試験・分析・測定

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

設立昭和５９年８月１日（１９８４年）
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
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【加工法・処理法】 【加工法・処理法】
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【分析事例】その他 【分析事例】その他
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【加工法・処理法】

【加工法・処理法】

【加工法・処理法】 ◆FIB法（集束イオンビーム) ◆SSDP用加工（基板側からの測定用加工） ◆IP法（Arイオン研磨加工） ◆雰囲気制御下での処理 ◆クライオ加工

［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

カードエッジコネクタについてIP加工後、反射電子像観察を行いました。 IP法と機械研磨法で作製した断面の反射電子像観察を行いました。 IP法ではCu結晶粒が明瞭に観察され、研磨キズもありません。

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Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です

1．貼り合わせ サンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。 2．切断 数mmの厚みで切り出します。 3．研磨 機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。 4．Arイオンミリング 低加速Arイオンを照射し、薄片化を行います。

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ウルトラミクロトーム加工

ダイヤモンドナイフを用いてバルク試料を切削し、厚さ100nm以下の透過電子顕微鏡用の超薄切片を作製する加工法です

1．切り出し 2．樹脂包埋 3．粗トリミング 4．トリミング 5．精密トリミング 6．超薄切片作製 7．回収 8．TEM観察へ

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大気非暴露下での処理

サンプル本来の状態を評価することが可能

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［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走査させることにより特定領域を削ったり成膜することが可能です

■微細イオンビームによる試料加工 Gaイオンを試料表面に照射すると、Gaと共に試料表面を構成している原子や分子が真空中にはじき出されます。このスパッタリング現象を応用したエッチングにより、サブミクロンの精度で平滑な断面を作製したり、穴を開けたりすることができます。 ■原料ガス供給による立体構造形成 原料ガスを試料表面に吹き付けて吸着させ、集束イオンビームを目的の領域に照射すると、照射された部分だけが化学変化を起こし、この領域にデポジション薄膜が形成されます。 ■二次電子検出器による観察 サブミクロンオーダーに絞られた集束イオンビームで試料表面を走査し、このとき表面から放出される二次電子を検出してディスプレイ上に画像としてとらえます。これを走査イオン顕微鏡像（SIM像）といいます。

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クライオ加工

やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に

室温では柔らかくて切削できない有機・高分子材料サンプルやゲル状の材料も冷却して硬化させることで加工が可能となります。クライオ加工により、室温では困難なTg（ガラス転移温度）が低い材料等の超薄切片作製や断面出しを行うことができます。 液体窒素を常に供給することで、試料を液体窒素温度までの任意の温度に冷却したまま保持します。 冷却硬化したサンプルを鋭利なダイヤモンドナイフもしくはArイオンやGaイオンビームで切削することで、 試料切片作製や断面加工を行います。

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【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

TOF-SIMSによる高分子・樹脂･フィルムの表面改質層の最表面の評価が可能

詳しいデータはカタログをご覧ください

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SSDP-SIM

SSDP： Substrate Side Depth Profile

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イオンポリッシュ法を用いた断面加工

試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象 を利用して、試料表面を削り取る方法

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電子染色

高分子鎖に重元素を結合させることで、高分子由 来の構造や形態のコントラストを高め、電子顕微鏡でより明瞭に観察することができます

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レーザー加工

ミクロンレベルの加工位置精度を持つウルトラショートパルスレーザーを使用して、低ダメージで速やかに試料を作製することができます。

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Xe-プラズマFIBによる構造解析

数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能

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【分析事例】二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価

電極断面の抵抗値分布、導通パスの可視化およびイオン分布との比較

測定法： IP加工・SSRM・SEM・TOF-SIMS 製品分野：二次電池 分析目的：組成分布評価・形状評価・製品調査

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【分析事例】斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC

斜め加工を用いたセラミックス層の不純物分布評価

測定法：IP・TOF-SIMS 製品分野：電子部品 分析目的：不純物評価・分布評価

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