半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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小型化により、現場での取り回しやすい環境づくりに寄与

  • その他実装機械

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アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

  • TRON 1000.PNG
  • TRON 5000 black n white.JPG
  • TRON 5000.JPG
  • CSM.JPG
  • Butyl Smooth.JPG
  • 作業用手袋

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CSM3色251110★.png

【2026年5月20日(水)~22日(金)】「インターフェックスWeek東京」出展のご案内

株式会社イトーは、幕張メッセで開催される「インターフェックスWeek東京」に出展致します。 当展示会は、世界25の国と地域から医薬品・化粧品・再生医療の研究・製造に関するあらゆる製品・サービスが出展する展示会として、日本最大の規模で開催。 世界中から医薬品・化粧品メーカー、再生医療企業が来場します。 当社ではTron Power社製「グローブボックス/アイソレーター用グローブ」を出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!

  • エッチング装置

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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送!

  • その他半導体製造装置

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カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です

  • その他半導体製造装置

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3L容器までコーティング可能!容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します

  • スクリーンショット 2021-06-23 092041.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 092049.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 092059.png
  • CVD装置

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基板温度900℃を実現!基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

  • スパッタリング装置

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高い汎用性を備えたシンプルな構造!独自のプラズマ制御方式を採用しています

  • スクリーンショット 2021-06-23 111508.png
  • CVD装置

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最高900℃の高温プロセスが可能!エピタキシャル促進機構により単結晶成膜に適した製品です。

  • 蒸着装置

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

  • スパッタリング装置

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

  • s1.png
  • s2.png
  • スパッタリング装置

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省スペースで大容量!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!

  • スパッタリング装置

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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作!

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-8654-H

  • ウエハ加工/研磨装置
  • ウエハー

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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

  • その他半導体製造装置
  • コーター

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【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います

  • その他半導体製造装置
  • コーター

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【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です

  • その他半導体製造装置
  • コーター

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【デモ機貸し出し可能!】高品質を実現した1キャリア(25枚又は13枚)処理タイプの乾燥装置

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。コンパクトな卓上型

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています

  • その他半導体製造装置

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  • その他半導体製造装置

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  • その他半導体製造装置

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φ2"~φ6"基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

  • ウエハ加工/研磨装置

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3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成!

  • その他半導体製造装置

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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

  • レジスト装置

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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

  • レジスト装置

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カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。

  • その他半導体製造装置

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●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のためスラリーが不要

  • その他半導体製造装置
  • その他加工機械

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「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

  • スクリーンショット 2021-06-23 095805.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095814.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095821.png
  • エッチング装置

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です!

  • スクリーンショット 2021-06-23 103925.png
  • スパッタリング装置

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立体物成膜での高いカバレッジを実現! 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です!

  • スパッタリング装置

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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

  • スクリーンショット 2021-06-23 095339.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095348.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095403.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095409.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095417.png
  • スクリーンショット 2021-06-23 095424.png
  • スパッタリング装置

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ダイシングソー用フランジ「ブレードホルダー」

  • ウエハ加工/研磨装置
  • ダイヤモンドカッター
  • カッター

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~Webでかんたん仕様を選べる~セミオーダーポーラスチャック

  • 半導体検査/試験装置

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吸着しながら、加熱・冷却実験が可能!!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • ボンディング装置
  • その他画像関連機器

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高画素(5M・12M・21M)SWIR帯域の撮影や各種検査用途に応用可能な画素ずらしSWIRカメラが新登場!

  • VCC-SXCXP1SW(背景あり・500).png
  • 半導体検査/試験装置
  • モノクロカメラ
  • カラーカメラ

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最大425fpsでの画像伝送に対応した2100万画素のCoaXPress-over-Fiber (CoF)カメラが新登場!

