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PICMAWalk ウォーキングドライブ用デジタルコントローラ 1-3軸のパワーアンプとインターポレータを内蔵。PiezoWalkテクノロジーのすべてのモーション・モードをサ ポート。20ビットデジタル/アナログコンバータ分解能。4次多項式による線形化。
＜PICMAWalkドライブによるナノメーター精度と高い送り力＞ 複数のピエゾアクチュエータがランナーの送りに繋がる歩行運動を行います。アクチュエータの制御により、ナノメーター分解能で最小のステップと移動送りを可能にします。他のピエゾモーター駆動方式とは対照的に、PICMAWalkウォーキングドライブは滑り摩擦の影響を受けません。これは、ランナーに沿ってステップする複数のピエゾアクチュエーターのスティクション接触に基づいています。静止時には、PICMAWalkウォーキングドライブはセルフロックされ、エネルギーを消費せず、熱も発生しません。
＜積み重ねステージにはできない性能＞ XYZθxθyθz軸 6軸自由度 サブミクロンの位置決め パラレルリンク動作 インクリメンタル・アブソリュートエンコーダ対応 任意回転中心設定 軸座標の変更可能
※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
・XY軸構成： V417型 高精度位置決めステージ ・トラベルレンジ：204～407mm ・G-901型コントローラ対応 ・オプション：グラナイトベースプレート、架台など豊富 ・オプション：Z軸 L412型 位置決めステージ（トラベル ～102mm）
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
・ピエゾ＋ヘキサポッドの9軸精密駆動システム ・シリコンフォトニクス、光学アライメントに好適品！ ・任意に回転中心が変更可能！ ・ピエゾの併用でナノオーダーの位置決めが可能！ ・複数のI/OおよびDOFを同時に高速アライメント ・並列処理により大域的最適化時間を1/100に短縮 ・時間効率に優れたアルゴリズムによりプロセスを0.6秒未満で完了 ・一般的なオペレーティングシステムに対応したソフトウェア ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
カスタムヘキサポッド 例： 長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。 上下のフレーム間に配置された6つのアクチュエータが、ヘキサポッドモーションコントローラからの入力に基づいて、上部プラットフォームの3つのリニア軸（X、Y、Z）および回転軸（ΘX、ΘY、ΘZ）を正確に位置制御します。
【その他事例】 ■ヘキサポッドによるモーションシミュレーション ■メカニカルエンジニアリングツールとしてのヘキサポッド ■オートメーション用ヘキサポッド ■高真空下での薄層成長のIn-situ 調査 ■材料研究用高荷重パラレルキネマティクス ■フォトニクスパッケージング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳細はカタログをご覧いただくか、お気軽にご相談ください。
OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
動作範囲：> 360° 駆動面の直径：150mm～350mm 偏芯：100～200nm 平坦度：50－75nm Wobble：1μrad～2µrad 耐荷重：190～1200N 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm
動作範囲：> 360° 駆動面の直径：365mm 開口：260mm 偏芯：300nm 平坦度：175nm Wobble：1μrad 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
主な特徴 ＊チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°) ＊パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性 ＊ダイナミックモーションと高速ステップ＆セトリングの高い共振周波数 ＊高リニアリティの位置センサー ＊最大12.7mm径（0.5"）のミラー用 ゼロ点フレクシャガイドによる高ガイド精度 フレクシャガイドは、摩擦、摩耗がなく、潤滑不要。剛性は高負荷容量を可能にします。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。 平行運動による高ダイナミック多軸動作 平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。 自動構成と高速コンポーネント交換 メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜 産業機械、半導体設備など、高精度に多軸モーションコントロールを必要とするお客様に最適。より高い位置決め精度と非常に短い整定時間で、安定性、確実性に優れた制御が可能。
PI社製の小型ステージを駆動タイプによってご紹介。 サイズ比較や、小型ステージの積み上げ構成例などを一目瞭然で把握できます。また、分解能とストローク、耐荷重と速度についてどのようなステージが最適なのかを含め、精密位置決めステージをお探しの方にはとても分かりやすいハンドブック形式になっています。
＜仕様＞ ・周波数レンジ：400～1550nm ・光学入力コネクタ：FC/PC, FC/APC ・電流入力コネクタ：BNC ・最大入力電流：1mA ・出力コネクタ：BNC ・電圧レンジ：-5～+5V
≤ 18 μm から 7 mmまでのトラベルレンジ: どんなアプリケーションにも最適なソリューション
