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VAT株式会社

設立1985年2月27日
資本金9647万
従業員数70名
住所東京都大田区羽田旭町10番11号 MFIP羽田1階
電話03-6629-2120
  • 公式サイト
最終更新日:2025/01/09
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高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ

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振子式高真空バルブ Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要

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振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX2接続用)

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大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード

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大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい

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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン

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大型ドアー L-VAT Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い

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バタフライコントロールシステム Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

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ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0

大きな差圧に対応可能!

-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ

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コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2

優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。

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コントロールゲートバルブ Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)

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PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル

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UHVアングルバルブ Series 28.4

腐食性ガスにも対応!

-極めて少ないアウトガス量 -大きな差圧対応 -CF回転フランジ

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振子式コントロールバルブ SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備(PC接続用とCPAソフトウェア用)

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バタフライコントロールバルブ≪ポジション制御用≫

シンプルなソリューションをお求めの方に!

-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス

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緊急遮断シャッターシステム Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

-高い信頼性 -メンテナンス不要 -研究機関向け

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均等排気バルブ SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備(USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用)

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低価格オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1

(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能

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ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール

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ビームストッパー/ビームストッパー インサート

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

-水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし -工業用 -UHV対応

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バタフライバルブ SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能

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オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング

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UHVゲートバルブ SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。

-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易 

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Lゲートバルブ SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ

-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト

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角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック

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角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン

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均等排気バルブ SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備(USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用)

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溶接ベローズ

革新的なソリューションをもたらすVAT溶接ベローズ

VAT溶接ベローズのおもな特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命にあります。 1. お客様のご要求に柔軟に応じつつ、より実際のご使用環境・条件に即してベストな材質・形状をご提案する十分な実績がございます。 2. 軸方向伸縮動作のみならず、軸直角方向動作が複合した状態での連続動作、及び差圧環境下や加熱環境下での耐久試験に基づく十分な信頼性がございます。 3. ISO5クラスのクリーン環境下の製造工程より産み出される、極めてパーティクル発生の少ないHigh Purity製品もご提供可能です。

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真空ゲートバルブ SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト

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高真空ゲートバルブ SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能

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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応(腐食に対しての高い耐性)します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します!

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    【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会!出展社募集中

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