『MR-200A』は、メインローラーのV溝形状測定やワイヤー高さ測定が できる装置です。 ワイヤソーにセットしたローラーを洗浄して芯金に検査機を取り付け。 ローラー上を検査機がステージ移動して全溝を測定し、測定値を Excelファイルと画像ファイルにします。 【特長】 ■ローラーを機械から外さずにワイヤーがない状態で溝深さが他に比べ深くないか検査 ■ワイヤー巻き付け状態でワイヤー高さを測定して沈み込みを測定 ■検査結果から品質改善の手がかりとしてローラー交換の目安を判定 ■メインローラーの再加工後の受入検査ができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

「瞬低」はごく短時間、瞬間的に生じる停電のことです。電力会社では、 概して１分未満の停電を指すケースが多くあります。瞬低が起こると、 そのたびに工場の装置が停止や故障にも繋がります。また、生産品の不良 発生や装置の再起動に時間がかかり、生産効率が落ちるなどの影響が発生 します。過去には、0.07秒の「瞬低」によって、1企業にて数十億円以上 の莫大な損害を出した例もあります。 【ハンドブック記載内容】 ■瞬低とは ■瞬低（瞬時電圧低下）と停電の違い ■瞬低が与える影響 ■瞬低（瞬時電圧低下）の対策 ■瞬低保護装置VSPの特徴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• UPS・無停電電源装置

瞬低(瞬時電圧低下)と停電の違いについてご説明いたします。 「瞬低」はごく短時間、瞬間的に生じる停電のことです。どれくらい短時間の 停電を指すのかはケースバイケースですが、電力会社では、概して1分未満の 停電を指すケースが多くあります。 「停電」は主に落雷や雪害などにより、送電線のショートが原因で商用電源の 供給が完全に停止し、交流電圧がOVになり、1分間以上続く長い電力の停止状態の ことを言います。 【補償電源】 ■瞬低 ・瞬低保護電源 or 無停電電源 ■停電 ・無停電電源(UPS) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• UPS・無停電電源装置

「瞬低」は、瞬間的に数サイクル程度電圧が低下する現象です。 主に落雷などによる送電線の故障を電力系統から除去するまでの間継続し、 通常0.5秒以内で発生します。 瞬低や停電の原因として、「落雷」をはじめ「台風、暴風雨」や「地震」等が 挙げられます。 【瞬低＆停電の原因】 ■落雷 ■台風、暴風雨 ■地震 ■大雪 ■鳥の営巣 ■車両衝突などによる電柱の損傷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• UPS・無停電電源装置

「瞬停」とはごく短時間、瞬間的に生じる電圧低下のこと。 対策装置はUPS（無停電電源装置）からVSP（瞬時電圧低下保護装置）へ！ VSP(Voltage Sag Protector)は、SAG（瞬時電圧低下）を対象にした、短時間の電源補償をおこなう装置です。 データセンター業界で雷などによる瞬低でよく起こる事故・トラブル： ■冷却装置のポンプが停止してしまった ■サーバー用のバックアップが壊れてしまった ■クラウド障害発生 瞬時電圧低下保護装置導入による成功例 ■冷却装置のポンプが停止することがなくなった ■サーバー用のバックアップが壊れることがなくなった ■障害発生の頻度が下がった ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。

• UPS・無停電電源装置

「瞬停」とはごく短時間、瞬間的に生じる電圧低下のこと。 対策装置はUPS（無停電電源装置）からVSP（瞬時電圧低下保護装置）へ！ VSP(Voltage Sag Protector)は、SAG（瞬時電圧低下）を対象にした、短時間の電源補償をおこなう装置です。 半導体・ウェハー・FPD業界で雷などによる瞬低でよく起こる事故・トラブル： ■半導体製造装置不良の発生（歩留率の低下） ■半導体生産計画の遅れ（納期遅延） ■製品不良や装置立上時間ロスによる原価上昇 ■関わる方々への信頼性の低下 瞬時電圧低下保護装置導入による成功例 ■半導体の品質安定性の向上 ■装置のメンテナンスフリー化、13年～15年の長寿命 ■ランディングコストが最大12分の1と省エネ ■導入コストが安い ■フットプリントが小さいのでクリーンルームでの有効活用が可能 ■有害物質未使用 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。