システム駆動軸：9軸 ＜ヘキサポッドラフポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝±17, ±16, ±6.5mm、θX, θY, θZ＝±10, ±10, ±21度 最小移動量：XY=0.1µm、Z=0.05µm ロータリーエンコーダ ＜ピエゾファインポジショニング＞ トラベルレンジ： X, Y, Z＝100µm 最小移動量：2.5nm 内蔵センサー ＜システム専用コントローラ＞ C-887型ヘキサポッドアナログ入力付属コントローラ＆ソフトウェア E-712型デジタルピエゾコントローラアナログ入力付属 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
【ラインアップ】 ■VT-80 ■L-406 ■L-509 ■M-404 ■L-511 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ（抜粋）】 ■駆動軸：θX ■回転レンジ：90° ■リミットスイッチ：2×mechanical ■ガイドタイプ：Ball bearings ■ドライブスクリュータイプ：Worm gear ■耐荷重：80N ■許容ラテラルフォース：50N ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■L/V-412 ■L/V-417 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ（抜粋）】 ■トラベルレンジ：102×102mm ■内蔵センサ：Incremental linear encoder ■設計分解能：0.001μm ■センサ信号：Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period ■リファレンスリミットスイッチ：光学式 ■ガイド：Recirculating ball bearing ■モータタイプ：アイロンレス3相リニアモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ V-508（抜粋）】 ■動作温度範囲：10℃ to 50℃ ■湿度：20-90％ rel., not condensing ■材料：Aluminum, blue / black anodized ■モータ接続：HD Sub-D 26 (m) ■センサ接続：Sub-D 15 (f) ■ケーブル長：2m ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ（抜粋）】 ■駆動軸：X ■移動範囲（mm） ・V-408.132020：25 ・V-408.232020：50 ■内蔵センサー：インクリメンタルエンコーダー ■センサー信号周期：80μm ■最小インクリメンタルモーション：20nm ■双方向繰り返し性：±0.1μm ■ピッチング / ヨーイング：±150μrad ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【モデル】 ■U-780.DNS（ニコン製顕微鏡用） ■U-780.DOS（オリンパス製顕微鏡用） ■U-780.DLS（ライカ製顕微鏡用） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他特長】 ■ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー ■注油不要 ■内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現 ■分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ■コンパクトな設計で断面高さ32mm、設置面積170×170mm ■センター開口部は78×78mm ■静止時に自動ロック ■PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ（抜粋）】 ■駆動軸：X、Y ■移動範囲：22mm×22mm ■速度、クローズドループ：200 ■双方向繰り返し性：±0.2 ■ピッチング：±60 ■ヨーイング：±300 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【モデル】 ■U-651.03/03V ■U-651.04/04V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【技術データ（抜粋）】 ■回転レンジ：無制限 ■内蔵センサ ・光学式エンコーダ ・ポジションダイレクト計測 ・ステージでの統合されたインターポレータ ■設計分解能：35（2）μ rad（m°） ■双方向再現性：±105（6）μ rad（m°） ■動作温度範囲：－20～50℃ ■材質：アルミニウム アナダイズド処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【掲載製品(一部)】 ■SPiiPlusEC ・モーションコントローラ ■UDMpm ・ユニバーサルドライバ ■SPiiPlusSMC ・スマートモーションコマンダー ■SPiiPlusSPC ・スマートプロセッシングコマンダー など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】 ■アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能 ■静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレなし ■真空対応バージョンを利用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】 ■すぐれた動き特性による大きなチップ／チルトレンジ ■サブマイクロラジアンの分解能 ■高い信頼性と長寿命 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
検査、搬送、位置決め工程などの自動化に。提案例の紹介資料進呈
吊り下げ搬送の自由度UP。後退や加速が容易なコンベアの資料進呈
輸送品質を高める衝撃検知ツール。１２／２０までサンプル進呈
