◦MHX-25.4F-Rではミラーをホルダーの裏面から挿入し、ミラーの反射面がミラー枠の突き当てで止まるように固定できます。これにより、ミラーの厚みが変わっても、ロッドの取付け中心とミラーの反射面は常に一致させ ることができます。（MHX-***F/Aはホルダーの表からミラーを挿入します。MHX-12.7F-Rは裏からミラーを挿入しますが、ロッドを取り付けることができません。） ◦MHX-***F/F-Rは調整ネジが3軸あり、あおり・回転の調整以外に、反射面を前後に動かすことができます。（MHX-***Aは調整ネジが2軸のため、あおり・回転の調整機能のみです。） ◦ミラー接着用の接着穴や回転防止、位置決めのピン穴の機能が搭載されています。 ◦材料に密度が高く強度に優れたステンレスを採用していますが、肉厚を薄くすることで軽量化を実現しました。 ◦フレームの肉厚を薄くして温度が変化してもすぐに追従し、温度分布によるフレームの歪を低く抑えています。

• レーザ部品
• その他光学部品

【仕様】 材質：軟質塩化ビニール 厚さ(mm)：0.5 光学濃度(OD)：4＜ 防炎性：防炎2級(JIS A 1322) 適応波長(nm)　YLC-1：266、355、1064、2100、10600 　　　　　　　YLC-2A：190～380、441～532 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他

【各タイプの特長】 ■レーザー完全吸収タイプ 光学濃度（OD）を高く設定しているため、通常、可視レーザー光を見ることができません。 ■多波長兼用タイプ 作業中同時に複数の波長をカバーしたい時に利用します。 ■整備用レーザー光 一部透過タイプ 100mW以下整備用（光学濃度OD1～2）、10W以下（光学濃度OD4）。 光路確認・光軸調整などにご使用ください。 ■強化ガラス（完全吸収）タイプ 光学濃度（OD）と損傷しきい値を高く設定しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他安全・衛生用品
• メガネ・ゴーグル

共通仕様 【材質】軟質塩化ビニール 【厚さ】0.5ｍｍ 【適応波長】190−380、441−532nm 【色】 クリアオレンジ 【光学濃度】4＜ 〔OD〕 【可視光線透過率】 標準30％ 【防炎性】 防炎2級（JIS A1322）

• その他安全・衛生用品

共通仕様 【材質】軟質塩化ビニール 【厚さ】0.5ｍｍ 【適応波長】266、355、1064、2100、10600nｍ 【色】 クリアグレー 【光学濃度】3＜ 〔OD〕 【可視光線透過率】 標準40％ 【防炎性】 防炎2級（JIS A1322）

• その他安全・衛生用品

掲載カテゴリと一部ピックアップ ・アプリケーションシステム （干渉計、バイオフォトニクス、レーザプロセッシングシステム、 調芯システム、Viewing関連） ・光学素子 （ミラー、ビームスプリッター、偏光素子、レンズ、MEレンズ、 フィルター、プリズム、基板・窓、メンテナンス製品等） ・ホルダー（マウント） ・ベース（防振台含む） ・手動ステージ ・アクチュエータ ・自動ステージ（コントローラ、ソフトウエア、ピエゾ） ・光源（レーザ、受光器、保護メガネ等）

• その他光学部品
• レンズ
• 光学実験部品

◎大気用位置決め装置 　自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自の 　フィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 　高分解能・高い繰り返し再現性・高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◎真空対応システム 　光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の 　制御回路を搭載したフィードバックステージコントローラとの組合せにより、 　真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• その他FA機器

【質問一覧】 ■Q1. 通常（大気） ステージと真空用ステージの違いは？ ■Q2. ステージのストロークとサイズはどのくらい？ ■Q3. Z 軸ステージの選定方法と使い方は？ ■Q4. ケーブルの長さはどのくらいまで伸ばせるのか？ ■Q5. 簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？ ■Q6. ステージの構成要素はどのような材質なのか？ ■Q7. 使用しているアクチュエータは？ ■Q8. オープンステージとフィードバックステージの違いは？ ■Q9. 位置決め時間はどのくらいか？ ■Q10. エンコーダはどこに入っていますか？ ■Q11. エンコーダの検出方式はどのようなものか？ ■Q12. トレーサビリティと分解能とはなにか精度との違いは？ ■Q13. どのようなところで使用されているか？　他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素
• その他加工機械

◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループ制御を実現しております。

• その他FA機器

■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：5mm/sec（UPシリーズ） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置
• その他FA機器

■ステージ 最小分解能：5nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：5mm/sec ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm 最大動作速度設定値：30mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置

■ステージ 最小分解能：10nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～200mm 最大移動速度：20mm/sec（ストロークや可動タイプにより異なります） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm 最大動作速度設定値：50mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置

■ステージ 最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～400mm 最大移動速度：20mm/sec（ストロークや可動タイプにより異なります） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm or 50nm 最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置

■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置
• その他FA機器

■ステージ 最小分解能：5nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm 最大動作速度設定値：30mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置
• その他FA機器

