その他半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

アルミの溝部分の鏡面切削加工　硬質アルマイト処理　産業用ロボットのアルミ精密部品

• その他半導体製造装置

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

• オゾン発生装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

【微細穴加工　細穴加工　微小径穴加工　アルミの超微細加工品】

• その他半導体製造装置

【微細溝切削加工　材質A5052（a5052）　産業用ロボット製造装置関連のアルミ精密部品】

• その他半導体製造装置

調達物流・販売物流・静脈物流と、幅広く物流センターを運営しています。本ページでは運営事例をご紹介いたします。

• その他工作機械
• その他半導体製造装置
• その他搬送機械

半導体のウェハー検査工程に！プローブカード用クリーニングシート

• その他半導体製造装置

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能！納期・品質保証に関しては柔軟性のある対応をいたします

• その他受託サービス
• その他の各種サービス
• その他半導体製造装置

エミュレーションと外部デバイスとの接続について分かりやすく掲載しています！※無料進呈中

• その他半導体
• その他半導体製造装置

【曲げ】L字のシンプルなブラケット【t3.0】

• その他半導体製造装置
• その他工作機械
• その他加工機械

【YAG溶接】高品質、量産向きの外装カバー【t1.0】

• その他半導体製造装置
• その他工作機械
• その他加工機械

【半自動溶接】設計提案により板金曲げ構造に変更【t3.2】

• その他半導体製造装置
• その他工作機械
• その他加工機械

『鏡面切削加工　ラッピングしないで鏡面加工　微細加工　特殊形状　アーチ型　産業用ロボットのアルミ精密部品』

• その他半導体製造装置

プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的表面処理装置。

• その他半導体製造装置

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装置をご紹介

• その他半導体製造装置
• 真空機器
• その他実装機械

材質A7075（a7075）　超微細加工技術　微細溝切削加工　　産業用ロボットのアルミ精密部品

• その他半導体製造装置

単品アルミ加工・試作・A5052【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

【TIG溶接】青の塗装が美しい、組立製品の一部【t1.6】

• その他半導体製造装置
• その他機械要素
• その他工作機械

【極微小径穴加工技術　微細穴加工技術　細穴加工技術　深穴加工技術　レーザーマーキング】

• その他半導体製造装置

QCDすべてをクリア！医療機器さらには半導体装置、測定機器にも応用可能です

• その他機械要素
• その他半導体製造装置
• その他計測・記録・測定器

【　寸法公差±0.05　小径穴加工　材質A5052（a5052）　半導体製造装置関連のアルミ精密部品　】

• その他半導体製造装置

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発生・混入を防止！

• その他半導体製造装置
• その他検査機器・装置
• アルミニウム

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレスアルマイト

• その他半導体製造装置
• その他検査機器・装置
• アルミニウム

『アルミ観覧車　一刀彫アルミ観覧車　創作加工技術　』

• その他半導体製造装置

PinとAirを利用してMylar filmを除去！製品別に別途の厚さ調整が必要ありません

• その他半導体製造装置

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリーン環境で使われる為に髪の毛１本のキズも許されません。

• その他機械要素
• 搬送・ハンドリングロボット
• その他半導体製造装置

多品種少量の精密機械加工、治工具の設計、製作がメイン

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

製品精度を上げるため、台湾/日本/ドイツ製設備を保有

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

アルミ鋳物電熱板に使用する過熱管　UL/VDE/CCCなど企画品対応可能

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

多品種少量生産、高密度の機械加工部品の製作可能

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

大手日系企業のOEMメーカーとして、機械加工、樹脂成形、板金プレス加工などを社内で対応。

• その他機械要素
• その他半導体製造装置
• 滅菌器

単品からロールtoロールでの加工も対応

• その他機械要素
• 滅菌器
• その他半導体製造装置

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇ります！

• その他半導体製造装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

【鏡面切削加工　ラッピングしないで鏡面加工　超精密鏡面加工　鏡面仕上げ】

• その他半導体製造装置

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの登場！

• その他半導体製造装置

【アルミの微小径穴加工　φ0.3mm　公差+0.01～+0.02　アルミの精密プレート】

• その他半導体製造装置

トライ＆エラーが必要不可欠な研究・試作用途に好適なマスクレス露光装置

• その他半導体製造装置

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を取り付ける際の軸差および角度調整に！

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

『超微細加工技術の開発　森精機切削加工ドリームコンテスト　第6回　微細加工部門金賞受賞作品　マイクロ立体回転式フィルター』

• その他半導体製造装置

『アルミの微細加工　細溝加工　微細溝切削加工　半導体製造装置のアルミ精密部品』

• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

シリンジのままでも、カップ式でも撹拌・脱泡はおまかせください！

• ミキサー・攪拌器
• その他半導体製造装置

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

• 分注器
• その他半導体製造装置

LED材料や医療材料、太陽電池、接着剤等、あらゆる材料の攪拌・脱泡に！シリンジ・カップ式共に対応可！

• ミキサー・攪拌器
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省エネ・短タクトプロセスを実現 リフロー動画掲載

• その他半導体製造装置

『ＮＳ特殊処理　 微細溝切削加工品　三角形ピラミッドの密集　半導体製造装置の金型』

• その他半導体製造装置

二枚のガラスウェアを高精度に貼り付けします！

• その他半導体製造装置

極微小径穴加工技術

• その他半導体製造装置

【鏡面切削加工　みせるばやお　置き看板　鏡面】

• その他半導体製造装置

ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。

• その他半導体製造装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！

• その他実装機械
• その他半導体製造装置
• 印刷機械

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置