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創意工夫を大切にし、時流に流されない研究開発を続けるナノテックが 取り扱う『各種真空成膜装置』をご紹介します。 当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置の カスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗浄用 プラズマエッチング装置「NAPE500」などをご用意しております。 【ラインアップ】 ■ICF成膜装置 ■プラズマエッチング装置「NAPE500」 ■パルスバイアス実験装置「ICF330」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『オートクレーター』は、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を 光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定する試験機です。 断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。 成膜された試料をそのまま測定できます。 また薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして 変化させる事により、各層毎の膜厚を評価できます。 【特長】 ■試料調整が不要 ■成膜された試料をそのまま測定 ■多層膜の評価が可能 ■純国産 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ICF カタログ』は、独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させ DLCに各種ドーピングや構造制御などを行うことで、様々な高機能性の付与に 成功した「ICF」について解説しています。 超鏡面ICFコーティングを実現した「ICFオレンジ」をはじめ、導電性ICF 「ICFブルー」や耐熱性ICF「ICFレッド」などを掲載しております。 私たちはICFシリーズにより、お客様のニーズに合わせた コーティングサービスをご提供いたします。 【掲載内容】 ■ICF（Intrinsic Carbon Film）とは ■ICFオレンジ ■ICFブルー ■ICFレッド ■ICFイエロー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 11月中にお申込いただいたお客様限定！！ Auto SEによる分光エリプソメトリ測定(膜厚・光学定数測定)を 初回3サンプルまで無償で測定を実施いたします。 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■ 新規開発の光学モデルによりDLCの膜質評価を非破壊・非接触で行います。 各種製法により成膜された水素を含有するDLCから、水素フリーDLCまで瞬時に非破壊測定を行い、膜厚・光学定数(屈折率・消衰係数)の算出ができます。 簡単な操作で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 XYZ電動ステージによる面分析や、100μm以下の微小エリアの測定ができます。 イメージングシステムにより、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。 【詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください】
創意工夫を大切にし、時流に流されない研究開発を続けるナノテック株式会社の『総合カタログ』です。幅広いアプリケーションに対応する DLC膜の様々な改質が可能な「コーティング装置」少量サンプル試作から大量生産まで、DLCから進化した高機能膜のICFシリーズの「コーティングサービス」など、多数掲載しています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
DLCから進化した高機能膜の『ICFシリーズ』の総合カタログです。表面粗さを極力抑制した「超鏡面ICF」従来絶縁性のDLCに導電性を付与した「導電性ICF」高温環境での使用可能な「耐熱性ICF」各種アルミ合金に適合する「アルミニウム合金用ICF」UVを吸収し可視光・赤外域の波長透過を向上した「光学用ICF」低侵襲性各種医療材料に最適「生体適合性ICF」など、多数掲載しています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【概要】 DLC膜は高真空中のアーク放電プラズマで炭化水素ガスを分解し、プラズマ中のイオンや励起分子を基板（製品）に電気的に加速しエネルギーをもってぶつけることにより形成します。 また、DLC膜は緻密なアモルファス構造のためその表面は非常になめらかで結晶粒界がありません。この表面特性がDLCのすぐれたトライボロジー（摩擦摩耗）特性の一因となっています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【ラインナップ】 ○硬さ試験：硬さ・ヤング率の評価 ○スクラッチ試験：密着性の評価、傷つきやすさの評価 ○摩擦摩耗試験：摩擦係数の評価、耐摩耗性の評価 ○膜厚測定 ○表面粗さ測定 ○分光エリプソメトリ:膜厚、光学定数の評価 ○EDX分析:摩擦摩耗試験やスクラッチ試験後の試験痕の確認 ○RBS/HFS測定:薄膜を構成する元素の定性・定量評価 ○XRR測定:膜厚・膜密度の評価 ○ラマン分光分析:DLC膜の結晶状態の評価 ○FT-IR測定:赤外線透過率、赤外線反射率の評価 詳しくはお問い合わせフォームからご連絡ください。 試験概要や、試験可能なサンプルサイズについて、担当者から説明させて頂きます。
