◎大気用位置決め装置 　自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自の 　フィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 　高分解能・高い繰り返し再現性・高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◎真空対応システム 　光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の 　制御回路を搭載したフィードバックステージコントローラとの組合せにより、 　真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【取扱製品（抜粋）】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ・真空対応1nmフィードバックステージシステム ・真空対応5nmフィードバックステージシステム ・真空対応10nmフィードバックステージシステム ・真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

○1nm分解能位置決め装置 　分解能：1nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：5mm/s（FC-911コントローラ使用時） 　可動範囲：20mm～50mm 　 ○10nm分解能位置決め装置 　分解能：10nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：10mm/s（一部ステージを除く） 　可動範囲：20～200mm/s

最小分解能：50nm（FC-411使用時） 　　　　　：100nm（FC-111使用時） 最大移動速度：2mm/sec ストローク：100mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 対応真空度：10^-4 Pa ■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：2mm/sec（FC-411 or FC-111使用時） ストローク：5mm　or 10mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 対応真空度：10^-4 Pa ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：20mm/sec（FC-414またはFC-114使用時） ストローク：200mm 対応コントローラ：FC-414またはFC-114 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：10nm 最大移動速度：20mm/sec（FC-514使用時） ストローク：200mm 対応コントローラ：FC-514 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：10nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-511使用時） ストローク：150mm 対応コントローラ：FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：50mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：40mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.4mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：50mm テーブルサイズ：□120mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：40mm テーブルサイズ：□80mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

■ステージ 最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm or 50nm 最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

■ステージ 最小分解能：10nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm 最大動作速度設定値：50mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

■ステージ 最小分解能：5nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm 最大動作速度設定値：30mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：5mm/sec（UPシリーズ） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。

型式：FC-114 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-111と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm インポジション範囲：±100nm（±300nm、±700nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） スローダウンセンサ：対応 ORGセンサ：対応 電源：AC100V～240V

型式：FC-414 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-411と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：50nm インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） スローダウンセンサ：対応 ORGセンサ：対応 電源：AC100V～240V

型式：FC-514 接続対象ステージ：FS-3200PX、FC-511と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品：FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V)、FS-1120θ(V) 制御軸数：2 最小指令単位：50nm インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm インポジション範囲：±5nm（±15nm、±35nm 選択可） 最大動作速度設定：30mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、 ステージ制御軸数：2 最小指令単位：1nm インポジション範囲：±1nm（±3nm、±7nm 選択可） 最大動作速度設定値：6mm/s（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

OPIE'19内のポジショニングEXPOに出展致しました。 日時：2019年4月24日から26日 　　　10:00~17:00 場所：パシフィコ横浜 小間番号：E-17 展示物：1nm分解能位置決め装置、真空対応1nm分解能位置決めステージ

【質問一覧】 ■Q1. 通常（大気） ステージと真空用ステージの違いは？ ■Q2. ステージのストロークとサイズはどのくらい？ ■Q3. Z 軸ステージの選定方法と使い方は？ ■Q4. ケーブルの長さはどのくらいまで伸ばせるのか？ ■Q5. 簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？ ■Q6. ステージの構成要素はどのような材質なのか？ ■Q7. 使用しているアクチュエータは？ ■Q8. オープンステージとフィードバックステージの違いは？ ■Q9. 位置決め時間はどのくらいか？ ■Q10. エンコーダはどこに入っていますか？ ■Q11. エンコーダの検出方式はどのようなものか？ ■Q12. トレーサビリティと分解能とはなにか精度との違いは？ ■Q13. どのようなところで使用されているか？　他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【動作タイプ】 [直動タイプ] ○スタンダードなステージ ○一軸方向の位置を決めをし、組み付けにより多軸化可能 ○ブラケットを用いて垂直方向の使用も可能（ワーク荷重1.5kgfまで） ○垂直方向使用時にギアードモーター使用で10kgfのワークまで位置決め可能 [昇降タイプ] ○ガイドを梯形に配置し、テーブルを昇降させるステージ ○水平方向に対するテーブル面上を広く使用できる [微小回転タイプ] ○±4度の回転ができるステージ ○角度の調整等使用に最適 ○横にしてゴニオステージとして使用可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。

最小分解能：10nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-511使用時） ストローク：5mm　または10mm 対応コントローラ：FC-511 ■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。 自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：10nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-511使用時） ストローク：100mm 対応コントローラ：FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。 自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：10nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-511使用時） ストローク：40mm 対応コントローラ：FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：10nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-514使用時） ストローク：20mm 対応コントローラ：FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 最小分解能：5nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-611使用時） ストローク：50mm テーブルサイズ：□120mm 対応コントローラ：FC-611 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：5nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-611使用時） ストローク：40mm テーブルサイズ：□80mm 対応コントローラ：FC-611 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：5nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-611使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 対応コントローラ：FC-611 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

ロングストロークが特徴的なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-401又はFC-101との組み合わせで50nm 又は100nm分解能の制御を行うことができます。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-401又はFC-101との組み合わせで最小ステップ送り0.00005°又は0.0001°の制御を行うことができます。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-411 or FC-111使用時） ストローク：5mm　or 10mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-411 or FC-111使用時） ストローク：150mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-411 or FC-111使用時） ストローク：100mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

最小分解能：50nm or 100nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-411またはFC-111使用時） ストローク：40mm 対応コントローラ：FC-411またはFC-111 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■