ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK
お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック／ULVAC】
■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 ■設置が簡単です
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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真空ポンプ(ulvac) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
真空ポンプの製品一覧
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油回転真空ポンプ PKSシリーズ
非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラインナップ】 ○PKS-016 ○PKS-030 ○PKS-070 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ガス分析計用ソフトウェア Qulee QCS
アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェア【アルバック／ULVAC】
“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。 【特徴】 ○Quleeの標準ソフトウエア →Qulee全シリーズに標準採用（Windows XP/7対応） ○簡単操作 →充実したショートカットボタンによる簡単操作 ○測定モードの充実 →スキャンモード、トレンドモード、アナログモード、感度校正モードなど ○リークテスト機能の充実 →ヘリウムリークテストモードにより簡単にリークチェックが可能 ○ガス組成名表示が可能 →スキャンモードにてガス組成名表示が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ドライ真空ポンプCRシリーズ
排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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油回転真空ポンプ VDシリーズ Ver.C
強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強制給油方式の採用 ○大気圧付近でも排気速度が安定している ○特殊用途向けにもオプション対応 →標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様･B仕様･H仕様)を用意 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ドライ真空ポンプGRシリーズ
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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油回転真空ポンプPVD シリーズ
到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
PVD シリーズは、信頼性・使いやすさから、長年主力ポンプとして、多くのお客様にご利用いただいている小型油回転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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メカニカルブースターポンプ用架台ユニット YMVシリーズ
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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成膜用EB電源HPS-Nシリーズ
回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ドライ真空ポンプECO-SHOCK
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニット ISG1
測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。【アルバック／ULVAC】
本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ○表示部は見やすいLED ○CE標準対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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金属蒸着用EBガン EGNシリーズ
メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK ES4A
排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ○ドライポンプの省エネに貢献 ○容積移送型ドライポンプで効果を発揮 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 ○発熱も抑え、空調機器の電力も削減 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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G-TRANシリーズピラニゲージ
3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／ULVAC】
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） ○入出力コネクタ D-sub-15P（M2.6 screw） ○本体質量 190g（測定子含まず） ○付属品 入出力コネクタ 1式 取扱説明書 1部 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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油回転真空ポンプVS650A/VS750A
基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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異常放電防止ユニット A2Kシリーズ
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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油回転真空ポンプVD シリーズ
『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性を重視した設計になっていますので、日常の保守・点検がたいへん容易です。特に静かさを求められる研究所から各種生産ラインに至るまで、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低騒音 ○優れたメンテナンス性 ○大気圧付近のような高圧時においても安定した排気が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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油回転真空ポンプVS シリーズ
小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
VS シリーズは、1 段式ベーン型（回転翼型）の採用により構造の単純化と高速化をはかり、小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。振動を大幅に低減したことで、工場建屋の基礎工事などのポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。また、油循環系統と冷却系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低振動・低騒音 ○軽量・コンパクト ○優れたメンテナンス性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ
大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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ターボ分子ポンプ修理
ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理を行います。
当社は創設以来、時代の要請に応える高機能商品の開発導入に努め、お客様の製造コストの低減、品質の改善向上、新商品の開発等に寄与することを目指して参りました。ターボ分子ポンプのオーバーホール・修理においては多くの実績を有しており、お客様のご要望にも柔軟に対応できるノウハウがございます。 詳しくはカタログをダウンロード下さい。 カタログ内に対応機種一覧の記載が御座います。
- 企業：千代田交易株式会社
- 価格：応相談
クライオシステム
Intelligent. Smart. Economical.
高性能のコンポーネントを組み合わせたクライオシステム。 容易に組み合わせることでさまざまなアプリケーションの要件を満たすことができます。 冷却システムは以下の製品で構成 COOLPAK i：コンプレッサーユニット COOLPOWER i：極低温冷凍機 クライオポンプシステムは以下の製品で構成 COOLPAK i：コンプレッサーユニット COOLVAC i：クライオポンプ ライボルトのシステムは一般的に、それぞれすべての規格および規制（RoHS、EU準拠、安全性）、 特にIEC/EN 61010およびUL 61010に準拠、認定されています。 さまざまな業界の幅広いアプリケーションで使用できます。 ■ 低温冷却システム ■ 研究開発 ■ ニューテクノロジー ■ 産業用コーティングおよび加工
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
