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サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動です
高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の 調整が可能 ■排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動 ■水晶振動式膜厚計もオプションで付けることが可能 ■卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。 シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。 また、専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応。 グローブボックス内設置に関するご相談も承ります(実績多数)。 【特長】 ○コンパクトサイズ ○拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置 ○簡単操作のTMP排気システム採用 ○豊富なオプション ○グローブボックス内への設置も対応可能
金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介
当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜 ■PID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
360度回転／傾斜可能な試料ホルダ搭載で生産性が4倍に
基板状の試料表面に各種金属薄膜を成膜し、膜厚が正確に制御でき真空蒸着装置です。 膜厚依存性や蒸発レート依存性を調べるのに非常に便利な機能
粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置です。
蒸発源を上方から下向きに蒸発させることを可能にすることにより、固定できない粒子状試料への蒸着を可能にしました。
有機薄膜簡易蒸着装置
●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計
E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます
当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える 『有機デバイス蒸着装置 E-100J』を設計・製造・販売しております。 ※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。 【特徴】 ○「E-100」の機能を生かした下位モデル ○「E-100」の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えている ○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置 ○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能 ○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置 ○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製 （E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能 ○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた 『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ：ターボポンプ
太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に！蒸着装置の総合カタログプレゼント！
当社の『蒸着装置』は、小型からハイエンドモデルまで すべて共通のコンセプトで設計。 使いやすい角型チャンバーを採用し、グローブボックスと接続できるほか 他の真空チャンバーと連結可能です。 さらに蒸発源配置を放射状配置にすることにより、8源化を実現するなど お客様のご意見や培った設計経験をもとに使いやすさを追求。 太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に適しております。 ただいま総合カタログをプレゼント中！ 【特長】 ■搬送位置ずれなし！信頼性の高い自社製の搬送ロッド ■ドライな排気系を使用 ■自動排気系（タッチパネル） ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
マルチチャンバー化に対応可能！有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機
『E-70シリーズ』は、有機デバイス研究を目的とした小型の蒸着機です。 他のシリーズ機と接続できるためマルチチャンバー化も可能。 将来的にはグローブボックスの接続なども行えます。 【特長】 ■有機デバイス研究を目的 ■小型の機種 ■他シリーズの蒸着装置と接続が可能 ■将来的にはグローブボックス接続が可能 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用！
当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法：最大φ3インチ ■基板加熱温度：常用600℃ ■リフトオフ成膜機構：特殊遮熱機構採用 ■電子ビームガン：ハース3連手動スライド移動式 ■EBガンメンテ機構：EBガンスライド移動機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載！大気解放することなく連続成膜可能！
当製品は、100×100基板に対応した有機･金属蒸着装置です。 マスク交換用にグローブボックスを連結しており、大気解放することなく 連続成膜することが可能。 蒸着源は、抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを 複数備えた大型蒸着チャンバーです。 【特長】 ■100×100基板に対応 ■マスク交換用にグローブボックスを連結 ■抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源Kセルを複数備えている ■基板回転･基板加熱対応のホルダーを搭載 ■膜厚分布に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトな外観と優れた内部機構
大学などの各研究機関の実験装置をはじめ小ロットの生産装置として最も汎用性の高い装置として設計された、真空蒸着装置
蒸着装置
有機EL量産化問題の全てに、解決策を提案します。 長州産業より、有機EL向高性能蒸着源のご案内です。 全自動蒸着装置OASISを提供しています。 社内に試作ラインを備え、予めサンプル作成を行うことでより実効性の高いシステムを提供します。 独自技術のKセルを核に、有機デバイス等の製造・開発に必要な各種プロセスの組み合わせにより、 陽極から陰極側の封止まで、基材やデバイス構造を問わず、一貫製作が可能です。
限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。
OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 リモートソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」付属：USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。 限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコンパクトサイズ真空蒸着装置です。
