試験・分析・測定

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

設立昭和５９年８月１日（１９８４年）
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
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【測定法】質量分析法 【測定法】質量分析法
【測定法】光電子分光法 【測定法】光電子分光法
【測定法】電子顕微鏡観察・分析 【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】振動分光 【測定法】振動分光
【測定法】X線回折関連 【測定法】X線回折関連
【測定法】SPM関連 【測定法】SPM関連
【測定法】故障解析 【測定法】故障解析
【測定法】そのほかの測定法 【測定法】そのほかの測定法
【加工法・処理法】 【加工法・処理法】
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【分析事例】医薬品 【分析事例】医薬品
【分析事例】医療機器 【分析事例】医療機器
【分析事例】日用品 【分析事例】日用品
【分析事例】環境 【分析事例】環境
【分析事例】その他 【分析事例】その他
MSTが出展した展示会の資料 MSTが出展した展示会の資料
【測定法】電子顕微鏡観察・分析

【測定法】電子顕微鏡観察・分析

◆AES（オージェ電子分光法） ◆SEM（走査電子顕微鏡法） ◆EBIC（電子線誘起電流法) ◆EBSD（電子後方散乱回折法） ◆EDX（エネルギー分散型X線分光法） ◆EPMA（電子線マイクロ分析法） ◆TEM（透過電子顕微鏡法） ◆EELS（電子エネルギー損失分光法) ◆SIM（走査イオン顕微鏡法)

［AES］オージェ電子分光法

電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます

詳しくは、お問い合わせください。

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［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

試料に電子を当て、試料表面から放出される二次電子・反射電子・試料を透過した透過電子（要薄片化）の像を得ることができます。 加速電圧や材料により入射電子の拡がり方が異なり、それに伴い、観察している深さ(電子が出てくる深さ)も変わります。したがって、目的によって最適な加速電圧を選定する必要があります。

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［EBIC］電子線誘起電流

試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手法

■概要 EBIC信号を測定することにより試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができます。結晶中に少数キャリアのライフタイムが短くなるような箇所に敏感で、転位や積層欠陥の位置も特定できます。 ■測定原理 試料に電子線を照射すると価電子帯の電子が励起され、電子・正孔対が生成します。通常、電子・正孔対は再結合して消滅しますが、試料の内部に 電界がある場合には電界で加速されてドリフト電流を生じます。

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[EBSD]電子後方散乱回折法

容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能

約60～70°傾斜した試料に電子線を照射すると、試料表面から約50nm以下の領域の各結晶面で回折電子線が作られます。この後方散乱電子回折を解析することで結晶性試料の方位解析の情報が得られます。

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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です

EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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［Slice&View］三次元SEM観察法

FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます

FIBで断面加工を行ってSEMで観察する工程を繰り返すことで連続SEM観察結果を取得します。 SEMデータをソフトウェア上で統合することで、三次元構築像を得ることが可能です。

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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法

ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得

電子が薄片試料を透過する際､そのまま直進して試料を透過する電子と､原子の種類や結晶性により散乱を起こす電子があります｡散乱した電子は、弾性散乱電子と非弾性散乱電子に大別され、それらの電子を目的に応じて選択して結像することで試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの知見を得ます｡

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［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析

EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。 EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。 １：ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子 ２：価電子励起領域30eV以下の低エネルギー側で、プラズモンやバンド間遷移 ３：内殻電子励起領域内殻準位からの遷移元素によって異なるため組成分析に用いる

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［ED］電子回折法

EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です

入射した電子が結晶の格子面に対してブラッグ条件を満たす角度となったとき、電子は弾性散乱されます。 散乱された電子は互いに干渉しあいますが、ブラッグ条件を満たした電子だけが特定の方向に回折波として強度を持ち、回折スポットを形成します。 透過光と複数の回折スポット間の位置関係を解析することで、試料の結晶構造に関する情報を得ることができます。

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［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

固体試料にイオンビームを照射すると二次電子が発生します。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じます。この像を走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope： SIM）像といいます。 電子線照射によってもこのようなコントラスト像が得られますが、イオンビームの方が顕著に現れます。 金属多結晶のSIM像を観察することで結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です。

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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析

液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。

詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】細菌の画像からの細胞周期評価

深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できます

詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

詳しくは、お問い合わせください。

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【分析事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価

製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です

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【分析事例】トレンチ型Si-MOSFETIDSSリーク箇所解析

デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供

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【分析事例】SiCトランジスタのSlice&view故障解析

SEM像の3D化でリークパスを確認

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【分析事例】SiCパワートランジスタリーク箇所の成分分析

Slice＆Viewで特定したゲート破壊箇所で拡大観察やEDX分析が可能

詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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[EPMA]電子プローブマイクロアナライザー

真空中で細く絞られた 電子線を固体試料表面に照射し発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得られます

詳しくは、お問い合わせください。

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吸収電流による抵抗異常箇所特定

吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。

詳しくは、お問い合わせください。

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Xe-プラズマFIBによる構造解析

数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能

詳しくは、お問い合わせください。

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【分析事例】リチウムイオン二次電池

サンプル冷却でセパレータ断面形状を正確に評価

測定法：SEM・EDX・IP・クライオ加工 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価・組成評価・同定・膜厚評価・劣化調査・信頼性評価・製品調査

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【分析事例】STEM、EBSD像シミュレーション多結晶体構造解析

像シミュレーションを併用した結晶形の評価

測定法：TEM・EBSD・計算科学・データ解析 製品分野：太陽電池・二次電池・酸化物半導体・パワーデバイス・光デバイス・LSI・メモリ 分析目的：構造評価

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【分析事例】全固体電池の分析

構造・組成・電気特性を組合せた総合的な分析評価

測定法：分析一覧表(構造・組成・電気) 製品分野：二次電池 分析目的：構造評価・組成評価・電気評価・研究開発

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【分析事例】二次電池セパレータの構造評価

有機/無機多層構造の形状評価、組成評価

測定法：TG-DTA・SEM・FT-IR・XPS・TOF-SIMS・XRD 製品分野：二次電池 分析目的：組成評価・同定、化学結合状態評価、組成分布評価、形状評価、構造評価、製品調査

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【分析事例】二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価

電極断面の抵抗値分布、導通パスの可視化およびイオン分布との比較

測定法： IP加工・SSRM・SEM・TOF-SIMS 製品分野：二次電池 分析目的：組成分布評価・形状評価・製品調査

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【分析事例】二次電池正極活物質の総合評価

開発課題の解決のために構造・組成・電気を組み合わせた評価を提案

測定法：SEM・SEM-EDX・EBSD・TEM・TOF-SIMS・ICP-MS・XRD・SSRM 製品分野：二次電池 分析目的：組成評価・同定・化学結合状態評価・組成分布評価・形状評価・構造評価・製品調査

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