蒸着装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

医療規格「60601-1」等を取得した抗菌プラスチック筐体タッチパネルPCとタッチ・モニター及びBOX型PCの総合カタログ

• 産業用PC
• 組込みボード・コンピュータ
• その他組込み系（ソフト＆ハード）

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工しています

• ガラス
• 加工受託
• 蒸着装置

レーザー微細形状加工：ニッケル六角トリミング加工

• 加工受託
• 蒸着装置
• エンジン系部品

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

• 蒸着装置
• その他半導体製造装置
• エッチング装置

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

• 蒸着装置

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

• 蒸着装置

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

• 蒸着装置
• その他機械要素

取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

• 蒸着装置
• その他機械要素

メタリック箔用途やカラーサンプルの規格などをご紹介

• 蒸着装置

プラスチック用ファインフォイルの用途などをご紹介

• 蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形成可能

• 蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です

• 蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

• 蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

• 蒸着装置

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

• 真空機器
• 蒸着装置

学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

• 蒸着装置

タングステン、タンタル、モリブデンなど、レアメタルの素材が購入できるWEBショップ

• 蒸着装置
• 非鉄金属

原料（粉末）から最終製品まで一貫生産。ずば抜けて高機能な材料を提供可能

• 蒸着装置
• 非鉄金属

【※全185種をラインナップ・在庫！】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない！高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート

• 蒸着装置
• 非鉄金属

気化した金属をプラスチック製品の表面に付着（メッキ）させる成膜技術です

• 加工受託
• 蒸着装置

ふだんの暮らしに生きている蒸着製品

• 蒸着装置
• 加工受託

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。

• 蒸着装置

～亜鉛めっき・真空蒸着・UV塗装のご案内～

• めっき装置
• 蒸着装置
• 塗装機械

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

• 蒸着装置
• ウエハー
• その他産業用ロボット

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウエハを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。

• 蒸着装置
• その他理化学機器
• ウエハー

「貼り」を極めた、高精度な貼付装置を掲載しています

• その他加工機械
• 蒸着装置

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

• 蒸着装置

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数収録

• 動力伝達機器
• 真空機器
• 蒸着装置

ミニチュアエバポレータ

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡

低圧動作のECR型アトムソース

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル

• 蒸着装置

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない！高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。

• 蒸着装置

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも成功しております。万が一のときには修理も行っています。

• 蒸着装置

各種消耗部品を取り扱っております。

• 蒸着装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。

• 蒸着装置
• その他ヒータ
• 有機EL

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

• 真空機器
• 蒸着装置

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

• 蒸着装置

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置です。

• 蒸着装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• 蒸着装置

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！

• 蒸着装置
• コントローラ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

• 加工受託
• 製造受託
• 蒸着装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

大口径シール

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。

• 真空機器
• 恒温槽
• 蒸着装置

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

• 蒸着装置

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

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