製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、 規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。 【ラインアップ】 ＜超精密ピエゾステージ＞ ■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能 ■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富 ＜精密ピエゾモータステージ＞ ■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現 ■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他

「もっと検出精度の高い荷重センサが欲しい」 「ミリグラム(mg)レベルの、小さな力を測りたい」 など、より高機能の荷重センサを使いたいと感じたことはありませんか。 当社の高感度荷重センサ『フォースセンサシリーズ』は、 μN(mgf)レベルの微小な力を高感度で検知可能！ センサアンプとお手持ちの電圧測定機器を接続するだけで 簡単に押圧力や引っ張り力を求められます。 小型・軽量で、装置への組み込みも容易。 研究開発や製造管理などに活用いただけます。 測定レンジや感度により4種類を標準ラインアップしています。 【特長】 ■形状や感度変更などのカスタムOK ■検知方向によって「押圧用」「引っ張り用」「押し引き両用」を選択可能 ■針先の接触反力も計測可能なアーム型もご用意 ※＜PDFダウンロード＞より微小力センサとロードセルの比較表をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• センサ

■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素

最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• その他FA機器

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。 ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からでもカスタム対応しており、カタログ標準品以外にも真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 ■使いやすいインターフェース 制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。 特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。 高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。 また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

ピエゾステージ　PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプ　回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。 顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

ピエゾステージ　PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に 用いて精密金型加工が実現できます。 他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性を確保するため、本体材質に鋼材を採用。 ビビリ振動などで加工精度を損なうことのない堅牢構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。 ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他機械要素

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

• アクチュエーター

「フォースセンサ」は、μN レベルの微小力や、100Nクラスの高い押圧力を検出・測定できるセンサです。「微小力タイプ」と「高剛性タイプ」をラインナップしています。静電容量センサを利用したフォースセンサです。使用環境や要求仕様に合わせたカスタムにも対応します。 「微小力タイプ」応用例 ■プローブの接触検知　■微小摩擦力、推力モニタ ■微小部品の接触管理　■微小試験片の引っ張り、圧縮力 「高剛性タイプ」応用例 ■精密加工時の切削、研削力測定　■バイト刃先とワークの接触検知 ■押圧、引っ張り計測　■強度試験 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

• その他計測・記録・測定器
• センサ

圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造 ■高分解能や高速応答 ⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他FA機器

最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ　総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。

• その他FA機器

顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。 弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノサーボステージ」 SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ「顕微鏡用ナノステップスライダ」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール「精密金型加工用ステージ・センサ」 好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ「微小荷重用フォースセンサ」 など、多数ご紹介しております。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他FA機器

「芯打ちアクチュエータ　インパクトアシスト」は、圧電アクチュエータを急峻に伸長させたときの慣性力を利用して、 対象物に打撃力を与えて移動させる電子金鎚（ハンマー）です。 圧電アクチュエータに急峻な電圧を印加することにより芯打ちアクチュエータにインパクト力が発生します。 インパクト力は圧電アクチュエータに印加する電圧の波形、圧電アクチュエータサイズ、錘りの重量によって変化します。 【用途】 ■仮締め状態の部品の位置決め ■精密圧入 ■ディスクや回転部品のセンタリング ■レンズの芯出し ■加振源 ■レーザオプティクスの光軸調整 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

• アクチュエーター