマンスに優れた搬送装置で、電池分野の納入実績も多数あります。 *エアレーションホッパー 特許取得 難しい粉体をブリッジレス、ラットホールレスで排出可能で、電池材料にはうってつけのホッパーです。 *ウエットコレクター 特許取得 水蒸気と粉体、粉塵の同時吸引可能な集塵機で、半導体分野で多くの実績があります。 *ドラム缶反転吸引システム PAT.P 吸湿性のある粉体、吸湿すると発火してしまう粉体、酸素に触れさせたくない粉体のドラム缶からの取り出しに最適です。 *その他 『自動吸引搬送投入システム』、紙袋、ドラム缶(容器)、フレコンバックからの自動吸引をテーマに省力化の提案を致します。 皆様方の御来場をお待ちしております。

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置!洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。

  • その他半導体製造装置

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膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現!高品質の電極膜を安定して形成可能

  • 蒸着装置

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量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)

  • CVD装置

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ダイシングフレーム(ウェハリング)をCFRP3Dプリント技術により開発。軽量で高剛性のためウェハの搬送性に優れます。

  • その他半導体製造装置
  • 半導体検査/試験装置
  • その他半導体

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6インチ用 ウェハローダー WR-100A

  • 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
  • その他半導体製造装置

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量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

  • CVD装置

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生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

  • その他半導体製造装置

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ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

  • 半導体検査/試験装置

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2インチ;3インチ;4インチ;5インチ;6インチ;8インチ;12インチ ダミーウェハー~プライムウェハーまで、各グレードご提供

  • 非鉄金属
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他

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【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周のチッピングを自動的に検出可能!データ保存やシステム連携も

  • その他検査機器・装置
  • 製造受託

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1個の試作から量産まで対応!各種ウェハへのめっき承ります!

  • ウエハー
  • その他

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25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置

  • 半導体検査/試験装置

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ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です!

  • コーター

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20年以上の実績と専門性で、お客様の技術革新を全面サポート

  • その他半導体

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