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最小0.1μmからのパーティクルを除去！半導体ウェハなどの洗浄に
当製品は、微細凹凸部のダストを超音波で除去する 高周波超音波洗浄処理システムです。 半導体ウェハやマスクなどの洗浄に使用いただけます。 ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムを ラインアップしています。 【特長】 ■微細凹凸部のダストを超音波で除去 ■400kHz～5MHzのトランスデューサを備える ■最小0.1μmからのパーティクルを除去 ■ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式などをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウエハー洗浄装置。ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適
本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
【金属部品の精密洗浄に最適！】炭化水素系洗浄機・ワンバス型真空洗浄機
金属部品・精密加工部品の精密な洗浄に最適なコンパクト全自動炭化水素系洗浄機となります。低価格化も実現し、このワンバス型炭化水素系洗浄機のコストパフォーマンスは業界随一となっております。真空下で洗浄することで、袋穴・止まり穴など、通常の洗浄では洗いにくい複雑形状の部品も洗浄可能です。 このワンバス型炭化水素系洗浄機ＣＬＯＶＡは洗浄性能と低価格の両方を備えた、最新の炭化水素系洗浄機となります。より詳細は弊社ホームページをご参照ください。
板金加工の油・粉塵・指紋などをスーパーアルカリイオン水（アルカリ電解水）で洗浄！加工後の洗浄手作業と有機溶剤から解放！
メタルシート洗浄機『MSW-1000HE』は、スーパーアルカリイオン水（アルカリ電解水）の洗浄効果と酸化還元力により、パンチング・プレス・レーザー加工の油・粉塵・汚れなどを一回の通過で洗浄・乾燥し、防錆効果を発揮。 洗浄の通過速度は素材の汚れ具合によってインバーターで制御可能。次工程のバリ取り機のブラシに油汚れが付着せず、快適な作業環境を実現。 ■ワークの持ち込みテストが可能ですので、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■パンチング、プレス、レーザー加工後の付着物を1回の通過で洗浄・乾燥 ■アルカリイオン水（アルカリ電解水）の洗浄効果で、油、汚れなどもすっきり除去 ■対象の洗浄物は送り方向90mm以上、横方向1000ｍｍ以下にも対応 ■洗浄対象板厚は、0.4mm～9mmまで。 ■バーリングなどの表面に突出のある加工部材や穴の開いた部材にも適応 ■アルカリイオン水の防錆効果で金属の切断面から発生する錆を予防 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくかお気軽にお問合せください。
切削加工部品・小径部品などの洗浄に！溶剤や洗剤を使用しない！
加温機能付きの超音波洗浄機です。 スーパーアルカリイオン水（強アルカリ電解水）を使用し、切削加工部品・プレス製品・板金加工部品・成型部品などの脱脂・洗浄に！ ヒーター加温機能・タイマー機能付き！ AC100V電源のみで簡単に設置できます。
ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます ■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます ■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能 ■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能 ■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど） ■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能 ■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能 ※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します。ステンレス製も可能です
大型治具の洗浄も設計製作できます。カセット洗浄の場合は、ブラシ組込による精密洗浄付もご用意できます ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください
生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
自動酸・アルカリ洗浄装置 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能 ■オプションでオゾン水洗浄が可能 ■オプションでナノバブル洗浄が可能 当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください
特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です。
【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能。（常温→65℃まで3秒） ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（1500psi）recipeにて調整可能
一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。 主にCMP後の洗浄で使用します。 装置内構成例：ローダー ⇒ 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒ 2.リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒薬液シャワー → 両面ブラシ洗浄 → 純水リンス 2.リンス乾燥チャンバ― ⇒2流体(N2+純粋)洗浄 → MSシャワー(オプション) → N2ブロー乾燥
薬液を使用しない環境に優しい洗浄装置です
★蒸気2流体とは… ・水蒸気（気体）と水（液体）を超音速で噴射して異物を 除去する事が可能です ・蒸気と水の2流体を超音速で噴射させ、無数の水滴が対象 物に衝突する事で、水滴中にキャビテーション（真空の 泡）を発生させます ・真空の泡がつぶれるときに発生する衝撃波の力を利用 して除去します ＜メリット＞ ・薬液を使わないため安全 ・低コスト ・薬液の保管が不要 ・非接触のため消耗品なし（ ブラシなどとの比較） ・衝撃波が対象物表面の水膜中を伝わり、穴や溝の中にも効果が及ぶ ・原料が水だけなので環境にやさしい
優れた耐熱・耐寒・耐薬品性と抗菌効果。衛生管理に最適なシェルフです。
棚板マットには製造過程で抗菌剤を含有。 簡単に取り外して洗浄ができるため、いつまでも衛生的にご使用いただけます。 優れた耐熱・耐寒・耐薬品性を誇ります。
抜群の強度を誇るオール樹脂。耐食性に優れ衛生管理に最適なシェルフです。
棚板マットには製造過程で抗菌剤を含有。 簡単に取り外して洗浄ができるため、いつまでも衛生的にご使用いただけます。 優れた耐熱・耐寒・耐薬品性を誇ります。
ポリマーシェルフで広がる選択肢！総合的シェルフメーカーが提案するメトロマックスシリーズ
総合的シェルフメーカーのエレクター株式会社は、ポリマーシェルフ 「メトロマックスシリーズ」を取扱っています。 より樹脂面積が増え耐食性が増した「メトロマックス4」をはじめ、 抜群の強度を併せ持つ「メトロマックスi」や「メトロマックスQ」と 3つのシリーズをラインアップ。 中央材料室や給食施設での採用実績が豊富にあります。 【特長(メトロマックス4)】 ■様々な衛生基準に適合 ■水に強く優れた清掃性 ■マイクロバン抗菌加工 ■抗菌性の高い樹脂を採用 ■次亜塩素酸ナトリウムでの清掃が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