• UPS・無停電電源装置

ワイヤー切断機のメインローラー溝形状検査機です。現場でローラーに検査機を載せ溝形状プロファイルモニターと形状の画像が計測できます。 ■特長 １．メインローラーの定期メンテで摩耗確認や形状異常をチェックします。 ２．ローラー交換時期の推定やワイヤー位置をモニターできます。 ３．新ローラーの受け入れ検査や最適加工条件を管理できます。 ■検査内容 １．メインローラーの溝形状モード・イヤーモード・マニュアルモード。 ２．ソーラーパネル用溝検査と半導体溝検査ができます。

• 半導体検査/試験装置

ダイヤ部がコア部に比べて結合度が高い事です。被加工物を押し付けるとコア部の方が速く摩耗します。おおよそ10ミクロン程度のダイヤ部が高くなり（ダイヤモンドの粒径に依存）、被加工物は常にダイヤと接触することになります。コア部の大きさやダイヤ部の幅等のパターニングは、被加工物の材質に合わせて任意に設計でき、被加工物に対してのダイヤの分担荷重を高くできるため、砥石の力を最大限引き出すことが可能です。 ＜特長＞ ・ハニカムの大きさ・肉厚で切れ味と砥石寿命を理想的に！ ・コア部の砥粒は、遊離砥粒の働きで加工効率アップ ・ノンドレス及びドレスインターバルを最大限に伸ばす ・ダイヤモンドのパターニングによって分担過重を制御可能

• その他研磨材

本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ■装置構成例 （2次元画像処理部） ・500万画素CCDカメラ ・レンズ　倍率×1.5倍 ・青色LED　ドーム同軸証明 ・LED電源　3HC （3次元処理部） ・130万画素CCDカメラ ・CCTVレンズ　f=50mm ・赤色LED　ドーム証明 ・画像処理PC及びカメラ取り込みボード

• 外観検査装置

1986年の会社創設以来､日本の先端の技術を支える半導体装置設備関連事業を展開しており、半導体製造装置関連で様々な修理ノウハウを持ち合わせております。 今回はステッパー装置用のレーザー修理をご案内させていただきます。 ASML、Nikon、Canon製品で対応可能です。（詳細なリストは資料をダウンロードしてください。）

• 半導体検査/試験装置

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本構成（抜粋）】 ■MEMS 顕微鏡 本体 ■三眼鏡筒 ■接眼 10 倍 ■XY ステージ ■カラーカメラ2台 ■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸ズレ測定±0.5μm ■線幅測定 0.2μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他顕微鏡・マイクロスコープ

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

UPS（無停電電源装置）からVSP（瞬時電圧低下保護装置）へ！ VSP(Voltage Sag Protector)は、SAG（瞬時電圧低下）を対象にした、 短時間の電源補償をおこなう装置です。 無停電電源供給のために伝統的に使用してきたバッテリー蓄電方式の UPS（無停電電源装置）とは異なり、VSPは装置が瞬時電圧低下された時、 1秒以内の瞬低にすべての電源の問題を完全に解決することが可能です。 豊富なラインナップ（全28シリーズ）で、全てのモデルに電気二重層 スーパーコンデンサー(EDLS)を採用しております。 【特徴】 ■長寿命13～15年。メンテナンスフリー（バッテリー交換不要）。 ■超高速切換時間 1/16cycleで検出、1/8cycleでバックアップ開始。 ■UPS無停電電源装置）と比べて軽量・小型・無騒音・安全 ■瞬低履歴モニター99回のSAG履歴が確認できます。 ■Bypass機能 ■ランニングコストが非常に安くすむ。10年間で7～15倍の低減が見込める。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。