■ステージ 最小分解能：10nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm 最大動作速度設定値：50mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置
• その他FA機器

■ステージ 最小分解能：100nm or 50nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～100mm 最大移動速度：2mm/sec 対応真空度：10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm or 50nm 最大動作速度設定値：100mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他検査機器・装置
• その他FA機器

OPIE'19内のポジショニングEXPOに出展致しました。 日時：2019年4月24日から26日 　　　10:00~17:00 場所：パシフィコ横浜 小間番号：E-17 展示物：1nm分解能位置決め装置、真空対応1nm分解能位置決めステージ

• その他理化学機器
• その他光学部品
• アクチュエーター

◆大気用位置決め装置 自社開発の光学式リニアスケールを搭載したフィードバックステージと、独自のフィードバック制御機能を有したフィードバックステージコントローラにより、 高分解能 ・ 高い繰り返し再現性 ・ 高位置保持性を達成した位置決め装置です。 ◆真空対応システム 光学式リニアスケールを内蔵したフィードバックステージと、自社独自の制御回路を搭載したフィードバック ステージコントローラとの組合せにより、真空内でのフルクローズドループフィードバック機能を実現してお ります。

• その他FA機器

【動作タイプ】 [直動タイプ] ○スタンダードなステージ ○一軸方向の位置を決めをし、組み付けにより多軸化可能 ○ブラケットを用いて垂直方向の使用も可能（ワーク荷重1.5kgfまで） ○垂直方向使用時にギアードモーター使用で10kgfのワークまで位置決め可能 [昇降タイプ] ○ガイドを梯形に配置し、テーブルを昇降させるステージ ○水平方向に対するテーブル面上を広く使用できる [微小回転タイプ] ○±4度の回転ができるステージ ○角度の調整等使用に最適 ○横にしてゴニオステージとして使用可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他プロセス制御

より扱い安く、そしてフィードバック可能なステージです。 フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせで10nm分解能の制御を行うことができます。 自社開発したリニアスケールを内蔵していながら、薄型で軽量な設計になっています。 またフルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能です。 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器
• アクチュエーター

○1nm分解能位置決め装置 　分解能：1nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：5mm/s（FC-911コントローラ使用時） 　可動範囲：20mm～50mm 　 ○10nm分解能位置決め装置 　分解能：10nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：10mm/s（一部ステージを除く） 　可動範囲：20～200mm/s

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他半導体製造装置

【取扱製品（抜粋）】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ・真空対応1nmフィードバックステージシステム ・真空対応5nmフィードバックステージシステム ・真空対応10nmフィードバックステージシステム ・真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他FA機器

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• その他FA機器
• その他顕微鏡・マイクロスコープ

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□

• その他FA機器

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○対応真空度：10-４Pa ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください　□

• その他FA機器

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク：30mm（※画像のステージ「FS-1030X」の場合） ※その他の仕様はお問い合わせください。

• その他FA機器

型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） ストローク：40 mm 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411

• その他検査機器・装置
• コントローラ
• その他実験器具・容器

型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411

• その他検査機器・装置
• 電子顕微鏡

型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、 ステージ制御軸数：2 最小指令単位：1nm インポジション範囲：±1nm（±3nm、±7nm 選択可） 最大動作速度設定値：6mm/s（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• コントローラ
• その他光学部品

型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ 制御軸数：2 最小指令単位：5nm インポジション範囲：±5nm（±15nm、±35nm 選択可） 最大動作速度設定：30mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他FA機器

型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V) 制御軸数：2 最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他FA機器

型式：FC-111 接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V) 制御軸数：2 最小指令単位：100nm インポジション範囲：±100nm（±300nm、±700nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他FA機器

型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品：FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V)、FS-1120θ(V) 制御軸数：2 最小指令単位：50nm インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他FA機器

型式：FC-514 接続対象ステージ：FS-3200PX、FC-511と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他FA機器

型式：FC-414 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-411と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：50nm インポジション範囲：±50nm（±150nm、±350nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） スローダウンセンサ：対応 ORGセンサ：対応 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ

型式：FC-114 接続対象ステージ：FS-3200X、FS-3300X、FS-3400X、FS-2200X、FS-2300X、FS-2400XとFC-111と同様のステージ 制御軸数：2 最小指令単位：100nm インポジション範囲：±100nm（±300nm、±700nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） スローダウンセンサ：対応 ORGセンサ：対応 電源：AC100V～240V

• その他検査機器・装置
• その他顕微鏡・マイクロスコープ
• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：40mm テーブルサイズ：□80mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：50mm テーブルサイズ：□120mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911

• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.4mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：40mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器

最小分解能：1nm 最大移動速度：0.5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：50mm 対応コントローラ：FC-911 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器

最小分解能：10nm 最大移動速度：10mm/sec（FC-511使用時） ストローク：150mm 対応コントローラ：FC-511 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器

最小分解能：10nm 最大移動速度：20mm/sec（FC-514使用時） ストローク：200mm 対応コントローラ：FC-514 ■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

• その他FA機器