C-887.52Xは、ヘキサポッド制御に最適化された32bit PIDコントローラを内蔵し、1つのコマンドで6自由度の位置決めが可能。 EtherCAT・USB・RS-232などの多様な通信に対応し、アナログ／デジタルI/O、BNC端子も装備。 LabVIEWやWindows DLL、Linux用ドライバも提供され、開発環境に応じた柔軟な制御が可能。 リファレンススイッチやストール検知機能も備え、安全性にも配慮されています。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-825は、±0.1µmのZ軸再現性と高剛性設計により、半導体製造や光学調整分野における精密動作に対応します。 耐荷重は最大30kg、ブラシレスDCギアモータ駆動・アブソリュートロータリーエンコーダにより初期化動作不要で即座に稼働可能。 安定した高精度位置決めと姿勢制御を実現します。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。

• その他産業用ロボット
• アクチュエーター
• エンコーダー

D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。

• センサ
• 変換機・トランスデューサ
• その他電子部品

D-050/D-100は、PI社が提供する2電極静電容量センサーで、最大150µmの測定範囲と0.01nmの分解能を実現。 干渉計より高分解能かつ非接触方式のため、ナノメートルスケールの測定に最適です。 パラレル計測に対応し、多軸制御におけるリアルタイム補正も可能。 直線性は0.01%以下（デジタルコントローラー使用時）、バンド幅は最大10kHz。 クリーン環境、半導体製造、計測機器への組込みに適しています。

• センサ
• 変換機・トランスデューサ
• その他電子部品

U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• 圧電デバイス

N-472シリーズは、Piezoelectric Inertia Drive方式を採用した高信頼性のClosedloopアクチュエータです。 高精度な位置決め制御が可能で、インクリメンタルエンコーダにより位置フィードバックが取得可能。 最大22Nの駆動力、保持力100N以上を確保しながら、動作時以外は電流を必要とせず、熱の発生も最小限に抑えます。 M10×1ねじ・9.5mmクランプシャンクによる簡単な取付が可能で、装置組込みにも適しています。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

N-470は、高い保持力（100N以上）と7〜13mmの移動範囲を備えたコンパクトな慣性駆動式アクチュエータです。 従来の手動ネジ機構を置き換える設計で、光学ミラーのチップ・チルト微調整や、微小コンポーネントの長期安定な固定に理想的です。 M10×1ネジ、9.5mmクランプシャンクで簡単に装置へ取り付け可能。E-872コントローラと組み合わせることで、正確な微動制御が可能になります。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• ソレノイド・アクチュエータ

N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。

• アクチュエーター
• 圧電デバイス
• その他機械要素

E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

E-625は、低電圧ピエゾアクチュエータ用に設計された高性能なサーボコントローラです。 最大12台まで並列ネットワークが可能で、多軸制御システムにも柔軟に対応。 24ビットの高分解能A/Dと20ビットD/Aコンバータにより、高精度な位置検出と滑らかな動作を実現します。 センサーは静電容量または歪みゲージ（SGS）から選択可能。 PI独自のGCSコマンド体系、LabVIEW・DLL対応ソフトウェア、波形メモリ機能も備え、装置開発や実験用途に最適です。

• コントローラ
• サーボ
• アンプ

P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。

• その他機械要素
• 圧電デバイス
• 直交ロボット

A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。

• その他機械要素
• ソレノイド・アクチュエータ
• エンコーダー

PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。

• その他機械要素
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

E-881 BIX モーションコントローラは、装置組み込み用途に適したモジュール式のピエゾモーションコントローラです。 Ethernet/USBによる柔軟な接続対応。Python、C++、LabVIEWなど、各種開発環境との互換性があり、システム開発をスムーズに進められます。 高性能ながらコンパクトな筐体により、省スペース化と制御の高性能化を両立。装置開発の効率向上をサポートします。

• その他機械要素

「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。

• その他機械要素

A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

C-891は、PI製PIMag(R)リニアモーター専用に設計された高性能モーションコントローラです。 最大20kHzの制御周波数と5A出力により、高速・高精度な位置決めを可能にします。 リミットスイッチや温度・過電流保護など安全性も確保。 USB、RS-232のほか、アナログ入力やTTL入出力も搭載しており、外部センサーとの連携も容易です。 コンパクトながら機能性に優れ、研究開発・生産現場など多様な場面で活躍します。