• UPS・無停電電源装置

VSP(Voltage Sag Protector)は、SAG（瞬時電圧低下）を対象にした、短時間の電源補償をおこなう装置です。 瞬低発生時からわずか0.001秒で検出しバックアップします。 豊富なラインナップ（全28シリーズ）で、全てのモデルに電気二重層スーパーコンデンサー(EDLS)を採用しております。 【特徴】 ○メンテナンスフリー ○超高速切換時間 ○軽量・小型・無騒音・安全 ○瞬低履歴モニター ○Bypass機能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• UPS・無停電電源装置

ボルテージサグプロテクターは、半導体、LCD、自動車、化学、医療分野を含む様々な産業分野に適用可能です。無停電電源供給のために伝統的に使用してきたバッテリー蓄電方式の無停電電​​源装置（UPS）とは異なり、瞬時停電された1秒以内に様々な電源の問題を完全に解決することができます。既存のデバイスの電気使用量80％削減することができる。 【特長】 ■落雷、着氷雪、台風による瞬間的停電及び電圧低下の対策に好適 ■寿命が長い電気二重層コンデンサを使用しているためメンテナンスフリー ■通常は商用電源を使用して、瞬低時には瞬時に電気二重層コンデンサに 　切り替えにてバックアップ ■高効率により低消費電力実現 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

• 遮断器・開閉器

ラインカメラミニシリーズは、画素数512～2048／サンプリングレート40MHz／ピクセルサイズ14×14μmのセンサおよびGRINレンズを採用した、低ノイズ・高感度のモノクロラインカメラです。 カメラリンク出力に対応し、さまざまな検査用途に適合します。 【特徴】 ○流れるワークを連続で撮像 ○レンズ一体型のコンパクト設計 ○至近距離で接写が可能 ○高速・高精度スキャン 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• モノクロカメラ

「接写型ラインカメラ」は、画像検査用のコンパクトなラインカメラで、生産ラインへの組込みが容易な構造となっています。 搬送機上を流れる基板や薄物製品のキズ・ゴミ・異物検出用のラインカメラとして最適です。 幅広なワークも一台のラインカメラでスキャン可能。 低コストで高速・高精度の検査に貢献いたします。 【特徴】 ○コンパクト構造で、近接設置＆組込みが容易 ○多様な読取り幅に対応 ○高速読取り ○高精度読取り 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• モノクロカメラ

デジタルマイクロスコープ「SDM2」は、全自動のデジタルマイクロスコープシステムで、低倍～高倍までの広い範囲を観察出来ます。高解像度のズーム顕微鏡を用いる事で１μｍ以下の光学分解能で観察する事も可能です。自動ＸＹステージを用いて登録した座標に素早く移動する事もできます。また、オートフォーカス機能を搭載し、従来のズーム顕微鏡では実現できない高解像度を実現しています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 電子顕微鏡

『PSI-50』は、小型ガラス基盤やパネルの外形形状検査を高精度に測定が可能な 検査装置です。 外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査や、 ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。 また測定MAP表示機能、画像保存等を搭載しており、またパネル角度の 自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に 合わせる必要はありません。 範囲は設置すれば、自動的に角度を補正します。 置いた角度が大きすぎると測定精度に影響が出ますので、警報を表示する仕様に なっています。 【特長】 ■測定MAP表示機能搭載 ■画像保存機能搭載 ■自動補正機能付き ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 基板検査装置

『ITO膜外観検査装置』は、フィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や 外観検査を行う装置です。 特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、 飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。 フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察 することが可能です。 また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に 測定することができます。 ご要望により、検査範囲や測定精度のカスタマイズも可能ですので、 お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■高速に検査可能 ■レビュー観察が可能 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 欠陥検査装置

