半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

お客様のご要望にあわせた超音波振動子・超音波発振装置の開発・制作を承っております

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

お客様のご要望にあわせた超音波振動子・超音波発振装置の開発・制作を承っております

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

小型軽量化を徹底的に追及

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

小型軽量化を徹底的に追及

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

過去30年にわたり、数多くのセミコンダクター用ワイヤーボンダーに搭載されてきた実績があります

• 超音波発振器
• その他半導体製造装置

高速熱処理装置（RTP/RTA装置）　AccuThermo シリーズ

• その他半導体製造装置

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計した、高性能・低価格のマニュアル・プローバです。

• その他半導体製造装置

私たちは、HOYAグループにおけるフォトニクス事業の中核として、最新のレーザーテクノロジーとその応用の可能性を追及し、産業・医療

• その他半導体製造装置

±1um以下の超高精度アライメント。試作開発に最適

• その他半導体製造装置

Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450℃ 高い温度安定性

• 加熱装置
• アニール炉

発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！

• その他半導体製造装置

半導体製造装置のリーディングカンパニー東京エレクトロン九州の最新製品を掲載！

• その他半導体製造装置

溶剤消耗量を減らしてランニングコスト激減！蒸留＆分離で、洗浄溶剤を常に再生・再利用する洗浄機です。

• 超音波洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他環境機器

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！〜

• スパッタリング装置

フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置

• 半導体検査/試験装置

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

• その他半導体製造装置
• その他フィルタ

ＰＳＰＣ基準対応品。３枚刃カッターブレードを採用しているので、刃が長持ちし、ランニングコストが安い！

• ウエハ加工/研磨装置

ウェーハ外周端面を、簡易的に面取りする半自動の研削加工機

• ウエハ加工/研磨装置

セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサにて非接触測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる装置です

• その他半導体製造装置
• その他産業用ロボット

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

高品質レイアウトデザインを提供します！高性能パッケージ専用自動配線ツール

• 半導体検査/試験装置

磨耗に強いダイヤモンドライクカーボンです

• コーター

本機械はワークをスピン乾燥する装置です

• その他半導体製造装置
• その他産業用ロボット

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

ガラス板にエポキシ接着されたウェーハを洗浄する装置です

• その他半導体製造装置
• ウエハ加工/研磨装置
• その他産業用ロボット

溶液をスピンコートにより塗布する装置です

• ウエハ加工/研磨装置
• その他産業用ロボット
• スプレー

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

二次元コード読み取り装置

• その他半導体製造装置
• その他半導体製造装置

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）する為の装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

合否判定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

安全カバーと遠隔操作機構を備えた手動装置

• その他半導体製造装置
• その他加工機械

φ300mm貼り合わせウェーハを加熱用IRランプにて加熱する装置です

• その他半導体製造装置

一括カセットtoカセット移載

• その他半導体製造装置

3種類の動作が行える装置

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

ウェーハを1枚ずつローディングする装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、または樹脂製のキャリアの厚さを測定する装置です。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置