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規格品が多く設置場所や処理量が制限される真空炉もオーダーメイドで製作しています

工業炉

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【機械加工・組立・測定向け】精密恒温環境ユニット『STCube』

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株式会社ヒーバックシステム

“機械設備をいまある現場で最大限に活かす恒温環境"の新提案！

その他空調機器

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スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！

その他クリーンルーム用機器・設備
その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

その他半導体製造装置

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エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

エッチング装置

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エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

エッチング装置

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エッチング装置　急速エッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

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エッチング装置　半自動ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

エッチング装置

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スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい

その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

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スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

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その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

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スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

コーター
その他半導体製造装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！

エッチング装置

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枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！

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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です

その他半導体製造装置

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卓上ダイヤモンドワイヤーソー『MH-100』

研究開発用途に最適！小型で省スペースのラボ用卓上ダイヤモンドワイヤーソー

その他加工機械
その他

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MH-500　自動シングルダイヤモンドワイヤーソー

ダイヤモンドワイヤーを用い脆性材料の端面出し、シリコンウエハ、ガラス、水晶等の切り出しに好適。

その他加工機械

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PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します

CVD装置

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酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置

広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します

CVD装置

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多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

スパッタリング装置

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立体物用プラズマCVD装置

高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています

CVD装置

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Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成膜に適した製品です。

蒸着装置

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High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！

スパッタリング装置

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『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！

スパッタリング装置

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スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

スパッタリング装置

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カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！

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ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-8654-H

【デモ機貸し出し可能！】ウエハー高圧ジェットスクラバー　HPC-8654-H

ウエハ加工/研磨装置
ウエハー

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ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します

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ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）

その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

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スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

その他半導体製造装置
コーター

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スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います

その他半導体製造装置
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スピン洗浄装置　スプレー現像装置

【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です

その他半導体製造装置
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スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置

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スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上

その他半導体製造装置

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スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

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スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。コンパクトな卓上型

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　自動両面ウエハースクラバー（ブラシ洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

その他半導体製造装置

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キャリヤー及びフープ自動洗浄装置（カセット洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

その他半導体製造装置

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半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

コーター
その他半導体製造装置

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スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型