試験・分析・測定

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

設立昭和５９年８月１日（１９８４年）
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
最終更新日：
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【測定法】質量分析法 【測定法】質量分析法
【測定法】光電子分光法 【測定法】光電子分光法
【測定法】電子顕微鏡観察・分析 【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】振動分光 【測定法】振動分光
【測定法】X線回折関連 【測定法】X線回折関連
【測定法】SPM関連 【測定法】SPM関連
【測定法】故障解析 【測定法】故障解析
【測定法】そのほかの測定法 【測定法】そのほかの測定法
【加工法・処理法】 【加工法・処理法】
その他のサービス・サポート情報 その他のサービス・サポート情報
【分析事例】LSI・メモリ 【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】光デバイス 【分析事例】光デバイス
【分析事例】太陽電池 【分析事例】太陽電池
【分析事例】燃料電池 【分析事例】燃料電池
【分析事例】ディスプレイ 【分析事例】ディスプレイ
【分析事例】酸化物半導体 【分析事例】酸化物半導体
【分析事例】パワーデバイス 【分析事例】パワーデバイス
【分析事例】電子部品 【分析事例】電子部品
【分析事例】二次電池 【分析事例】二次電池
【分析事例】照明 【分析事例】照明
【分析事例】製造装置・部品 【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】バイオテクノロジ 【分析事例】バイオテクノロジ
【分析事例】化粧品 【分析事例】化粧品
【分析事例】食品 【分析事例】食品
【分析事例】医薬品 【分析事例】医薬品
【分析事例】医療機器 【分析事例】医療機器
【分析事例】日用品 【分析事例】日用品
【分析事例】環境 【分析事例】環境
【分析事例】その他 【分析事例】その他
MSTが出展した展示会の資料 MSTが出展した展示会の資料
【測定法】質量分析法

【測定法】質量分析法

◆SIMS（二次イオン質量分析法） ◆TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法） ◆TG-DTA-MS（示差熱天秤質量分析法） ◆GC/MS（ガスクロマトグラフィー質量分析法 ） ◆LC/MS（液体クロマトグラフィー質量分析法） ◆LC/MS/MS（液体クロマトグラフィー質量分析法）

［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です

酸素やセシウムなどのイオン(一次イオン)を試料表面に照射すると試料表面近傍の原子は攪拌され、一部が真空中に飛び出してきます（スパッタリング）。 飛び出してきた粒子のうちイオン(二次イオン)を質量分析することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行います。

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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です

一次イオン照射量を少なくすることで、表面の分子状態を保って二次イオンを発生させることが可能となります。得られた二次イオンを、飛行時間型（Time-of-Flight)質量計で分析します。

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［IC］イオンクロマトグラフ法

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

イオンクロマトグフ法（IC法）は液体クロマトグラフ法（表1）の1種に分類され、液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 溶離液と呼ばれる移動相に液体試料を導入し、試料中のイオン成分を固定相である分離カラム内で分離させます。イオンクロマトグラフ法には主に3種類の分離機構があり（表2）、その中でも、イオン交換分離を利用した分離機構が最も一般的に用いられます。イオン交換分離は、着目イオン成分の価数やイオン半径の違い等によって各イオン成分を分離する方法です。 検出器には電気伝導度検出器、電気化学検出器、UV検出器、蛍光検出器、質量分析計等が用いられます。 カラムで分離した各イオン成分の保持時間はイオン成分ごとに異なるため、ピーク位置（保持時間）を標準試料と比較することで定性分析を行うことができます。また、測定強度と溶液中のイオン成分濃度が比例関係となるため、濃度既知の標準溶液との比較によりイオン成分の定量分析が可能です。

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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

