試験・分析・測定

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

設立昭和５９年８月１日（１９８４年）
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
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【測定法】質量分析法 【測定法】質量分析法
【測定法】光電子分光法 【測定法】光電子分光法
【測定法】電子顕微鏡観察・分析 【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】振動分光 【測定法】振動分光
【測定法】X線回折関連 【測定法】X線回折関連
【測定法】SPM関連 【測定法】SPM関連
【測定法】故障解析 【測定法】故障解析
【測定法】そのほかの測定法 【測定法】そのほかの測定法
【加工法・処理法】 【加工法・処理法】
その他のサービス・サポート情報 その他のサービス・サポート情報
【分析事例】LSI・メモリ 【分析事例】LSI・メモリ
【分析事例】光デバイス 【分析事例】光デバイス
【分析事例】太陽電池 【分析事例】太陽電池
【分析事例】燃料電池 【分析事例】燃料電池
【分析事例】ディスプレイ 【分析事例】ディスプレイ
【分析事例】酸化物半導体 【分析事例】酸化物半導体
【分析事例】パワーデバイス 【分析事例】パワーデバイス
【分析事例】電子部品 【分析事例】電子部品
【分析事例】二次電池 【分析事例】二次電池
【分析事例】照明 【分析事例】照明
【分析事例】製造装置・部品 【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】バイオテクノロジ 【分析事例】バイオテクノロジ
【分析事例】化粧品 【分析事例】化粧品
【分析事例】食品 【分析事例】食品
【分析事例】医薬品 【分析事例】医薬品
【分析事例】医療機器 【分析事例】医療機器
【分析事例】日用品 【分析事例】日用品
【分析事例】環境 【分析事例】環境
【分析事例】その他 【分析事例】その他
MSTが出展した展示会の資料 MSTが出展した展示会の資料
【測定法】そのほかの測定法

【測定法】そのほかの測定法

◆白色干渉計測法 ◆EMS（エミッション顕微鏡法）

白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）3次元測定可能な手法です。

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［TG-DTA/TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法

サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成分の質量を測定

■TG:Thermogravimetry（熱重量測定） 加熱によって生じる重量の変化を天秤の傾きによって検知します。天秤は常に水平になるように補正されています。このようにして基準物質との重量差の変化を連続的に記録します。 重量の増減とDTAによる熱的変化から酸化還元、熱分解、吸脱着、蒸発、揮発などの状況を測定することができます。 ■DTA:Differential Thermal Analysis（示差熱分析） 基準物質とサンプルを同時に加熱し、両者の温度差を熱電対によって測定し、連続的に記録します。温度差の変化から、熱的変化の有無や反応の種類がわかります。

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［DSC］示差走査熱量測定

DSCは、加熱することによって生じる熱量変化からサンプルの物性などを評価することができます

熱流束型DSCは基準物質とサンプルを同時に加熱した時の温度差を連続的に記録します。ここから転移・反応の温度及び熱量、熱容量などの情報が得られます。この温度差が単位時間当たりの熱エネルギーの入力差に比例するように設計されている点がDTAと異なります。 電気炉（ヒーターブロック）の温度を一定の速度で上昇させていくと、基準試料、測定試料も同じ速度で上昇します。この時、測定試料に吸熱反応が起こったとすると、反応が起こっている間は測定試料の温度上昇が止まり、基準試料の間に温度差（ΔT）が発生します。この温度差は感熱板を通じて流れる熱流により緩和されますが、この間、試料に流入する単位時間当たりの熱量（熱流）は、試料と基準物質の温度差に比例します。したがって、温度差（ΔT）を時間について積分することにより、反応の熱量を求めることができます。 熱流束型の他に入力補償型もあります。

