CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

• その他理化学機器
• CVD装置

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登場！

• CVD装置
• 化学薬品
• 分光分析装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しました

• CVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができます

• CVD装置

サンプルMAXサイズ10mm口！耐熱、断熱セラミック研究用途でご利用いただけます

• CVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換

• CVD装置

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

高品質、低価格

• CVD装置
• イオン注入装置
• その他半導体製造装置

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層を交互に積層します。

• CVD装置

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用プラズマCVD装置

• CVD装置

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

仕上り加工外径はφ12.7 摩擦圧接と電子ビーム溶接の複合加工です。 異種金属の接合が可能

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• 管継手

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただきます。　

• CVD装置
• イオン注入装置
• 電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

• その他電源
• その他プロセス制御
• CVD装置

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SUS304 使用環境:真空　

• CVD装置

グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがあります。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類3　FEP (4フッ化エチレン6フッ化プロピレン共重合体)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティングは、何度でも再コーティングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例1　食品製造製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング以外で、すべての用途を満たすことができるでしょうか？

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、8A～25A等の細い配管内面に、フッ素樹脂コーティング及びフッ素樹脂ライニングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは解決できます！

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

ポリウレタンコーティングの施工基準

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂ライニングとは・・・・厚い膜。塗膜を重ねるなど。弊社では、400μ以上を、フッ素樹脂ライニングとしております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニルエーテル)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

• ウエハー
• CVD装置
• 多関節ロボット

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイチャック。

• その他半導体製造装置
• その他搬送機械
• CVD装置

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

• その他半導体
• CVD装置
• 液晶ディスプレイ

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

• CVD装置
• その他機械要素
• レーザーマーカー

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非接触にて所定の位置に搬送します。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• 加熱装置

パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。

• CVD装置

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。

• CVD装置
• エッチング装置
• 液晶ディスプレイ

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

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スリットバルブシール

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