有機化合物の定性・定量を行う分析手法です

■試料導入 気体または容易に気化する液体はGCへ直接導入が可能です。固体については分析目的により、溶媒抽出、熱分解法、ヘッドスペース法などで溶液化または気化してGCへ導入します。 ■成分分離 試料導入部で気化したサンプルはキャリアガスによって運ばれ、カラム内を通過します。カラム中の固定相との相互作用の強弱により、サンプル中各成分は成分毎に移動速度に違いが生じ、分離されます。 ■イオン化（EI法） GCで分離された各成分の分子は順次質量分析計に導入され、フィラメントから放出された熱電子と衝突することによりイオン化されます。生成したイオン（分子イオン）の一部はさらに開裂してフラグメントイオンが生成します。 ■質量分離(四重極型) 生成したイオンは4本のロッドからなる四重極型質量分析計に導入されます。ロッドにかける電圧を調整することにより、特定の質量のイオンのみが検出器に到達し分子の質量情報を有するマススペクトルが得られます。

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［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法

イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です

■カラム分離 液体（または溶液化した）サンプルを、カラムに導入します。サンプル中の各成分はカラム内で固定相と移動相に対する親和性（保持力）の差によって成分ごとに分離されます。カラム内を高圧にすることによって、カラム分離の分離能力・検出能力を高くすることができます。 ■検出器 分離された成分は検出器で検出されます（クロマトグラフ）。クロマトグラフの保持時間（横軸）から定性が、ピーク面積から定量が行えます。また、吸収スペクトル・質量スペクトルから、成分の推定・同定が可能です。

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［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

Ar雰囲気下で、試料をマイナス極としてグロー放電を行います。Arガスが試料に衝突することにより試料構成元素がスパッタされます。スパッタにより放出された元素は大部分が中性ですが、Arプラズマ中でイオン化されます。 イオン化された原子を二重収束型質量分析器で測定し、元素の定性及び濃度の算出を行います。 試料内容や分析目的により、試料の加工法を選択します。 ピンセル方式：試料の加工が容易な場合。バルク分析に向いています。 フラットセル方式：試料の表面が平坦な場合。膜の分析や深さ方向分析に向いています。

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［TDS］昇温脱離ガス分析法

真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水素や水も感度よく確認

■加熱部 試料をステージ上に置き、ステージ下部から赤外線を照射することにより試料を加熱します。 温度制御は、ステージ側にある熱電対にて行ないます。試料上部側の熱電対により試料表面側の温度を測定することも可能です。 ■質量分析部 加熱により発生したガスは加速した電子の衝突よりプラスイオン化され、質量電荷比に応じて分離されます。

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［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法

導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です

ICP-MSは特定の質量/電荷比（m/z）のイオン強度を測定する手法です。イオン源としては一般的にアルゴンプラズマが用いられます。 アルゴンプラズマは、高周波電流の流れる誘導コイルを巻いた石英3重管にアルゴンを流すことで得られ、非常に高いガス温度、電子温度を持つため、多くの元素に関して90％以上のイオン化が可能です。 多くの金属は＋1価のイオンとして質量分析計に導入されます。 天然に存在する元素は、一定の同位体組成を持っているため、各m/zに現れるイオン強度をスキャンすることで含有元素の定性分析を行うことができます。また、イオン強度が含有元素量と比例関係にあることを利用し、濃度既知の標準溶液と試料のイオン強度を比較することで、定量分析を行うことができます。

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［HPLC］高速液体クロマトグラフ法

高速液体クロマトグラフ法（HPLC）は、液体中の成分を固定相と移動相の相互作用の差を利用し分離・検出する手法です。

測定対象に応じて分離方法・検出器を選択することで、低分子～高分子、低極性～高極性化合物まで様々な有機化合物の定性・定量が可能です。

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液体クロマトグラフ-フーリエ変換質量分析法

OrbitrTM質量分析計(HRMS)による、高分解能・高精度な分析が可能です。

詳しくは、お問い合わせください。

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【分析事例】エポキシ樹脂硬化剤の分析

2液性エポキシ樹脂の硬化剤成分の構造推定

測定法：GC/MS 製品分野：高分子材料・電子部品・日用品 分析目的：組成評価・同定・製品調査

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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析

液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。

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【分析事例】ジンセノサイド（Ginsenoside）の分析

高麗人参サポニン26種のLC/MS/MS一斉分析が可能です

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【分析事例】光ファイバーのコアとクラッドの定性評価

TOF-SIMSにより光ファイバーの材料の定性・分布評価が可能です

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【分析事例】撥水箇所の成分分析

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

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【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析