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［PL］フォトルミネッセンス法

PL：PhotoLuminescence

フォトルミネッセンス(PL)とは、物質に光を照射し、励起された電子が基底状態に戻る際に発生する光のことです。この発光は物質の不純物や欠陥に影響を受けやすいため、発光を分光し詳細に解析をすることによって、物質中の欠陥や不純物の情報を得ることが可能です。

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［RBS］ラザフォード後方散乱分析法

固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です

Heなどのイオンを加速して固体表面に照射すると、一部のイオンは試料中の原子によって弾性散乱されます。散乱イオンのエネルギーは衝突した原子の質量数と表面からの位置(深さ)に依存しますので、このエネルギーを分析することにより薄膜を構成する元素の同定と深さ方向の組成を調べることができます。定量に用いる散乱断面積や試料中のエネルギーロス(阻止能)などのデータの信頼性が高いため、標準試料を用いることなく深さ方向組成分析が可能です。

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［TOC］全有機体炭素測定

TOC計は、試料中の全炭素量 、全有機体炭素量、無機体炭素量（IC：を評価することができる装置です

■TC-IC法（液体試料） 試料中の全炭素（TC）と無機体炭素（IC）を個別に測定し、その差から全有機体炭素（TOC）を求めます。 ■NPOC法（液体試料） 試料にあらかじめ酸を加えて酸性（pH3以下）にし、通気処理を行うことで、ICを除去します。このICを除去した試料のTCを測定することにより、TOCを求めます。TOCが低い試料に適していますが、原理上の理由から揮発性有機化合物が多い場合は上記のTC-IC法をお勧めします。 ■TC-IC法（固体試料） 試料中の全炭素（TC）と無機体炭素（IC）を個別に測定し、その差から全有機体炭素（TOC）を求めます。

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【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

TOF-SIMSによる高分子・樹脂･フィルムの表面改質層の最表面の評価が可能

詳しいデータはカタログをご覧ください

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【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価

Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

詳しいデータはカタログをご覧ください

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［UV-Vis］紫外可視分光法

UV-Visは波長ごとに分けた光を測定試料に照射し、試料を透過した光の強度を測定することで、試料の吸光度や透過率を求める手法です

分光測定は試料に照射した光に対して、どれだけの光が出てきたか（試料がどれだけの光を吸収したか）を評価する方法です。 この時の入射光の強度I0 と透過光の強度I には、一般にLambert-Beerの法則と呼ばれる関係が成り立ちます。

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絶対PL量子収率測定

絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

物質に光（紫外・可視光）を照射すると、物質はそのエネルギーを吸収し発光することがあります（フォトルミネッセンス（PL)）。 光の吸収により、安定なエネルギー状態（基底状態）にあった分子内の電子は、一時的に高いエネルギー状態へと励起されます。様々な過程を経て一重項励起状態に存在する電子が安定な基底状態に戻るとき、差分のエネルギーを光として放出し、これを蛍光と呼びます。さらに三重項励起状態に遷移した電子が基底状態に戻る際に放出される光をりん光と呼びます。 この発光は物質固有の重要な物性の一つです。発光量子収率とは、吸収された光（エネルギー）に対し、どのくらいの効率で発光が得られるかを示す値です。サンプルに吸収された光子数と発光の光子数を測定することで、発光量子収率を算出します。

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［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です

XRFはX線照射により発生する蛍光X線をエネルギーや分光結晶で分光し検出します。蛍光X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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カールフィッシャー滴定法

カールフィッシャー滴定法は化学反応を利用して試料中の水分を定量する手法です。

カールフィッシャー滴定法には、“電量滴定法”と“容量滴定法”の二つの滴定方法があり、ここでは電量滴定法を紹介します。電量滴定法は、微量な水分を測定するのに有効な手法です。