『DLC Analyzer』は、プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の 単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、 光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 DLCの国際標準化を推進しているNDF DLC規格化委員会において、 分類における標準試験機として使用しています。 【特長】 ■薄膜の膜厚、光学定数などの物質特性を精度良く測定 ■オーダーメイドのDLC標準片をご提供 ■DLC規格化委員会の分類における標準試験機として使用 ■最小25×60μmのスポットサイズを標準で装備 ■MyAutoViewにより試料上のスポット位置を確認しながら、測定位置を決定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コスト削減、省エネ、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。 DLC-Hardコーティングは、独自のイオン化蒸着法で成膜した標準DLCで、他の硬質薄膜コーティングと比べ圧倒的に低い摩擦係数、高硬度とすぐれた耐凝着性、耐摩耗性、低攻撃性を示します。小径ピンから大型ロールまであらゆる寸法のコーティング品に対応いたします。 DLC薄膜の応用用途が拡大するのに伴い、DLC薄膜の特性を物性により分類した用途別の活用が必要とされています。この分類を明確にするため、新たにDLCを大きな枠組みで促えなおす概念として ICF（Intrinsic Carbon Film ： 真性カーボン膜）があります。 ICFは、DLCを含む高機能性を持つカーボン膜の呼称です。 独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させDLCに各種ドーピングや 構造制御などを行うことで、様々な高機能性の付与に成功しました。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
【評価項目】 ・薄膜の密着性の評価 ・ペイント、塗膜などの傷つきやすさの評価 【関連規格】 ・ISO20502:Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) -- Determination of adhesion of ceramic coatings by scratch testing ・ASTM
圧粉成形離型コーティングとは、従来面圧が高いと剥離していたDLC膜と比較して、高面圧下で使用しても剥離せず、高寿命化を達成した新機能被膜です。 圧粉成形加工時に上下杵への粉付着を防止し、鏡面性を維持します。この被膜は高面圧化での摩擦係数が低く、バインダーを含む粉末が杵へ付着することを防ぎます。 高い荷重が加わっても、剥離しににく、耐久性と耐摩耗性に優れており、密着力も高く安定した性能を発揮いたします。 より詳しい情報はお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
ICFとは、DLCを含む高機能性を持つカーボン膜の呼称です。弊社は、独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させDLCに各種ドーピングや構造制御などを行うことで、様々な高機能性の付与に成功しました。 従来のDLC膜は硬いのに割れやすく剥離しやすかったです。この高耐久性ICFは、コーティング条件や膜の傾斜層の工夫により、初期摩擦係数が低く（μ=0.15）、高い荷重が加わっても、剥離しにくく、耐久性と耐摩耗性に非常に優れています。 また、メンテナンスフリーの為、使用する金型や摺動部品の信頼性や寿命を向上させる事が出来ます。 より詳しい情報はお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
低摩擦係数で高硬度を持つDLC膜の成膜を基本とし、加えて幅広いアプリケーションに対応すべく、DLC膜の様々な改質を可能とします。超精密金型や高速摺動部品等の少量多品種から大規模生産まで、また、研究開発機として数多くの実績を持ちます。 【ラインナップ】 ■NANOCOATシリーズ：単層DLC膜 成膜装置 ■DASHシリーズ：多層化DLC膜 成膜装置 ■NPSシリーズ：PS2システム標準 成膜装置 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
中空陰極内部より放電用作動ガスであるアルゴンガスを放出し、この不活性ガスであるアルゴンガスをイオン化し、放電を形成します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
少量サンプル試作から大量生産まで、ダイヤモンドライクカーボン（DLC）・CrN・TiN・TiCN等のハードコーティングの受託加工を行っています。DLCは３ｍまでの長尺物の処理が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