様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です

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【分析事例】液晶材料の分子構造解析

GC/TOFMSにより液晶ディスプレイ中液晶分子の構造推定が可能です。

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【分析事例】表面分析による品質管理

表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価できます

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固体分析　新サービス開始 （GDMS）

「多くの元素を感度よく測りたい!」というご要望にお応えします。 主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。

ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。 一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたいという分析ニーズも増えてきています。そこで、MSTは前処理を不要とするGDMSを導入し、新たな不純物分析サービスを開始いたします。 また、内製化によるサービスのリニューアルとなりますので、従来より短納期でデータのご報告が可能となります。

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燃焼-イオンクロマトグラフィ－分析(燃焼-IC)

ハロゲン（F、Cl、Br）、硫黄の分析が可能です

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生体材料のイメージング質量分析法（IMS）の受託分析

TOF-SIMSとMALDI-MSの両方を組み合わせた脂質のイメージング分析

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LDI-MS（レーザー脱離イオン化質量分析法）の概要と特徴

LDI-MSとMALDI-MSの違いについて

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質量分析を利用した複数のSNP解析

マスアレイ法により、複数のSNP（一塩基多型）を同時に解析できます

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【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定

ICP-MS、 GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析

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【分析事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価

製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です

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【分析事例】セラミックスの変色原因評価

TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能

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【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価

洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能

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【分析事例】セラミックスのぬれ性原因評価

無機材料の親水・撥水箇所に特徴的な有機物の分析ができます

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SIMS分析データの再現性

再現性の高い不純物量評価が可能です

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【分析事例】テープストリッピング法トラネキサム酸の経皮吸収試験

皮膚への浸透性を定量的に評価

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【分析事例】LDI-MSによるフッ素系ポリマーの構造解析

フッ素系グリース、フッ素系潤滑剤、フッ素系オイル等の構造解析

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【分析事例】におい成分のGCMS分析法による解析

光学異性体やcis-trans異性体を分離して定性・定量する分析方法です

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【分析事例】FeCoNi合金の不純物分析

GDMSを用いて77元素を同時に分析することが可能です。

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【分析事例】ローズマリー由来の機能性関与成分の分析

ロスマリン酸、カルノソール、カルノシン酸の分析が可能です

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【分析事例】部材の有機汚染分析

TD-GC/MSにより部材に付着した微量の有機汚染を分析します。

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無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価

TOF-SIMS、D-SIMS：二次イオン質量分析法

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【分析事例】ペロブスカイト太陽電池のHTM層の分析

成分および深さ方向分布評価が可能

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【分析事例】ペロブスカイト太陽電池に用いる有機材料の定性分析

ホール輸送材料を中心とした有機材料をLC/MSで定性評価します。

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[MALDI-MS]マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析

質量分析法におけるイオン化法の1種であり、試料分子の開裂（フラグメンテーション）を抑制で きるソフトイオン化法です。

詳しくは、お問い合わせください。

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【分析事例】ゴム製品に含まれる添加剤の成分分析

ゴム製品中の加硫促進剤、老化防止剤、滑剤等を網羅的に定性評価します。

測定法：LC/MS 製品分野：製造装置・部品・高分子材料・日用品 分析目的：組成評価・同定・製品調査・劣化調査・信頼性評価

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TG-DTA-MS イオン化法の選択 EI法・PI法

TG-DTA-MS 熱重量示差熱質量分析法

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ガスクロマトグラフ-飛行時間型質量分析計

揮発性成分を分析対象とし て、固定相に対する気体の吸着性あるいは分配係数の差異等を利用して成分を分離する手法

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【分析事例】錠剤における薬効成分の分布評価

主成分や添加物の分布が可視化できます

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コロナ荷電化粒子検出器（CAD）の特徴と原理

カテキン類標準液の分析結果をCADとUV検出器で比較した例を紹介します。

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コロナ荷電化粒子検出器（CAD）による半定量分析

緑茶に含まれるカテキン類8成分を半定量した例を紹介します

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