• コントローラ
• アンプ
• サーボ

ボイスコイルアクチュエータの動作を精密に制御する高性能モーションコントローラです。 最大20kHzのサーボ制御サイクルとPID制御を備え、精緻な位置決めと速度制御を実現します。 最大5Aの出力電流を提供し、24～48Vの範囲で動作します。豊富なインターフェース（TCP/IP、USB）に対応し、LabVIEWやMATLAB、Pythonといった一般的なプログラミング環境での制御が可能です。 加えて、自動調整機能を持つオートゼロ機能や、データレコーダー機能を内蔵し、動作記録も簡単に行えます。 小型で軽量なデザインは、OEM機器への組み込みや研究開発用途に最適です。

• コントローラ

ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。

• アクチュエーター
• その他産業用ロボット
• エンコーダー

V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。

• その他機械要素
• 直交ロボット
• エンコーダー

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。

• その他機械要素
• ソレノイド・アクチュエータ
• エンコーダー

高精度な産業オートメーション向けリニアステージ。 V-D07高負荷リニアモーターステージは、産業オートメーションやレーザー加工、精密検査装置に最適な高性能プラットフォームです。 アイアンコアリニアモータによるダイレクトドライブで、摩擦レスの高速・高加速度駆動を実現。最大3000mm/sの移動速度と1000Nの耐荷重を誇り、高精度リニアエンコーダによりナノメートル単位の位置決めが可能です。 高負荷環境での精密動作を求める製造業に、新たな選択肢を提供します。

• その他機械要素
• その他産業用ロボット
• ソレノイド・アクチュエータ

PICMAWalk ウォーキングドライブ用 ・ PI独自のコントローラ技術によるプラグアンドプレイ ・ インターフェース：TCP/IP, USB, RS-232, SPI ・波形発生機能 ・データレコーダ

• その他機械要素

・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応

• その他機械要素

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 ＜ヘキサポッドの特徴＞ ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能　など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。

• その他機械要素

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 ＜ヘキサポッドの特徴＞ ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能　など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。

• その他機械要素

ピー・ヂー・ダブリュー株式会社（以下PGW）は、 1997年に石（グラナイト）を用いた石定盤や治具など石材加工の専業メーカとして創業。 極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とする FPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造。 また、お客様のご要求仕様に合わせ、グラナイトベースに、 ステージやリニアモータ、ガイド、エンコーダなどを組み合わせた 高精度ユニット装置も設計開発しています。 2021年に、ピエゾを用いた超精密位置決め品において マーケットリーダであるピーアイ・ジャパン株式会社の一員となりました。 日本国内はもちろん、アジア圏にあるPI（Physik Instrumente）社の 子会社から依頼された、お客様向けの装置設計や開発、製造など、 これまで以上のソリューションがご提供できるようになります。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• 加工受託

6軸自由度を持つパラレルキネマティックデザインで、単軸キネマティックシステムよりもコンパクトで剛性が強いヘキサポッド。 大きなダイナミックレンジで、作動ケーブルがなく、高い信頼性を提供。 また、ソフトウェアによるユーザー定義のピボットポイント設定が可能。 本体寸法：φ136×115mmの超コンパクト設計、ブラシレスDCモータ（BLDC）と長寿命ボールねじによるダイレクトドライブ式。 真空対応（10^-6hPa）バージョンも用意している。光位置合わせ、オートメーション、品質保証試験、試験機器での利用に。 【特長】 ■最小ヘキサポッド(真空オプションあり) ■トラベルレンジ：34mm／42° ■耐荷重：5kg ■アクチュエーター分解能：40nm ■最小インクリメンタルモーション：0.2μm ■再現性：±0.1μm ■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む ■ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他計測・記録・測定器

【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ：5～25mm ■最小移動量：0.2µm ■耐荷重：30N ■サイズ：60×62×20mm～ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa） 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ：モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン 循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、 インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、 小さなトラッキングエラー、短いセトリングタイムを実現。 オプションのモーションプラットフォームは、3つのM6ホールパターンを備え、 多様なアセンブリオプションを提供します。 このプラットフォームを使用しない場合、全高が63mmと低くなり、特にXY結合の際に有利。 ■薄型（高さ63mm）、幅166mm、長い移動範囲（～813mm）。 ■高動作性、メンテナンスフリーのリニアモーター ■高精度インクリメンタルリニアエンコーダ ■最大600 Nの耐荷重 ■リファレンスエッジによる高速統合、XYにスタック可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• リニアモータ