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【分析事例】C0677

NMR測定と計算の組み合わせにより分子構造の詳細な解析が可能です

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【分析事例】リチウムイオン電池の高分解能X線CT観察

非破壊で電池内部の層構造・異常箇所を確認できます

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【分析事例】Oリングの使用履歴による形状評価

X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能

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[Nano-simulation]ナノシミュレーション

ナノシミュレーションは物理・化学法則に基づいて原子・分子を取り扱う計算科学手法であり、多様な 現象を理解するために活用できます。

詳しく、お問い合わせください。

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【分析事例】毛髪の三次元構造解析

X線CTと画像解析技術により、毛髪の定量評価が可能です

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【分析事例】STD-NMRによる生体分子間相互作用の解析

低分子-タンパク質間相互作用の有無・強弱を分析

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蛍光寿命測定

物質の蛍光寿命を測定することにより発光過渡現象をよりダイナミックに把握できます

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超低温プローブによる高感度NMR分析

微量成分のNMR分析が可能です

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【分析事例】量子化学計算色素分子UV-Visシミュレーション

UV-Visスペクトルシミュレーションにより分子の電子的性質が調べられます

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【分析事例】積層セラミックコンデンサ(MLCC)加熱SSRM評価

誘電体内の伝導パス(絶縁劣化箇所)の可視化

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全光線透過率測定、全光線反射率測定

積分球を用いることで表面凹凸や厚みがあるサンプルも測定可能です

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【分析事例】NMRを用いた製品中のNMN含有量分析

NMN(β-ニコチンアミドモノヌクレオチド）の絶対定量が可能です

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X線CTによるスティッチング撮影－広視野観察と高分解能観察の両立

複数のCT像を縦に連結して撮影することができます

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[マスアレイ法]質量分析を利用した遺伝子解析法

遺伝子解析とは、DNAの塩基配列を読み取り、遺伝子の変異や働きを調べる方法です。

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【分析事例】発光寿命測定によるキャリアライフタイム評価

発光寿命からSiCのキャリアライフタイムについて知見が得られます

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【分析事例】NMRを用いた化合物の経時変化評価

熱分解・熱劣化等による経時変化の分析評価が可能です。

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質量分析を利用した複数のSNP解析

マスアレイ法により、複数のSNP（一塩基多型）を同時に解析できます

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【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

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【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価

NMRを用いてフッ化物イオンの定量分析が可能です。

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【分析事例】量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価

電池などに用いられる有機化合物の酸化還元特性・電子状態を予測・評価

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NMRと分子動力学計算の低分子化合物-タンパク質間相互作用の解析

NMRとMD計算で低分子化合物とタンパク質の相互作用を評価できます。

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【分析事例】酢酸セルロースのアセチル基置換度分析

NMRを用いることでセルロース誘導体の化学構造評価が可能です。

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【分析事例】リアルタイムPCR法によるSNP解析

リアルタイムPCR法（プローブ法）により、SNPの解析が可能です

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SNP解析の概要と特徴

リアルタイムPCR法とマスアレイ法の違いについて

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ECLIA法による免疫関連項目の測定

甲状腺関連項目、腫瘍マーカー、感染症などの測定が可能です

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【分析事例】SiCトランジスタのSlice&view故障解析

SEM像の3D化でリークパスを確認

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【分析事例】SiCパワートランジスタリーク箇所の成分分析

Slice＆Viewで特定したゲート破壊箇所で拡大観察やEDX分析が可能

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[NMR]核磁気共鳴分析

Nuclear Magnetic Resonance

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蛍光光度法

物質に光を照射し、励起された電子が基底状態に戻る際に発生する光を観測する手法です。

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[TG-DTA、-MS]熱重量示差熱分析、示差熱天秤‐質量分析法

TG-DTAは、加熱によって生じる重量変化（TG）、吸熱・発熱の熱挙動（DTA）を同時に評価します。

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分子動力学計算からわかること

分子動力学計算からわかることとして、解析対象、得られる物性情報および解析事例を紹介します

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Xe-プラズマFIBによる構造解析

数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能

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第一原理計算から分かること

解析対象、得られる物性情報及び解析事例を紹介します。

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