  • 半導体検査/試験装置

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小型・軽量・低価格!CXPインターフェースにより高速フレームレート・長距離伝送が可能です。

  • 半導体検査/試験装置

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2020.3月カタログ.JPG

【NEW!】CIS製品総合カタログ【2020.3月】

小型、高速、高画質、高解像度、新たなインターフェースの採用、CISオリジナル画像処理エンジン搭載など、多彩なカメラが満載! 【本誌に掲載内容】 ■CoaXpressカメラ ■CameraLinkカメラ ■画素ずらしカメラ ■ボードカメラ(GigE/USB3.0) ■アクセサリー ■セミカスタムレンズ ■自社開発技術”Clairvu”搭載カメラ ■画像処理システム開発 実例集 今までご好評頂いてきた機種に加え、新たに新製品の「50M 高画素 CXPカメラ」「25M ハイスピード CXPカメラ」「RGB+Depth情報取得可能 USB3.0 I/F ToFカメラ開発キット」「4K ハイスピード Clairvu搭載カメラ」「18倍ズームレンズ内蔵 Clairvu搭載 4Kカメラ」が登場しました! 交通監視、放送、医療、重鉄鋼系プラント、物流、ロボットビジョン、っ各種検査他、多種多様な産業用途に適したカメラが盛りだくさんです。 さらに充実した、CISのカメラを是非ご覧ください! ※その他詳しい情報や英語版カタログをお求めのお客様は弊社営業部までお問い合わせ下さい。

基板・外観検査装置などのFA用途に最適。小型・高画素・低価格で高速フレームレート・長距離伝送・多CH接続が可能なカメラシリーズ

  • VCC-5CXP7_VCC-24CXP7(1mb以下).png
  • 半導体検査/試験装置

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【NEW!】CIS製品総合カタログ【2020.3月】

小型、高速、高画質、高解像度、新たなインターフェースの採用、CISオリジナル画像処理エンジン搭載など、多彩なカメラが満載! 【本誌に掲載内容】 ■CoaXpressカメラ ■CameraLinkカメラ ■画素ずらしカメラ ■ボードカメラ(GigE/USB3.0) ■アクセサリー ■セミカスタムレンズ ■自社開発技術”Clairvu”搭載カメラ ■画像処理システム開発 実例集 今までご好評頂いてきた機種に加え、新たに新製品の「50M 高画素 CXPカメラ」「25M ハイスピード CXPカメラ」「RGB+Depth情報取得可能 USB3.0 I/F ToFカメラ開発キット」「4K ハイスピード Clairvu搭載カメラ」「18倍ズームレンズ内蔵 Clairvu搭載 4Kカメラ」が登場しました! 交通監視、放送、医療、重鉄鋼系プラント、物流、ロボットビジョン、っ各種検査他、多種多様な産業用途に適したカメラが盛りだくさんです。 さらに充実した、CISのカメラを是非ご覧ください! ※その他詳しい情報や英語版カタログをお求めのお客様は弊社営業部までお問い合わせ下さい。

USB3.2 10Gbps 500万画素 SWIRモデル

  • モノクロカメラ
  • 半導体検査/試験装置

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弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提案致します!

  • FusionScope_all_with logo.png
  • DriveAFM_with logo.png
  • DHM-R with logo.png
  • neaSCOPE_image_with logo.png
  • dmo with logo.png
  • logo_allresist_en.png
  • その他顕微鏡・マイクロスコープ
  • レジスト装置
  • 半導体検査/試験装置

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矩形・円形・異形、平面・2.5D・3D曲面など、様々な製品デザインへの適用が可能です!

  • ボンディング装置

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矩形ワークに、高精度な塗膜形成が可能!中・大型向けで、高い生産性を発揮します

  • ボンディング装置

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製造ラインでの異物混入対策に! 基材表面の異物を確実に除去します!

  • ラベル
  • コーター
  • 製袋機・スリッター

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超硬丸鋸切断機など、鋼材・加工工場の合理化設備をご提案!

  • その他加工機械
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他

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1台のYAGレーザーを、最大5系統の光出力ポートに切り替え、工程全体の柔軟化・省スペース化を実現します。

  • ボンディング装置

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プルーフテストを行わない場合は、通常の巻返機としてもご使用いただけます!

  • テスタ
  • 試験機器・装置

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半導体の構造観察や不良解析における断面作製!FIBやCPに劣らぬ断面作製が可能

  • ウエハ加工/研磨装置

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?sensor parts.png

機械研磨によるトラッキングカメラ断面観察

「機械研磨によるトラッキングカメラ断面観察」についてご紹介いたします。 トラッキングカメラ部品構造について、部品を上から見るとレンズが確認でき X線像では明確には確認できないが凸部にレンズが組み込まれています。 また、断面構造はRGBセンサと同じく裏面照射型CMOS構造をしていますが、 トラッキングカメラに色情報は不要なため、カラーフィルタ層はなし。 フォトダイオード表層の形状にギザギザ状の凸凹形状が観察されました。

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