【このようなニーズに対応できます】 ・周辺部との干渉を避けるためにステージ本体サイズを変えたい ・重さのあるものの微細調整を行いたい ・真空や非磁性などの特殊環境で使用したい ・軽量で速い応答性を重視した製品が必要 ・パネルやウェハ用に大きな開口を備えたステージが必要 など 要求仕様や目的に最適化させた精密・超精密位置決め機器を1台からカスタム設計製作できます。 国内メーカーとして細かな要望にも迅速にお応えいたします。 フォトニクスの研究開発からFPD/半導体製造検査装置や科学分析機器などにおいて、 検査・測定性能や生産性の向上に重要な役割を果たす“精密～超精密位置決め”の課題が ございましたら、ぜひお問い合わせください。

• その他

【使用事例】 ◎粘弾性測定における力モニタ　◎繊維素材の引っ張り力の測定 ◎微小摩擦力の測定　◎電極プローブの接触検知　◎細胞への穿刺力測定 ◎荷重制御用センサ　◎薄膜等の剥離試験　◎スクラッチ試験 など 【標準ラインアップ】 超高感度「0.1Nタイプ」 分解能：20μN 高感度「1Nタイプ」 分解能：0.1mN 中感度「5Nタイプ」 分解能：0.5mN 超高感度「アーム型 0.1Nタイプ」 分解能：50μN 【関連製品】 専用センサアンプ「FSA201C（静電容量式用）/FSA201S（歪みゲージ式用）」 出力電圧：0～+10V ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• センサ

【製品応用例】 ・高速フォーカス ・画像処理機器 ・共焦点顕微鏡 ・レーザ加工 ・半導体、FPD装置 ・干渉計形状測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【製品応用例】 ・光軸調整 ・キャビティ調整 ・レーザ光走査 ・レーザ加工 ・チルト調整 ・光バイオ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【製品応用例】 ・レーザ光軸調整 ・精密平行面合わせ ・光学デバイス微小角調整 ・チルト調整 ・キャビティ長調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【製品応用例】 ・走査型プローブ顕微鏡 ・顕微鏡試料テーブル ・分光分析機器 ・半導体、FPD関連装置 ・露光装置 ・マッピング測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【製品応用例】 ・半導体、FPD検査装置 ・HDDテスタ ・レーザ光学系アライメント ・干渉系機器 ・分析機器 ・ナノメータポジショニング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

【掲載製品】 ○ベーシックタイプ PS →豊富なラインナップで幅広い用途に最適 ○開口付きタイプ PK →顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適 ○対物レンズタイプ PF →対物レンズの焦点合わせに最適 ○チルト・回転タイプ PT →アライメントや面合わせに最適 ○精密加工タイプ PU →超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適 ○コントローラ NC →変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動 ○ドライバ PH →電圧を印加してオープンループ制御で駆動 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【X軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS1H25-006U ○PS1H35-006U ○PS1H45-012U ○PS1H60-020U ○PS1H80-030U ○PS1H80F-030U ○PS1H40F-020U ○PS1H60F-060U ○PS1L40-050U ○PS1L40-100U ○PS1L60-250U ○PS1L60-500U ○PS1L80-700U ○PS1L60F-100U ○PS1L80F-300U ○PS1L100-100U ○PS1L100-300U ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他機械要素

【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【XY軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS2H100-030U ○PS2H130-030U ○PS2H150-050U ○PS2L50-050U ○PS2L50-100U ○PS2L60-250U ○PS2L70-500U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【Z軸ステージ製品ラインアップ】 ○PSVH35-006U ○PSVH45-012U ○PSVH60F-012U ○PSVH60-020U ○PSVH80F-030U ○PSVL45F-100U ○PSVL60F-100U ○PSVL60F-150U ○PSVL80F-300U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【XYZ軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS3H70-020UA ○PS3H150-050UA ○PS3L100-080UA ○PS3L60-080U ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他機械要素

【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【X軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK1L60-030U →ストローク：30nm →分解能：1nm →繰返し精度：±1nm →共振周波数：1700Hz →本体サイズ：70×60×16nm ○PK1L45-100U →ストローク：100nm →分解能：2nm →繰返し精度：±52nm →共振周波数：230Hz →本体サイズ：45×45×20nm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【XY軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK2L130-100U ○PK2L150-100U ○PK2L150-200U ○PK2L150-300U ○PK2L280-200U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【XYZ軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK3L150-100UA ○PK3L150-100UA ○PK3L150-200UA ○PK3L150-300UA ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○様々な角度調整が可能 ○高速・高精度スキャニング動作 ○コンパクトで装置組込が容易 【仕様】※傾斜の向きが異なる２種類がございます ○PT1T60-500S →ストローク：500nm →分解能：0.01nm →繰り返し精度：±0.01nm →共振周波数：1700Hz →本体サイズ：60×60×30mm ○PT1T38-1000S →ストローク：1000nm →分解能：0.02nm →繰り返し精度：±0.02nm →共振周波数：1090Hz →本体サイズ：85×38×32mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○様々な角度調整が可能 ○高速・高精度スキャニング動作 ○コンパクトで装置組込が容易 【仕様】 ○PT1M36-500S →ストローク：500nm →分解能：0.01nm →繰り返し精度：±0.01nm →共振周波数：6900Hz →本体サイズ：42×36×29mm ○PT2M40-400S →ストローク：400/400nm →分解能：0.01/0.01nm →繰り返し精度：±0.01/±0.01nm →共振周波数：500Hz →本体サイズ：45×40×40mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○様々な角度調整が可能 ○高速・高精度スキャニング動作 ○コンパクトで装置組込が容易 【仕様】 ○PT1C60-1000S →ストローク：1000nm →分解能：0.02nm →繰り返し精度：±0.02nm →共振周波数：470Hz →本体サイズ：60×60×20mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプ ○厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富な横型 ○各メーカの対物レンズが取付可能 ○高速、高精度フォーカス 【横型製品ラインアップ】 ○PFHC**-015U ○PFHW**-015U ○PFHC**-100U ○PFHW**-100U ○PFHW**-200U ○PFHW**-300U ○PFHW**-400U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプ ○レンズの高速応答性を重視した高剛性仕様の縦型 ○各メーカの対物レンズが取付可能 ○高速、高精度フォーカス 【縦型製品ラインアップ】 ○PFVC**-100U →ストローク：100nm →分解能：2nm →繰り返し精度：±2nm →共振周波数：1000Hz →本体サイズ：65×40×50.5nm ○PFVW**-100U →ストローク：100nm →分解能：2nm →繰り返し精度：±2nm →共振周波数：750Hz →本体サイズ：71×49×50.5nm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○XY軸高速駆動　PU2H60F-012U →ストローク：12/12nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：3100Hz →本体サイズ：60×60×40mm ○XY軸精密位置決め　PU2L90F-030U →ストローク：30/30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：890Hz →本体サイズ：90×90×37mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○PU1H80F-030U →ストローク：30nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：2200Hz →本体サイズ：90×80×35mm ○PU1H150F-060U →ストローク：60nm →分解能：2nm →繰り返し精度：±2nm →共振周波数：650Hz →本体サイズ：150×150×40mm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

