プラズマ/の製品一覧
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フォトマスクの新規開発に携わる方必見！コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置
- エッチング装置
3Dパーツの輪郭部分だけの処理などに！『AP-4000・AP-4000 Multi』の用途をご紹介します
- プラズマ表面処理装置
- プラズマ発生装置
MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。 ※4月16日 ～ 4月17日開催
- エッチング装置
「MEMS Engineer Forum 2025」 - 技術展示のお知らせ
2025年4月16日～17日に開催される「MEMS Engineer Forum 2025」の技術展示コーナーに出展致します。 ＜展示内容＞ １ 高密度ラジカルによる低温・低ダメージエッチング・クリーニング装置の紹介 特許取得済みのHDRF技術により、MEMSの歩留原因を取り除きます。 ２ これからの高周波デバイスや高速光変調導波路加工に不可欠な加工技術（イオン・ビーム・エッチング）の紹介 多層構造物の加工に最適なイオン・ビーム・エッチング。加工面の角度調整、側壁の粗さ調整が可能です。 ３ 化合物半導体のバッチ処理に適したプラズマ・エッチング、成膜装置の紹介 「シャトル」（ウエハキャリア）に複数枚のウエハを搭載し、バッチ処理が出来ます。少量量産に適した装置。 ご来場お待ちしております。
ウェブ搬送用ロールの粘着物の付着防止策！複数の異なる特性付与にお応えし、コスト削減・品質向上といった改善に寄与します！
- 表面処理受託サービス
- 加工受託
- コーティング剤
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
- 蒸着装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法をご確認いただくか、関連リンクから直接お申し込みください。
- その他の各種サービス
独自のプラズマ放電技術でオイルミストと水溶性ミストを強力捕集。業界No1の処理濃度により99.9%の捕集率を実現。
- その他工作機械
- 集塵機
- オイルミストコレクタ
価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行う事が出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
- その他検査機器・装置
Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運びが容易なハンディタイプのプラズマ照射装置！
- プラズマ表面処理装置
- プラズマ発生装置
【展示会】東京ビックサイト『先端材料技術展2021』
複合材成形技術の「自動化」をテーマに、『Automation of Composites Technology』として浅野研究所・アドウェルズ・KADO・島精機製作所・ゼネテック・日本プラズマトリート・富士インダストリーズ・ヘレウス・ポリマーエンジニアリング・丸井織物・ライスターテクノロジーズの11社にて共同出展しております。
元素分析時などの前処理としてマイクロ波は、時間を節約し、工程を効率的に制御できるようにする効果的な加熱源として使用されます。
- 加熱装置
再生医療が脚光を浴び、プラズマ療法の世界市場が急騰 再生医療の導入が進み、革新的な治療オプションに対する需要が高まっている。
- その他
【デモ機・テスト貸出相談可】ガス代やメンテナンス等が不要で手軽に利用可能！ロボットセルなどほとんどの生産ラインで使用可能
- その他表面処理装置
小型！ワンタッチで挿抜可能！最大50kVDC対応のプッシュプルコネクタ。レモオリジナルの高電圧同軸シールドケーブルもご用意。
- その他コネクタ
12月オープン！LEMOバーチャル展示会 開催のお知らせ