真空中において特殊なイオン源により最適条件設計を行うことで、表面粗さを制御し、超鏡面ICFコーティングを実現しました。超鏡面ICFの用途としては、非球面レンズ金型や超微細加工ツール、精密金型などがあります。これらの部材では、非常に高い表面粗さの精度を要求され、膜抜けやドロップレットによる成形品への影響を極力抑えなければなりません。超鏡面ICFは、これらのニーズに対応して開発されたものです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
DLCから進化した高機能膜ICFは、導電性から絶縁性まで幅広く制御し、抵抗率の制御が可能です。静電気対策・電極保護膜には導電性ICFが有用、耐食性・低摩擦・半田付着防止・高硬度と導電性を両立できます。また、導電性ICFは、帯電防止を必要とする各種部品や耐摩耗性または耐食性が必要な各種電極へ応用することができます。従来の帯電防止コーティングの代替としてコスト削減などにつながることなどから導電性ICFは帯電防止としての機能も注目されています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
従来DLCの課題であった高温環境での使用を可能にするため、耐熱性ICFを開発しました。耐熱性ICFは、高温500℃の環境でも摩擦係数0.1を保ち、超硬合金より高い硬度を維持できます。また、ヒートプレート（材質：SKD11）では、使用条件450℃大気中で加熱した時、従来のDLC薄膜の寿命が３週間であったのに対して、耐熱性ICFは3ヵ月となり寿命が4倍向上しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
フッ素（F）ドーピングとコーティング条件の工夫により、DLC膜に水を弾くテフロンのような撥水性を持たせました。超硬合金と同等な硬度（1000HV）で、摩擦係数が低い（0.04～0.17）撥水性ICFの処理が可能になりました。これにより、金型汚れを防ぎ、生産性の向上に寄与します。また、膜が深い黒色であるため、画像認識用ステージやガイドに反射防止膜としても利用されています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
従来のDLCコーティングは、アルミニウム合金に対して密着力を良くすることが困難でした。アルミニウム合金は酸化しやすく、また多様な元素を含有するため、LC薄膜と基材との界面に最適な中間層を選定することが重要です。アルミニウム合金用 ICFは、最適中間層設計により、各種アルミニウム合金に適合したICFコーティングを可能にしました。A1050、A2017、A2024、A4032、A5052、A5083、A6061、A6N01、A7075に関して、最適中間層の設計を行うことが可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
各種ドーピング技術により、紫外線を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることが可能になりました。赤外域では従来品の1/2程度まで消衰係数の低下を実現しました。各種光学用フィルターなどへの耐摩耗性を兼ね揃えた用途に応用できます。また、バンドギャップも0.8～2.2eVまで制御可能であるため、光センサーなどへの応用も可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
DLCから進化した高機能膜ICFは、導電性から絶縁性まで幅広く制御し、抵抗率の制御が可能です。静電気対策・電極保護膜には導電性ICFが有用、耐食性・低摩擦・半田付着防止・高硬度と導電性を両立できます。また、PBIP法は各種材料などへの成膜を可能にし、膜の構造を制御することで硬さを7～22GPaと大きな範囲で制御できるために、用途や基材に対応して選択することができます。これにより高い密着性と絶縁性を両立できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
欧州連合EU地域内で取り扱われる電気・電子機器製品について特定の6物質の使用を禁止する指令として、RoHS（ローズ）規制（特定物質使用禁止令）があります。これに対応するため、六価クロムを含むクロムメッキの代替として各種コーティングが注目されるようになってきています。環境調和型ICFは、従来クロムメッキが使用されていた各種部品への代替として利用できるため非常に有用です。また、環境調和型ICFの摩擦係数はクロムメッキに比べ格段に低い値を示し、硬度も高いため耐摩耗性にも優れています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
イオン化蒸着法により適切な膜質制御を行うことができ、幅広い硬さと内部応力の制御、及び生体適合性の制御を行うことが可能となりました。これにより各種材料等への成膜を可能にし、生体適合性の高いコーティングとして利用が可能です。また、他の応用用途としてNi製の歯科矯正用ワイヤーも検討され、Niの溶出防止に効果があることも報告されています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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