半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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開発から量産据え付けまで1チームで手がけるHonda鈴鹿製作所におけるAutoForm活用、3年間の歩みとその成果
![[2001454785] Honda鈴鹿製作所におけるAutoForm活用.jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/426/2001454785/IPROS16255087985708576752.jpg?w=280&h=280){kind=small}
- シミュレーター
機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん、面組・立体の「組立品」としても承ります！】
- その他組立機械
- CVD装置
最大5800ｍｍまでのアルミフレームの販売が可能！ また、外装ブースなどの「組立品」としても承ります！他社との互換性もあり。
- その他組立機械
- CVD装置
- アルミニウム
中真空域でのスパッタリング技術を使用し、世界で初めて銅ダイレク成膜によるめっきシード層形成技術を開発！ 従来以上の生産性を実現！
- スパッタリング装置
![FireShot Capture 587 - - [].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/d18/2001518994/IPROS16426556145322883963.png?w=280&h=280){kind=small}
配管を有する装置の保守メンテナンス技術
－－配管・装置の共振現象：配管部・・と高周波の非線形現象：流量制御部・・のダイナミック制御技術－－ 概要 １：配管と装置の振動状態を測定する ２：配管と装置の振動関係を解析して、 配管・装置の相互作用による問題点・改善方法を検討する ３：改善には、メガヘルツ超音波を利用する ４：振動測定に基づいたメガヘルツ超音波の発振制御条件を検討する ５：定期的な振動測定により超音波の制御条件を調整・最適化する 効果 １：振動状態：振動モードの変化を把握（劣化の進行状態が推測できる） ２：配管トラブルの対策が実現できる （配管のつまり、配管の割れ、交換期間の長期化、・・・・実績多数） ３：長期的な装置の安定化、品質改善・・新しい効果の検出・・・ ２０２５． ３ 装置固有の振動状態に合わせた、メガヘルツ超音波の最適化技術を開発 ２０２５． ４ メガヘルツ超音波を利用した「配管への超音波フィルター技術」を開発
ボンディング中のプロセス監視、パラメータ自動最適化機能を持つハイエンド向けK&Sの最新モデル ワイヤボンダ「RAPID」シリーズ
- その他半導体製造装置
デュアルヘッドで3um位置精度で最大UPH15,000を実現！高速／高生産性フリップチップボンダ
- その他半導体製造装置
12インチウェハも対応！ダイシングテープ上でのバンプボンディングを可能にする低温ボンディング性能
- その他半導体製造装置
断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーンホット」はヒーター曲げ技術を生かした電気ヒーターです！
- その他半導体製造装置
- 加熱装置
NVIDIA RTX 4000Ada/NVIDIA RTX 4500Ada 搭載産業用エッジコンピュータ
- 画像処理機器
- その他半導体製造装置
- その他FA機器
Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７?５０ｍＬ／ｍｉｎから用意されています。
- その他半導体製造装置
- 加工受託
- ウエハ加工/研磨装置
マクミラン 薬液流量コントローラ Ｕ８０２のカタログを新規登録しました
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モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。
- その他半導体製造装置
- センサ
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接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅牢なデザインです。耐圧も６９ｋＰａと高く作られています
- その他半導体製造装置
- ガス回収/処理装置
- 液面制御・レベルスイッチ
特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
- CVD装置
- エッチング装置
- 圧力制御
特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
- CVD装置
- エッチング装置
- 圧力制御
薬液流量センサＵ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの小さな流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで用意しています
- ウエハ加工/研磨装置
- 流量制御
- センサ
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薬液流量センサＵ７０１／７０２／７０５／７０６シリーズ低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎのまで測定
- ウエハ加工/研磨装置
- 流量制御
- センサ
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絶対圧、ゲージ圧、気圧を±０．０２％ＦＳで計測します。長期安定性に優れ高精度の圧力基準器として使用可能です。各種デジタル設定可能
- 電子ビーム描画装置
- 試験機器・装置
- 距離関連測定器
１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴＦＥ製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。
- その他半導体製造装置
- 分析機器・装置
- 飲料製造装置
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０～２０ ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レンジまで１４レンジ用意。計測精度は±１．５％ＦＳです。
- その他半導体製造装置
- 分析機器・装置
- センサ
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モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／ｍｉｎまでの、間欠運転、連続運転を精度良く計測出来ます。
- その他半導体製造装置
- センサ
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モデル２７０圧力センサは０～７００ｋＰａの絶対圧、ゲージ圧を±０．０５％ＦＳ精度で計測可能。気圧計としては気象庁検定も可能です。
- 電子ビーム描画装置
