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「塩素炉」は、サーモニック独自の技術により、Cl2、HClガスなどの ハロゲンガス対応する装置です。(CE、SEMI、UL規格認証) 棚板ヒーター採用により均一加熱が可能で、サンプル内部までCl2ガスが 拡散し高効率の反応ができます。 また、発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能です。 【特長】 ■独自の技術により、Cl2、HClガスなどのハロゲンガス対応 ■棚板ヒーター採用により均一加熱が可能 ■サンプル内部までCl2ガスが拡散し高効率の反応が可能 ■発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能 ■Cl2やHClガスの漏洩リスクを低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「管状炉」は、円筒状の加熱部(セラミックス反応管)にサンプルを配置し、 様々な雰囲気ガスを流しながら加熱処理を行うコンパクトな炉です。 小型・低コストでありながら、流量・圧力・温度の測定が可能なため、 反応条件の評価や試作研究に適しています。 当社の管状炉はコンパクトかつ高い計測機能を備えており、 ガス流通下での材料反応評価に特化しています。 【特長】 ■各種ガスを流しながら加熱でき、雰囲気条件の自由度が高い 小型・安価で研究開発や試作用途に適する ■熱電対を差し込み、サンプルの実温度を直接測定可能 ■反応管はアルミナ製で、耐食性・耐熱性に優れる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「マルチ雰囲気炉」は、真空や不活性雰囲気に加え、NH3・H2・O2など 多様な雰囲気ガスを流通させながら加熱できる汎用型炉です。 さらにガスを加湿して湿潤雰囲気での焼成も可能なため、 幅広い反応条件に対応。 材料の還元、酸化、窒化、加湿処理など、複雑な雰囲気制御が 求められる研究・製造現場で威力を発揮します。 【特長】 ■真空、不活性雰囲気(N2、Ar)、酸化雰囲気(O2)、還元雰囲気(H2、NH3)まで対応 ■加湿装置(wetter)による特殊熱処理が可能 ■最高温度1700℃まで対応し、昇温速度は10℃/min ■アルミナシースヒーター+アルミナ断熱材により、耐食性と安定加熱を両立 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「カーボン炉」は、炉内部のヒーター・断熱材・炉壁すべてをグラファイト (炭素)で構成した、超高温対応型加熱炉です。 通常の電気炉では到達困難な3000℃級の高温域での加熱が可能で、 かつ炉内酸素濃度を極限まで低く抑えることができます。 高結晶化が必要な炭素材料や、超高融点金属の焼結など、 高温・低酸素が不可欠なプロセスに適しています。 【特長】 ■超高温対応 ■低酸素雰囲気 ■高結晶化処理に適している ■幅広い材料対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
「メタル炉」は、炉内の構成部材(ヒーター・断熱材・炉壁)をすべて タングステンやモリブデンなどの金属で構成した高性能加熱炉です。 通常のアルミナやカーボン製炉では避けられない微量コンタミネーションを 排除し、超高純度・高温・クリーンな焼成環境を実現。 特に、真空または不活性ガス雰囲気での超高温プロセスに適しています。 研究開発から量産まで、シビアな温度・雰囲気管理が求められる プロセスに対応します。 【特長】 ■高純度環境 ■高精度温度制御 ■超高温対応 ■真空・不活性雰囲気対応 ■低アウトガス・低発塵 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。