『シールズレ測定装置』は、LCDガラスパネルのシール部とBM部の ギャップ寸法を高速に測定することができる測定装置です。 搬送は連続移動にしCCDカメラを用いてストロボで静止画を得ますので、 安価な搬送機械で高速且つ安定した測定が可能になります。 レンズにはテレセントリックレンズを採用しているので、レンズとワーク間の 距離がワークの反り等で多少変っても測長精度が保証されます。 また、画面内の場所による精度誤差がほとんどありません。 【特長】 ■高速測定が可能 ■安定した測定が可能 ■テレセントリックレンズ採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 欠陥検査装置

『ワイヤボンディング検査装置』は、検査位置の指定、設定したパラメータでの テスト計測に最適な検査装置です。 撮影した理想サンプルの画像を表示し、簡単なマウス操作にて検査位置の指定、 設定したパラメータでのテスト計測が行えます。 ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示される為、確認が容易です。 また、品種情報はHDD内に記録され、多品種登録することが可能です。 【特長】 ■パラメータのテスト計測に最適 ■簡単なマウス操作 ■ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ボンディング装置

『透明膜検査証明装置』は、透明ガラス上に形成された透明膜などの パターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できる装置です。 臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ、 臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光りません。 また、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の 散乱表面反射を押さえ、透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げる ハレーション効果を上げています。 さらに、背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせる ことが可能です。 【特長】 ■照明装置を搭載 ■操作が簡単 ■高精度 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 光学顕微鏡

高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 電子顕微鏡

原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 電子顕微鏡

原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 電子顕微鏡

超小型アクティブ除振台「Ｎａｎｏシリーズ」は、振動を常時センシングし電子制御により振動を制御する最先端の高性能除振台です。省スペースでどんな高級な空気ばね方式のパッシブ除振台よりもはるかに上回る除振性能。 “ナノサイズ以下”の超精密測定に最適な振動環境を実現します。超高性能センサー ６自由度アクティブ制御です。オプションで、防音、防震ＢＯＸも用意しております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

光学的ストッパー機能装備「シート抵抗測定装置」はマイクロ4端子プローブを用いることで表面の抵抗分布を微細間隔(サブミクロン～数十ミクロン)で測定可能です。電子デバイスにおける薄膜表面の微細領域での抵抗分派測定が可能次世代の研究開発用途に限定で機能を絞り込むことで低価格を実現。光学的ストッパー機能が標準で装備されており、通電が無い場合でも一定以上の押し込みを停止して、プローブを守ります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

簡単操作　「自動巻ズレ検査システム」はX線画像処理により電池内部の極板巻き状態を自動検査します。正極と負極の極番を個別認識し、その個数とズレ量を自動測定します。2式の画像処理装置がペアとなり、個別にX線画像を入力して電池上下をインラインにて同時に検査します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

高精度「カムシャフト外観検査装置」はカムシャフトの高さ形状測定を光切断法を用いて計測し、加工された基準カムシャフトとの高さを検出します。祖材基準カムシャフトとの高さを比較しキズを検出し3台の測定カメラに1対1で接続し1台の統括PCで測定を行います。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

高速検査「ITO膜外観検査装置」はフィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や外観検査を行います。特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、飛び散りを明瞭に撮像し外観測定いたします。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

高速測定「シールズレ測定装置」はLCDガラスパネルのシール部とBM部のギャップ寸法を高速に測定します。搬送は連続移動にしCCDカメラを用いてストロボで静止画を得ますので安価な搬送機械で高速且つ安定した測定が可能となります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

品種ティーチング「ワイヤボンディング検査装置」は撮影した理想サンプルの画像を表示し、簡単なマウス操作にて検査位置の指定、設定したパラメータでのテスト計測が行えます。ワイヤ軌跡等の結果が視覚的に表示される為、確認が容易です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 振動監視

検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に 高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４インチから８インチ迄、対応可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 外観検査装置

検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその 登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥 を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他検査機器・装置