【特長】 ○最大100mmのロングレンジ走査 →圧電素子を用いた小型高精度のSPPAアクチュエータを駆動源として搭載し、15mm、35mmのストロークを標準で揃えています。最大100mmまで対応します。 →通常の観察やマッピング測定においては十分な移動速度10mm/secを確保し、ガイド機構に沿って広範囲な領域をスキャンすることができます。 ○20nmステップの高分解能 →リニアスケールを内蔵しクローズドループ制御によって、走査範囲全域において20nmの高分解能で再現性良く位置決めが可能です。 →顕微鏡やCCDカメラなどによる観察を目的とした試料走査にはセンサ無しのオープンループとして動作させることもできます。 ○RS232Cで制御が簡単 →制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。 →移動コマンドで指定移動量を送るだけで目的の場所へ高精度に位置決めを実行します。 →ステータスやアラームを読み取ることでステージの状態をモニタすることができます。 ●その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• アクチュエーター

【ラインナップ】 ■微小力タイプ →μN～ｍNレベルの微小力の検知、測定が可能 →軽量、コンパクトで実験機器や装置組込に好適 ○FS1M-0.1N（測定レンジ：0～100mN、分解能：20μN） ○FS1M-5N　（測定レンジ：0～５N、分解能：0.5ｍN） ■高剛性タイプ →100Nの荷重が測定できる高剛性仕様 →精密加工や精密プレス時の力測定などに好適 ○FS1H-100N（測定レンジ：0～100N、分解能20ｍN） ■センサアンプ →微小力センサと高荷重センサ共通の低ノイズアンプです。 →各センサと直接接続し、信号を増幅して電圧出力します。 →最大2軸まで接続可能です。 ○FSA201C（1軸タイプ） ○FSA202C（2軸タイプ） その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器
• センサ

※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他FA機器

【掲載製品】 ○ベーシックタイプ PS →豊富なラインナップで幅広い用途に最適 ○開口付きタイプ PK →顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適 ○対物レンズタイプ PF →対物レンズの焦点合わせに最適 ○チルト・回転タイプ PT →アライメントや面合わせに最適 ○精密加工タイプ PU →超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適 ○コントローラ NC →変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動 ○ドライバ PH →電圧を印加してオープンループ制御で駆動

• その他FA機器

【ご紹介製品】 ［顕微鏡用ナノサーボステージ］ ○弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ ○XY(Z)軸一体型ステージ ○対物レンズ用フォーカスポジショナ ［顕微鏡用ナノステップスライダ］ ○SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ ［精密金型加工用ステージ・センサ］ ○超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール ○超精密加工機用ステージ ○バイト芯高調整ステージ ○精密”力”センサ ［微小荷重用フォースセンサ］ ○好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ ○微小力センサ ○積層圧電アクチュエータ ○ピエゾドライバ ○超精密静電容量式変異センサ ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他FA機器

【ラインナップ】 ［インパクトヘッド］ ○小型タイプ　SA102 →芯打ちアクチュエータの小型タイプ ○中型タイプ　SA103 →インパクト力が小型よりも大きい芯打ちアクチュエータ ○ペンシル型アクチュエータ　SA202 →小型アクチュエータSA102を使いペンシル型にしたタイプ →手に持って任意の箇所に押し当てて使用可能 →手元ボタンでON／OFFができる ○高出力ハンディ型アクチュエータ（カスタム） →重量物の微小位置合わせを実現する高出力のアクチュエータ ［インパクトドライバ・コントローラ］ ○単軸タイプ　SD301 →芯打ちアクチュエータを1本接続できる単軸用のドライバコントローラ →フロントパネル操作でインパクト強度と繰り返し周波数を可変できる →I/Oにより外部制御も可能 ○多軸タイプ　SD101＋SC201 →最大で12本の芯打ちアクチュエータを接続し駆動できる 　ドライバと制御コントローラ →手動駆動の他、RS232Cインターフェースを備えており、 　PCなどによる外部制御駆動が可能

• アクチュエーター