例年であれば、この時期はセミコンが開催され、日本のみならず海外からもたくさんの来訪者が期待できるはずでしたが、今年はコロナ感染拡大に伴いフィジカルとしての展示会は中止となり、当社も出展を見送りました。 そのセミコンに代わる情報提供の場として、微力ながらこの時期に合わせて盛り上げたく、当社独自で『LEMO Semiconductor Solution on-line Exhibition』としてバーチャルブースをオープンいたします！ さらに12月22日からは『TECHTALK』と題しまして、セミコン業界に関する5つのソリューションを3日に分けてウェビナーにてご紹介！ Q&Aコーナーもございますのでこの機会にぜひご参加ください。 ▼WEB展示会詳細はこちら（2025年3月URLが変更になりました） https://www.lemo.com/ja/article/teshesaito-webzhanshihui3tsutongshikaicuizhong 【基本情報】 ・ウェビナー開催 ・採用事例紹介 ・オンライン商談予約 ・LEMOコネクタソリューション紹介動画など
『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法をご確認いただくか、関連リンクから直接お申し込みください。
- その他の各種サービス
高いエネルギーレベルが安定的に長期間持続！高機能性基材の開発が可能に！
- プラズマ発生装置
光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現！
- プラズマ発生装置
- プラズマ表面処理装置
経済産業省が策定したガイドラインに準拠 新型コロナウイルス感染防止換気対策用 二酸化炭素（CO₂）モニター CO2RK-Lite
経済産業省が策定したガイドラインに準拠 新型コロナウイルス感染防止換気対策用 二酸化炭素（CO₂）モニター MODEL :CO2RK-Lite（理研計器株式会社） 新型コロナウイルス感染防止対策として、室内の二酸化炭素（CO₂）濃度が1000ppmを超えないか確認し、適切に換気を行うこととされています。 CO2RK-Liteは、二酸化炭素「CO₂」を検知して、適切な換気の目安を お知らせすることで、感染リスクを低減します。 ＊国土交通省発行「建設業における新型コロナウイルス感染予防対策ガイドライン」では、休憩･休息スペースでの適切な換気目安としてCO₂センサーの設置を推奨しています。 【特徴】 ■経済産業省が策定したガイドラインに準拠 ■正確な測定、誤検知しないセンサ ■消毒用アルコールに反応しない ■Bluetoothでスマートフォンと連動 ■10年間メンテナンスフリー
溶接歪みを抑えて溶接作業の品質と作業効率を高める３D溶接定盤 。簡単な操作で強力な固定かつ自由な取り回しが利くクランプシステム
- 検査治具
名古屋メカトロテックジャパン２０２３
日本最大級の工作機械の見本市メカトロテックジャパンにバリ取り機が勢ぞろい！ バリ取り機は現地でテスト加工も承ります。ぜひ、ワークを持ち込みの上、ご相談くださいませ。 また、溶接業界で人気沸騰の３D溶接定盤も実機をお試し頂けます！ ぜひご来場の際は弊社ブースにお立ち寄りくださいませ。
外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。 表面処理（塗装、接着、印刷等の前処理）、バイオ・医療分野にも。
- その他半導体製造装置
ガス不要タイプの大気圧プラズマ装置の販売を開始いたしました。
外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。 表面処理（塗装、接着、印刷等の前処理）、バイオ・歯科医療分野にもお使い頂けます。 ガスを不要にすることで、ガスのコストや人体への影響を低減しました。
自動機との組み合わせで高機能切断！大容量130Aタイプ、最高70mmまで切断可能なPF1シリーズ
- 塑性加工機械(切断・圧延)
NEW!『回転型プラズマ装置』！!国際フロンティア産業メッセ2012@神戸に９月６～７日出展 ■展示ブースにデモ機有り 表面改質・洗浄用途に人気です。
新製品！回転型プラズマ装置を展示会にて初披露！ 【展示会名】国際フロンティア産業メッセ2012 【会 期】 2012年9月6日(木)～7日(金) 10:00～17:00 【会 場】神戸国際展示場2号館（神戸ポートアイランド） 【予定出展規模】 200小間（同時開催事業を含む）※平成23年度実績239企業・271小間 【予定来場者数】 15,000人 ※平成23年度実績17,253人 【 ブ ー ス 】 ブース番号B‐07 『京都環境ナノクラスター（(財)京都高度技術研究所』 のブース内で展示 【プレゼンテーション】 9/7(金) プレゼンテーションコーナーＡ 11：00-11：20 【出展内容】 ☆実機展示 卓上真空プラズマ装置 YHS-R 回転型真空プラズマ装置 YHS-DOS ■魁半導体 展示会特設ページ http://www.sakigake-semicon.co.jp/international-industrial-%20fair2012_plasma.html