【資料】SECS/GEMプロトコル通信ドライバ
開発パッケージや半導体機器サプライヤーの製品選択、技術サポートなどについてご紹介！
SECS/GEMは、半導体製造装置とファブ内の上位システム（製造実行システムMESや設備自動化プログラムEAP）との間で、データ収集や遠隔制御を行うための国際標準通信プロトコルです。当社のSECS/GEMソリューションは、半導体製造のデジタル化を包括的に支援するため、装置メーカー様と製造メーカー様の双方に向けた豊富な製品ラインアップを揃えています。
- 企業：ウェリンテック・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
