CVD装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

配管ヒーター、シリンダー等の熱を逃がさない！電力削減やCO2を削減！用途に合わせて形状・材料を自由にカスタマイズ可能！

• 射出成形機
• 押出成形機
• CVD装置

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

経済性に優れた高精度ラバーシール

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

高精度・信頼性のメタルシールモデル

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装置

• CVD装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

• CVD装置
• その他表面処理装置

Oリングの桜シールによる白色タイプのパーフロロエラストマー材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる充填剤無使用の耐熱パーフロ（耐高温: 300℃）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプの耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温: 280℃）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる白色タイプの3元系フッ素ゴム材質

• その他機械要素
• CVD装置
• 配管材

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる高硬度タイプのアフラス (FEPM)材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる耐熱性3元系フッ素ゴム（耐高温: 250℃）材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる耐熱性パーフロロエラストマー（耐高温-300℃）材質の旧グレード

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる標準タイプのアフラス (FEPM)材質

• その他機械要素
• CVD装置
• シール・密封

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材質

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる標準タイプの3元系フッ素ゴム材質

• 塗装機械
• CVD装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）材質

• シール・密封
• 配管材
• CVD装置

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）材質

• シール・密封
• 配管材
• CVD装置

Oリングの桜シールによる標準タイプのバイトンETP (FFKM-E)材質

• CVD装置
• エッチング装置
• シール・密封

Oリングの桜シールは、JIS規格サイズは勿論のこと、中間・延長・派生サイズなども規格に組み込んで、多様な材質にて成形いたします。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

Oリングの桜シールは、PTFE（テフロン／4フッ化エチレン樹脂）ほか多様な材質で、幅広いサイズのOリングを制作いたします。

• 飲料製造装置
• CVD装置
• 配管材

Oリングの桜シールによる標準タイプのパーフロロエラストマー材質

• CVD装置
• エッチング装置
• シール・密封

Oリングの桜シールは、AS568規格（航空宇宙規格）ほか様々なサイズのOリングを、多種多様な材質によって成形いたします。

• CVD装置
• エッチング装置
• その他機械要素

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る特別な材質を取り揃え、様々なサイズに成形いたします。

• シール・密封
• CVD装置
• エッチング装置

Oリングの桜シールは、耐熱性や耐圧性、耐薬品性といった様々な性能を持つ多種多様な材質を取り揃え、様々なサイズで成形いたします。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

Oリングの桜シールでは、幅広いサイズと多様な材質をラインナップし、常備20000種類以上の在庫による即納販売を行っております。

• その他機械要素
• CVD装置
• ゴム

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐反射能力を持ち、短絡・開放の急激な負荷変動に耐えます

• CVD装置

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

• CVD装置
• その他半導体製造装置

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾過、

• 電気炉
• CVD装置
• 真空機器

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティング装置

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• プラズマ表面処理装置

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】

• CVD装置

厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）

• CVD装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

大口径シール

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接点の比較出力を標準装備しております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

小型のＤＩＮサイズ［４８ｍｍ(Ｗ)×２４ｍｍ(Ｈ)×６６ｍｍ(Ｄ)］で、デジタルスケーリングが前面で操作可能です。

• CVD装置
• リレー
• 表示器