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コーティングを極めて、明日のニーズに応える。経験豊富な塗工技術！
50年の実績による経験豊富な塗工技術で薄膜から厚膜まで広範囲に対応。的確なウェブ搬送システムの提案でウェブ条件に適した張力管理、低慣性・表面特殊加工ロールの採用。最適な乾燥プロセスの提案で高効率乾燥設備の設計、最適な乾燥方式の提案。DMコータ、ワイヤーバー、アウトフィーダ、ワインダ、密閉式ドライヤ、アンワインダ、可搬式ダイコータなど多数掲載。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（ノウハウ）が多数あります！
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。 お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機～フルオート機までご提案できます。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■薄ウェーハ対応ロボット ■薄ウェーハ対応チャック ■低価格を実現 ■ウェーハサイズを自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■ウェハサイズを自動認識して処理 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。
角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化
『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
グラビア印刷、フレキソ印刷、バーコーター、コーティング、ラミネートなどが行える各種印刷試験機 ※デモルームにてテスト実施中！
少量の材料で効率よく適格な試験が可能！ 各種卓上自動テストコーターを取り揃えています ナノテクやコーティングなどの研究開発に 【特長】 ■フィルムや紙、金属箔など様々なフレキシブルな基材への印刷・コーティングが可能 ■水性、溶剤系、UVなど様々な塗工液に対応 ■簡単操作でブレの無い正確な塗工が可能 カタログダウンロードはこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/catalogs/ ★新横浜デモルームにてテスト、オンラインデモ受付中！ お問合せページもしくは当社HPからご依頼ください デモ依頼ページ▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/contact/contact-demo-request/ バーコーター他手動式テストコーターのお見積り・購入はとふLABOで！ ※お問合せページからもお見積り頂けます。 「とふLABO」リンクは下記にございます▼
誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置
卓上型コーティング装置「Q plusシリーズ」は、設定した条件をタッチパネルから選択するだけの操作で誰でも簡単にさまざまな試料にコーティングが可能です。 レシピの作成も簡単なフルオートのスパッターコーターは、チャンバーサイズが150mmと300mmの２サイズあり、その高さも標準の127mmとロングの214mmがあり、大きなサンプルへのコーティングができます。
【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2 □～5 □基板又はφ2 ～φ5 基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です
卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。
省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式
『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラインアップしています。 また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
燃料電池・水分解触媒インクの塗布にコーティングの周辺技術と豊富なデータベースで早期問題解決や脱炭素化に貢献します。
スプレーコーターによる薄膜コーティングは、まず試作サンプリング塗布から実施させていただきます。 この事は、お客様が希望される膜形成の適合性をお客様と共に確認し、お客様の研究・開発・生産に最適化された条件から得られる結果を的確に把握していただくことにあります。 まずは、装置を購入することなく膜形成を評価・確認していただくことで、お客様のニーズにお応えする装置をご提供します。 そして、燃料電池の触媒コーティングなど、その比重が大きく、沈降や分離が発生しやすい固体分散液で、スプレー塗布の安定塗布が可能になりました。 弊社の塗工技術やノウハウを装置に凝縮し、研究開発に最適な小型スプレーコーティング装置をご提案できます。 また、生産時に適用する大型機を検討される場合は、対応する装置をご提案します。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
高速枚葉式コーター
●少量サンプルで短時間に均一塗が可能。 ●インターバル・塗工速度・ドウェルタイム・熱風乾燥時の風向き、風速なども任意に調整可能。
NCR-230の特徴は少量の塗工液で塗工実験を行うことが出来ると言うことです。
3種類のコーティングヘッドを備えていますので、さまざまなコーティングテストを行うことが可能です。
両面コーター＆マーケティングテストコーター「CAG-750」
両面塗工が可能なコーティングマシン（マイクログラビア、スロットダイ）であり、且つ薄膜から厚膜までの試作及び量産対応が可能なコーティングマシンです。 また、低粘度厚膜対応として塗工後、水平を保ったまま搬送できる上部スロットダイと水平乾燥炉10m、厚膜乾燥に有効な遠赤外線ヒーターを設置しています。