検査装置「cp-30（顕微鏡型画像計測システム）」は、顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステムです。画面内に設定した水平または、垂直ウインドウの輝度波形から、線幅を精密測定します。専用インターフェースでＸＹステージと連動しており、指定位置へ自動的に移動して幅計測を行うことができます。Ｚ軸のオートフォーカス機能により、厚みの違うワークも柔軟に対応できます。また、ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他計測・記録・測定器

検査装置「異物検査装置」は、カメラから取り込んだ画像を検査ソフトウェア（Ｉｐ－20）によって処理して、各種の解析ｗｐ高速で行うことができます。入力ソースとなるカメラ機種選択の自由度が大きいことが、本システムの大きな特長となっています。市販のＮＴＳＣ・デジタル出力のほとんどのカメラに対応していますから、ハイエンドの高機能装置からローコストの普及型まで、フレキシブルにインライン装置構成を組み上げることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他検査機器・装置

検査装置「透明膜検査証明装置」は、透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。臨界角よりガラス基板 の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げています。それにより背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他検査機器・装置

検査装置「ガラス基板外形検査装置(PSI-50)」は、外形寸法（最大幅）／バリ検出／欠け検出／切断ズレ検査／ガラス流し込み部の寸法測定が可能です。また測定ＭＡＰ表示機能、画像保存等を搭載しております。またパネル角度の自動補正機能によりワークを検査ステージに置く際に角度を正確に合わせる必要はありません。範囲は設置すれば、自動的に角度を補正します。置いた角度が大きすぎると測定精度に影響が出ますので、警報を表示します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• その他検査機器・装置

スーパーマクロ SM75は300mmウエハーでワンショット1秒で検査でき、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも採用されております。小型視野の光学系からラインアップしており、オプション光源に赤外線をもちいることにより内部のボイド検査にも応用できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

• その他検査機器・装置

「エアロフィックス」は、独自のセラミックス焼結技術により開発した、従来のスルーホールタイプ真空チャックとはまったく異なるアプローチによる真空チャックです。 主剤と助剤の共晶反応をコントロールすることにより、焼結性を制御するもので、ワークに最適な気孔径および気孔率に調整します。また、製造工程で完全焼結するので、内部からの発塵がなく､使用環境に影響を与えません。 これまでは、ワークの形状に合わせたチャック装置の設計･製造が必要でしたが、部分吸着が可能な「エアロフィックス」は、さまざまなワークサイズに対応します。ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率の向上をかなえます。 均一な吸着力を発生させるので、デリケートな薄物ワークにも安心してご利用いただけます。また、フィルム等にみられる端部の反りも吸着するので(タッチダウン)、作業効率がアップします。吸着力は真空調圧弁により調整できます。 「エアロフィックス」はデモ機を貸し出しております。製品の卓説した性能を実際にお確かめください。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他

アローズエンジニアリングは、半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、 半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売などを行っています。 「高周波電源」をはじめ、「RFマッチングボックス」や「輸送ロボット」 などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。 当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、 確かな技術と高度な知識で、様々な問題をスピィデーに解決するお手伝いをしております。 【修理・改善内容】 ■高周波電源 ：放熱効果の改善 ■RFマッチングボックス ：過負荷や経年劣化する部品を定期交換⇒RF Matchingの機能を安定させ耐久性アップ ■搬送ロボットの修理 ：ロボット、コントローラーの分解、ウエハ搬送テスト ■ＰＣＢ基板の修理 ：各装置メーカーのPCB boardを修理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

アローズエンジニアリング株式会社は1986年の創立以来半導体業務に携わりお客様のニーズを的確に捉え、半導体業界には無くてはならない企業であり続けたいという想いと共に、社員全ての人達が日々価値ある最高の製品・技術・サービスを提供する事で躍進して参ります。確かな技術と高度な知識で様々な問題の解決をお手伝いし、お客様のニーズに的確に捉え、最適なサポートを提供いたします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• その他半導体製造装置