お客様のご要望のトラベルレンジ、位置決め精度、軸数、オプションなど組合せが可能です。 モーションコントローラ：ソフトウェアも付属するため、制御プログラムの開発に移れます。 XY軸ステージのみ、グラナイトベース付きも可能です。 XYZ軸システムにおいては、リニアサーボモータステージの構成になります。

• その他機械要素

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 ＜仕様＞ ・駆動軸　6軸 ・トラベルレンジ　 XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度 ・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad ・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重：40Kg（水平時） ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他機械要素

大容量化、高速化を求める世界のデータ需要を満たすうえで、 シリコンフォトニクス（SiP）は不可欠な技術です。 《PI社の革新的な産業技術が、その実現に貢献します》 PI社のオートメーションサブシステムにより、SiP製品のメーカーおよびそのツールのOEMは、 必要なナノスケールの精度と高い生産スループットを維持しながら、 優れたコスト効率と信頼性で、【新世代のフォトニクスデバイスのテスト およびパッケージング】を行うことができます。 この技術の鍵を握るのが、「相互作用する複数の入出力と自由度の 同時高速アライメントを自動化し、大域的最適化を通常わずか数百ミリ秒で完了する」PI社独自の機能です。 その並列処理により、テストおよびパッケージングにおいて マルチチャネルSiPコンポーネントのポジショニングに従来必要だった 時間のかかる反復的アプローチが不要になり、2桁を超える時間短縮が可能になります。 また、モジュール型アーキテクチャを採用しているため、 デバイスおよび生産アプリケーションによって 要件の異なる様々な生産テストおよびパッケージングのニーズに応えることができます。

• その他機械要素

長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。 PIの多軸モーションおよびポジショニングソリューション ヘキサポッド（ギリシャ語で6本の脚に由来）は、6つのアクチュエータ（支柱）によって制御されるモーションプラットフォームです。それらはすべて1つのプラットフォームで同時動作し、6自由軸の移動を可能にします。

• その他機械要素

ピーアイ・ジャパン株式会社が取り扱う製品を応用した事例をご紹介します。 ALMA天文台の50基のアンテナは、当社の「高精度ヘキサポッド」を使用。 アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に 位置合わせするため採用されました。 低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な 環境条件に適合。数ミリメートルまで高い精度で副反射鏡の位置を調節できます。 【事例】 ＜ALMA望遠鏡配列用50のヘキサポッドシステム＞ ■高精度精度ヘキサポッドを使用 ■アタカマ砂漠の過酷な環境条件の下、電波望遠鏡の副反射鏡を高精度に 　位置合わせするため採用 ■サブミクロン秒角の分解能で位置決めが可能 ■過酷な環境条件に適合し、高剛性で頑丈なジョイントをALMA向け 　ヘキサポッド用に開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

PI社は、ボイスコイル駆動の対物レンズ駆動フォーカスステージをリリースしました。 数百µmレベルのピエゾを用いた対物ピエゾ位置決めステージPIFOCは、 世界中のお客様に多くご使用されていますが、近年増加している産業用など 1mm以上の高速＆高負荷＆高精度フォーカスを必要とするお客様の声にこたえられる製品です。 また新規開発されたC-414コントローラ経由でPC通信＆アナログ制御が可能です。 あるいは、ACS社コントローラ（SPiiPlusコントローラとNPMpmドライバ/アンプ）との 組み合わせでより高いダイナミクスを実現することもできます。 ・調整可能なトラレベルレンジ 7 mm ・ハイダイナミクスダイレクトドライブ ・1kgまでの重量補正機能を内蔵（ユーザーによる調整も可能） ・最小インクリメンタル・モーション 10 nm ・クロスローラーガイド ・対物レンズホルダーなど好適なオプションアクセサリー ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、 世界中のお客様にご使用されています。 今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。 また扱いやすさも向上させた作りになっております。 【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 ※新デジタルコントローラとの併用でより高精度に！ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

※ビームの偏向角度　最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。

• その他機械要素

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他機械要素

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ・大開口：260mm、厚さ：113mmの薄型タイプ ・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他モータ

PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています！ パラレルキネマティック方式設計による 「A-523型：エアベアリング　Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。 薄型設計で3軸の超高精度位置決めを実現 摩擦のないモーションプラットフォーム 最高の性能、品質、寿命を提供 【特徴】 ・トラベルレンジ： Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1° ・耐荷重：8 kg ・プラットフォーム：直径 250 mm ・高さ：60 mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素