加熱装置・炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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小型塩素炉｜MOCVD治具・石英ボートの付着物除去に対応

GaN・AlN・Si系付着物をCl2/HClで塩化揮発し、治具をドライ洗浄

工業炉

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小型塩素炉｜金属塩化物の選択揮発による不純物分離

Cl2・HClで金属不純物を塩化物化し、母材を残して選択分離

工業炉

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小型ハロゲン対応炉｜F系・Cl系ガスを用いた高温プロセス評価

腐食性ガスによる炉材劣化・リーク不安を抑え、ハロゲン雰囲気試験を安全に検討

電気炉

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マルチ雰囲気炉｜セラミックス焼結・緻密化条件の再現性向上

露点・酸素濃度を管理し、セラミックス焼結・緻密化条件を再現性よく評価

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜化学反応・反応性ガス処理・排ガス評価向け

反応性ガス・排ガス処理まで含め、化学反応プロセスの条件検討をサポート

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜環境浄化材料の焼成・排ガス評価向け

真空・Air・NH3などの雰囲気制御で、環境浄化材料の焼成と排ガス評価をサポート

工業炉

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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け

高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート

工業炉

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分析用サンプル前処理向けメタル炉｜高真空・高純度雰囲気対応

高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート

工業炉

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研究開発向けメタル炉｜真空・還元雰囲気・高温熱処理対応

真空・還元雰囲気で、材料開発や高温熱処理をサポート

工業炉

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メタル炉｜光学部品の封着・ろう付け・高純度雰囲気焼成向け

高純度雰囲気で、光学部品の封着・ろう付け・熱処理をサポート

工業炉

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航空宇宙向け耐熱部品用カーボン炉｜最高3000℃・真空雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、航空宇宙向け耐熱部品の開発・製造をサポート

工業炉

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新材料開発用カーボン炉｜高温焼成・炭化・黒鉛化・雰囲気制御対応

最高3000℃の高温焼成と雰囲気制御で、新材料開発・試作評価をサポート

工業炉

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セラミックス高密度化カーボン炉｜最高3000℃・不活性雰囲気対応

最高3000℃の高温焼成と低酸素雰囲気で、セラミックスの高密度化・焼結をサポート

工業炉

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カーボン炉｜炭化・黒鉛化・高温焼成向け最高3000℃対応

最高3000℃の高温焼成に対応。炭化・黒鉛化・脱脂処理を低酸素雰囲気でサポート

工業炉

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静電チャック・ESC向け雰囲気焼成炉

ESC・セラミックス部品の焼成条件出しに。N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、焼成品質の再現性向上に貢献します。

工業炉

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マルチ雰囲気炉｜有害ガス発生を伴う焼成・排ガス処理に対応

小スケールでは見えにくい排ガスリスクを、炉・排気・除害設計でスケールアップ対応

工業炉

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小型塩素炉｜腐食性ガスを安全に扱うための設計・運用ポイント

Cl2・HClのリーク、腐食、除害リスクを抑える小型塩素炉の安全設計

工業炉

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小型塩素炉｜湿式・磁選では難しい金属不純物除去に対応

湿式処理の廃液・乾燥工程を減らし、選択塩素化で金属不純物を除去

工業炉

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小型塩素炉｜Cl2・HCl処理の現場課題と安全対策

Cl2・HClを使いたいが安全面が不安――そんな現場課題に応える小型塩素炉

工業炉

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小型塩素炉｜選択塩素化・腐食性ガス雰囲気試験に対応

選択塩素化・治具洗浄・腐食性ガス評価に対応する小型ハロゲン炉

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小型カーボン炉｜酸化を抑えて3000℃級処理を実現

2,000〜3,000℃級の高温処理で、酸化・特性ブレを抑える小型カーボン炉

工業炉

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小型カーボン炉｜なぜ極低酸素・3000℃級が可能なのか

残留酸素を抑えながら3000℃級へ。小型カーボン炉の構造と原理を解説

工業炉

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小型カーボン炉｜3000℃級・低酸素雰囲気での用途例

黒鉛化・炭化・焼結・高温反応評価など、小型カーボン炉の用途を紹介

工業炉

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小型カーボン炉｜3000℃級・低酸素雰囲気での主な用途

黒鉛化、炭化、焼結、結晶化など、小型カーボン炉で検討できる用途を紹介

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電気炉ラインナップ｜作りにくい材料を試作から量産へ

低酸素・超高温・高純度・腐食性ガス・多雰囲気など、特殊焼成条件に対応

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小型カーボン炉｜低酸素×3000℃級を実現する設計構造

真空置換・高気密構造・グラファイト加熱で、低酸素と3000℃級処理を両立

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小型カーボン炉｜極低酸素・3000℃級の高温処理に対応

極低酸素×3000℃級で、黒鉛化・炭化・超高温焼成を安定処理

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マルチ雰囲気炉｜雰囲気焼成から熱CVDプロセスまで対応

ガス切替＋加湿/気化器ユニットで、焼成・反応評価・熱CVDを1台で検討

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小型メタル炉｜炉材コンタミ・アウトガスを抑える高純度熱処理

金属ホットゾーンで、断熱材・炉材由来のアウトガスや発塵を抑制

工業炉

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小型メタル炉｜炉材コンタミを抑えた高純度焼成に対応

オールメタル構成で、カーボン・炉材由来の汚染を抑えた高純度熱処理

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サンプル温度・流量・圧力を計測できる管状炉

サンプル温度・ガス流量・圧力を計測し、反応挙動を見える化

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カスタム管状炉｜管サイズ・加熱ゾーン・昇温条件を個別設計

管径・加熱ゾーン・雰囲気・計装まで、用途に合わせて設計する特注管状炉

工業炉

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管状炉｜金属・合金の熱処理条件を見える化

温度・流量・圧力を同期記録し、金属・合金の熱処理条件を最適化

工業炉

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管状炉｜電池電極材の焼成条件を見える化

温度・流量・圧力を同期記録し、電極焼成条件を最適化

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【包装向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

包装のシール加熱に最適。設計自由自在な細径ヒータ。

その他ヒータ

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【食品加工向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

設計自由自在！食品加工の解凍・保温に最適な細径ヒータ

その他ヒータ

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【医療機器向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

医療機器の高度な温度管理に、設計自由自在な細径ヒータ

その他ヒータ

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【研究開発向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

試作・実験に最適。設計自由自在な細径ヒータ。

その他ヒータ

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【半導体製造向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

設計自由自在！局所加熱に最適な細径シースヒータ

その他ヒータ

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【繊維産業向け】手で曲げられる1.6mm細径シースヒータ

設計自由自在！繊維産業の染色・乾燥工程を最適化

その他ヒータ

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【納入実績】コニカルドライヤ

富士工機株式会社

限られたスペースでの容量確保が必要な状況で、作業安全面でも配慮

乾燥機器
加熱装置
機械設計

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カートリッジヒーターCT型

高い電力密度が得られ、長寿命かつ高い絶縁性のヒーター

加熱装置

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ホットフレックス

手で曲げられる!!フレキシブル・シーズヒーター

加熱装置

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ボルトヒーター(特殊カートリッジヒーター)

ボルトを加熱し増締めするヒーター

加熱装置

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低電圧カートリッジヒーター