Siウエハ/の製品一覧
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非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数
- 三次元測定器
光・レーザー技術展 Photonix大阪展
2025年5/14（水）～5/16（金)にインテックス大阪にて開催されるPhotonix大阪展に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。 ■出品予定製品 Enovasense社製レーザフォトサーマルセンサ 色収差共焦点方式３Dラインセンサ ProCutter Prime レーザスポット径可変型 高出力レーザ切断ヘッド LWM レーザ溶接モニタリング装置 CoaxPrinter 同軸ワイヤー 金属3Dプリンター用ヘッド(complete package: w/ wire fidding, pyrometer, IDM) ScanMaster 高速形状認識・パラメータ最適化・OCT・スキャナー溶接 ScanWelder/WM new camera 1軸揺動ヘッド・シームトラッキング用ヘッド、高速画像処理＆形状認識
技術情報「めっき試料の脱ガス評価（C0464）」他、4件を公開
MSTホームページにて、下記分析事例5件を公開しました。 ・めっき試料の脱ガス評価（C0464） ・代表的な材料・目的別のTDS解析例（B0232） ・LC/MS/MSによるペプチドの配列解析（C0466） ・Siウエハ表面の金属汚染評価（B0233） ・SiN膜中の金属汚染評価（C0465） 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高速サンプリング。加工中のモニタリング用途に最適。
- 膜厚計
Semicon Japan 2024
2024年12/11(水)~12/12（金）に東京ビッグサイトにて開催されるSemicon Japan 2024に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。 ■出品予定製品 1. 分光干渉式の光学厚みセンサ CHRocodile 2 DW/ 2IT 2. 12'ウエハ全面厚み・形状測定用エリアスキャナ Flying Spot Scanner（FSS) 3. 色収差共焦点の光学ラインセンサ CLS2.0 4. 色収差共焦点のラインカメラ CVC 5. 色収差共焦点の光学式シングルポイントセンサ CHRocodile Mini 6. 不透明体の非接触厚み測定センサ Enovasnese 7. 非接触での内部欠陥検知用センサ Field sensor
エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。
- 受託解析
- 分析機器・装置
- その他受託サービス
化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。 製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、 無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適 なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。 分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、 目的に合った手法を選ぶ必要があります。
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
- その他計測・記録・測定器
- センサ
Semicon Japan 2024
2024年12/11(水)~12/12（金）に東京ビッグサイトにて開催されるSemicon Japan 2024に出展します。ご興味ある方は、是非会場までお越しください。 ■出品予定製品 1. 分光干渉式の光学厚みセンサ CHRocodile 2 DW/ 2IT 2. 12'ウエハ全面厚み・形状測定用エリアスキャナ Flying Spot Scanner（FSS) 3. 色収差共焦点の光学ラインセンサ CLS2.0 4. 色収差共焦点のラインカメラ CVC 5. 色収差共焦点の光学式シングルポイントセンサ CHRocodile Mini 6. 不透明体の非接触厚み測定センサ Enovasnese 7. 非接触での内部欠陥検知用センサ Field sensor
半導体装置部品の高純度SiC、海外製SiCウエハ、耐火物SiCに加えて、SiC部品と相性が良いレーザー加工まで受託対応します！
- ウエハー
- 酸化/拡散装置
技術情報「有機多層膜のラマン3Dマッピング」ほか3件を公開
MSTホームページにて、下記分析事例3件を公開しました。 ・有機多層膜のラマン3Dマッピング ・ウエハ表面の金属・有機物汚染評価 ・Ramanによる金属部材上の異物分析 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。
- その他検査機器・装置
- 膜厚計
ネプコンジャパン 2025
2025年1月22~24日に東京ビッグサイトで開催されるネプコンジャパンにて出展します。ご興味ある方は是非ブースまでお越しください。 ■出展予定製品 分光干渉厚みセンサ CHRocodile 2IT エリアスキャナ FSS80 色収差共焦点センサ CHRocodile Mini 色収差共焦点ラインセンサ CLS2 色収差共焦点ラインカメラ CVC 不透明体の厚み測定センサEnovasense 内部欠陥検査用エリアセンサ Field sensor
技術情報「めっき試料の脱ガス評価（C0464）」他、4件を公開
MSTホームページにて、下記分析事例5件を公開しました。 ・めっき試料の脱ガス評価（C0464） ・代表的な材料・目的別のTDS解析例（B0232） ・LC/MS/MSによるペプチドの配列解析（C0466） ・Siウエハ表面の金属汚染評価（B0233） ・SiN膜中の金属汚染評価（C0465） 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
- 受託解析
- 受託測定
- 技術書・参考書
【異種材料接合の課題を解決！】ガラス-金属、アルミナ-金属、Si-金属、金属-金属の異種材料接合により高真空度の実装・封止を実現
- 加工受託
◆逆バイアス状況下で駆動◆大口径、四角形もラインナップ◆低ダークカレント◆シリコンPINフォトダイオード◆ピーク波長約940nm
- その他光学部品
- その他理化学機器
- その他計測・記録・測定器
高アスペクトフィリングに対応、シリコンインターポーザ向け硫酸銅めっき添加剤・TORYZA LCN SV
- 化学薬品
第1回［九州］半導体産業展に出展します
当社は、2024年9月25日(水)～26日(木)に、マリンメッセ福岡 B館で開催されます第1回［九州］半導体産業展に出展いたします。 ブースでは、ウエハ、パッケージ基板向けの最新表面処理薬品とプロセス技術を展示しますので、ぜひお立ち寄りください。 詳細は関連リンク【第1回［九州］半導体産業展に出展します】からご確認ください。
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度～高粘度(MAX10000cP)レジスト対応！
- コーター
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！
- コーター
Mipox WaferEdgePolisherはSIウエハメーカー、再生ウエハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。
- ウエハ加工/研磨装置
1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。
- その他半導体製造装置
ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です
- ステッパー
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精度に測定するIn-situモニター。
- CVD装置
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。
- コーター
