CVD装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

• その他理化学機器
• CVD装置

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登場！

• CVD装置
• 化学薬品
• 分光分析装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しました

• CVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができます

• CVD装置

サンプルMAXサイズ10mm口！耐熱、断熱セラミック研究用途でご利用いただけます

• CVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機構で交換

• CVD装置

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

高品質、低価格

• CVD装置
• イオン注入装置
• その他半導体製造装置

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用可能です。

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• CVD装置

ポリパラキシレン（パリレン）とALD(原子層堆積法）による無機酸化物層を交互に積層します。

• CVD装置

コンパクトで省電力！デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用プラズマCVD装置

• CVD装置

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

仕上り加工外径はφ12.7 摩擦圧接と電子ビーム溶接の複合加工です。 異種金属の接合が可能

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• 管継手

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただきます。　

• CVD装置
• イオン注入装置
• 電源

熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。

• その他電源
• その他プロセス制御
• CVD装置

安定したパルス放電を実現

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 電源

1000mm*1000mm*1000hの真空チャンハ゛ーです。材質SUS304 使用環境:真空　

• CVD装置

グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがあります。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類3　FEP (4フッ化エチレン6フッ化プロピレン共重合体)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティングは、何度でも再コーティングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例1　食品製造製品

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂コーティング以外で、すべての用途を満たすことができるでしょうか？

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、8A～25A等の細い配管内面に、フッ素樹脂コーティング及びフッ素樹脂ライニングが可能です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

パイプが細い分、短時間で接着剤が詰まったり、短時間で腐食したりするのは解決できます！

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

ポリウレタンコーティングの施工基準

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂ライニングとは・・・・厚い膜。塗膜を重ねるなど。弊社では、400μ以上を、フッ素樹脂ライニングとしております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

フッ素樹脂の種類2　PFA (4フッ化エチレンパーフロロプロピルビニルエーテル)

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

大東化成では、フッ素樹脂コーティング、フッ素樹脂ライニングを主軸に、さまざまな表面処理加工を専門に行っております。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、低摩擦性、耐薬品性、絶縁性等、優れた特性を持っています。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

• ウエハー
• CVD装置
• 多関節ロボット

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイチャック。

• その他半導体製造装置
• その他搬送機械
• CVD装置

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

• その他半導体
• CVD装置
• 液晶ディスプレイ

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

• CVD装置
• その他機械要素
• レーザーマーカー

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非接触にて所定の位置に搬送します。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• 加熱装置

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。現地での排気ガス成分分析による処理剤設計もします。

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• ガス回収/処理装置

パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。

• CVD装置

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。

• CVD装置
• エッチング装置
• 液晶ディスプレイ

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

スリットバルブシール

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

固着対策シール

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 空圧機器

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• エッチング装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• 真空機器

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• シール・密封

商社が扱う幅広い分野での省エネ環境・安全システム エンジニアリング！

• CVD装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

• その他ヒータ
• CVD装置
• アニール炉

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

• 鉄鋼
• CVD装置