リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar (abs) DN 100-160: ～2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ開方向 DN 10-50: ≤ 2.0 bar DN 63-160: ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 DN 10-50: ≤ 5.0 bar DN 63-80: ≤ 4.0 bar DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 手動アクチュエータ DN 10-80: 10,000 DN 100-160: 10,000 開/閉スプリング DN 10-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 複動シリンダー DN 100-160: 百万回 軸シール: ベローズ 取付け方向: 自由

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サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: 1 × 10-8 mbar ～ 1.2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 200: ≤ 10 mbar DN 250-500: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 200,000 加熱および冷却速度: ≤ 30 °C h-1 軸シール: 回転軸シール 電磁弁: 24 V DC、5.4 W（その他はお問い合わせ下さい）

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サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1 リーク量 バルブシート アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-4 mbar ls-1 使用圧力範囲 アルミニウム: < 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-6 mbar～1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数 圧力制御: 百万回 閉/開: 200,000 軸シール アクチュエータ: 回転軸シール シーリングリング: Oリング軸シール

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リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 5 mbar (≤ 500 Pa) 開口サイズ: 100 × 1000 mm (3.94“ × 39.37“) ～ 300 × 3800 mm ( 11.81“ × 149.60“) リミットスイッチ/電圧: 24V DC PNP (NPN optional) 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ150 mm） 軸シール: Oリング軸シール 取付け方向: アクチュエータ上向または下向

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開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤1 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ100mm） 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30 V DC PNP (NPN optional)

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開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤1 bar バルブ開方向: ≤10 mbar (optional 1 bar) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤1.2 s（開口サイズ80ｘ 1500 mm） 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30 V DC PNP(NPN optional)

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開口サイズ: 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量: ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤ 1 bar バルブ開方向: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤ 2.5 s

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サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar～1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数: 二百万回 取付け方向:　自由（ポンプ側のシャフト取付けを推奨）

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リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-160: 1 × 10 – 7 mbar～2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 バルブ開方向 DN 63-80: ≤ 1.2 bar DN 100-160: ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 DN 63-80: ≤ 4.0 bar DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 63-80: ≤ 1 bar DN 100-160: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 DN 63-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 軸シール（メインバルブ） DN 63-80: ベローズ DN 100-160: Oリング軸シール 電磁弁 DN 63-80: 24V DC、9.0W DN 100-160: 24V DC、9.0W

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サイズ: DN25-200mm (1“ – 10“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F

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サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: DN63-200 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs) DN250-400 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: バルブ閉の状態 DN63-200 ≤ 2 bar DN250-400 ≤ 1.2 bar 開/閉動作中 ≤ 30 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 圧力コントロール 百万回 閉/開 200,000 取付け方向: DN63-350 自由 DN400 水平 バルブの開閉位置表示: 目視位置表示付き（機械的およびコントローラに）

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サイズ: DN63-250mm アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: 15.0/15.1 アルミニウム、15.2 ステンレススチール 軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール 標準フランジ: 15.0/15.1 ISO-F, ASA-LP, JIS 15.2 ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シール技術: MONOVAT

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サイズ: DN 16 – 63 mm (⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R

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サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 標準フランジ: ISO-F、JIS

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サイズ: 61.3 DN 25-320mm (1“ – 12“) 61.6 DN 40-100mm (1½“ – 4“) アクチュエータ: 搭載型コントローラー ボディ材質: 61.3 アルミニウムまたはステンレススチール 61.6 硬質アルマイト加工アルミニウムまたはステンレススチール 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F

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サイズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F

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サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS チャンバー側 顧客仕様による

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リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar バルブの寿命: ≥ 1,000 サイクル ベークアウト温度: ≤ 300 °C（開、閉位置において） 加熱および冷却速度: ≤ 60 °C h-1 材質（バルブボディ、メカニズム、ベローズ）: AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール（ボンネット、プレート）: メタル 軸シール: ベローズ 取付け方向: 自由 バルブの開閉位置表示: 機械的な目視位置表示付き コンダクタンス（分子流）: DN16 5 ls-1 DN40 50 ls-1 DN63 105 ls-1 締切りに必要な力: 機械的に止まるまで閉める

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サイズ: DN 16 – 50 mm (⅝“ – 2“) アクチュエータ: 手動式 回転ハンドル付き 圧空作動式 単動シリンダー スプリングによる閉動作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F シーリング技術: MONOVAT

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サイズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F

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サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K

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サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: VATRING "hard on hard"

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サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技術: VATLOCK

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サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV

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ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 x 336mm to 80 x 500mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム シール技術: L-MOTION

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開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール シール技術: MONOVAT機構 ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを採用

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サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS　チャンバー側 顧客仕様による

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スタンピング 最適化されたダイヤフラムのスタンピング（打ち抜き・型押し同時加工）により、標準サイズの溶接ベローズの安定した大量生産を支えています。 洗浄 VATは個々の要求に見合った三段階の洗浄工程をご提案します。 標準洗浄はISO8の環境下で行われます。仕入れた部品はアルカリ洗浄後、超純水ですすぎます。部品はその後、最後の組立と包装のため厳しい環境下で管理されます。 高純度な洗浄ラインでは標準洗浄に加え、UV-A、光明目視検査などを追加しています。 最高純度の洗浄ラインではISO5の完全自動化された環境下で洗浄・包装されます。 生産 VATの自動化プロセスはISO8環境下のクリーンルームで行われています。 レーザー溶接機械の高度な自動化は大量生産に理想的です。 多品種・小サイズの生産においてはマイクロプラズマ装置、もしくは、レーザー装置を使った手動による生産が最も適しています。 品質管理 VATは高気密性、ならびに高耐久性を保証するため、 -ヘリウムを使った質量分析計による全数のリークテスト -ISO9001認定工場での製造 を行っております。

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カスタムソリューション アクチュエータ -緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 -2重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位置に2つのリミットスイッチ付き) -耐熱リミットスイッチ: アクチュエータの最高ベークアウト温度140℃ バルブ -お客様の真空システムに挿入取り付け（ボディなし） -表面処理 例: 硬質アルマイト加工 -お客様指定のフランジ -標準以外のシール材 -レーザーアプリケーション用のシャッター（シールなしゲート）

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機能 くさび型のプレート&受け（特許取得のウェッジシーリング）により、圧力差があっても開け閉め可能です。O-リングがデポ物を掻き取るため、リーク量を低減いたします。 頑丈 1. 真空に触れる大部分はステンレススチールです 2. 真空中にグリースの使用箇所および可動部品がありません 容易なメンテナンス 1. 特殊な工具は必要ありません 2. 滑らかな表面でクリーニングが簡単にできます 3. クリーニング後、再度潤滑油を塗る必要はありません 4. クリーニング後、再調整は必要ありません 5. 低価格帯の消耗品のみ交換となります

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特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生が少ない 3. 金属と金属が擦れないため、Oリングで摩擦がほとんど起きません 4. 可動部品がありません

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