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デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影響を抑制
『LOE』は、密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させる コンポーネントです。 デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への 熱影響を最小限に抑制。その蒸気は、基板へ通じる加熱パイプを通って供給され、 リニアノズルアレイから基板に放出されます。 有機蒸気に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックでできています。ルツボとノズル パイプは、有機材料の凝縮点を超える温度まで加熱されます。 【特長】 ■小分子量有機材料の蒸着 ■固体または液体の前駆体の蒸着 ■シングル蒸着、共蒸着、トリプル蒸着 ■垂直または水平に運転 ■基板幅最大1200mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マグネトロン、イオンビームなど！さまざまな薄膜蒸着ソリューションから選択可能
当社では、幅広いプロセス機能、使いやすさ、優れた信頼性、および グローバルなサービスとサポートを通じて、一貫した再現性のある 結果を提供する「薄膜蒸着装置」を取り扱っております。 蒸着、熱蒸着、マグネトロン、スパッタリング、PE-CVD、イオンビームなど、 幅広い材料とアプリケーションに対応するさまざまな薄膜蒸着ソリューション から選択可能。 また、海外半導体製造装置メーカーの代理店として、新品半導体製造装置 売買および設置を行っております。 【ラインアップ】 ■Infinity Ion Beam Deposition Systems ■Infinity Ion Beam Etch Systems ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多彩なオプションに対応した、高真空蒸着装置です。
一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。 ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。 パネルの EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル＋プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。 VE-2050 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！
Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ○優れた量産性能 →基板搭載数：φ2inchウェハー約400枚/batch φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト：3h/batch 以内 →必要設置エリア：W4.6m×D6.3m×H3.2m ※SGC-S1550i 使用時 ※水晶式膜厚計の脱着の際には 工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある ○優れた再現性 連続batch保証も対応 ○膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための 条件補正も協力できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
