半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

データがなくても、マスクから設計データを復元します！お困りの場合は、是非一度ご相談ください

• フォトマスク
• その他半導体
• その他受託サービス

様々な現場で使われるフォトマスク。お客様のニーズに合わせた好適な製品を提供します

• フォトマスク
• その他半導体

レーザー、フォトICなど、光デバイス業界の主要メーカーの実績が多数あります！

• フォトマスク
• その他半導体

今さら聞けない！フォトマスクとは？から、用途や製造工程をご紹介！長年の歴史と先端技術があるから、信頼性が高く高精度を実現できます

• フォトマスク
• その他半導体

アルミ加工・アルミ切削加工

• 半導体検査/試験装置

切れ味を戻したい！精度を上げたい！などのお悩みを再研磨で解決！最短2日で仕上げることも可能！当社が再研磨を行った製作事例をご紹介

• ウエハ加工/研磨装置
• その他研磨材
• 表面処理受託サービス

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低ダメージ、高クリーン度を実現しました。

• 超音波洗浄機
• その他半導体製造装置

当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております！

• その他半導体製造装置
• 管継手
• その他機械要素

省エネ＆大風量で 工場内の微細な塵もしっかり捕集

• 溶接機械
• ウエハ加工/研磨装置
• 換気・排気

0.7µmの光学解像度を達成！

• ボンディング装置

試作開発から量産対応まで！製造技術で高歩留りを確保

• ボンディング装置
• その他

多工程を一つの装置で！ 0.5µmのボンディング位置精度！

• ボンディング装置

サブミクロンの位置精度！1000Nまでの高いボンディング荷重！

• ボンディング装置

0.5µmのボンディング位置精度！

• ボンディング装置

バルブ用メカニカルシール、建設機械用部品、難切削材料等のラッピング加工に好適！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

高度な平坦度・表面粗度仕上がりを実現する卓上型ラッピングマシーン！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

スタンダードタイプの実用汎用ラッピングマシーン！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス

• スパッタリング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

お客様の作業方法、作業場の広さに合わせた設計を行い溶接作業場全体の換気を改善！【特化則改正に対応・健康障害防止対策】

• 溶接機械
• ウエハ加工/研磨装置
• 空調

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

• エッチング装置
• 蒸着装置
• その他表面処理装置

HFC冷媒ガス無使用

• 蒸着装置

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプルテストで開発サポート。コンパクトタイププラズマ表面処理装置

• プラズマ表面処理装置
• CVD装置

カウフマン&ロビンソン社製の各種グリッドイオンソースの仕様を掲載しています

• その他半導体製造装置

表面処理とは、基材表面に加工を施し、基材そのものにはない様々な特性を付与することを表面処理といいます。

• その他
• エッチング装置
• 分析機器・装置

フッ素樹脂（別名：テフロン）とは、様々な特性があるが、一言でいうと熱に対して特に安定しています。

• その他
• エッチング装置
• 分析機器・装置

研磨加工、ウェハ検査に対応可能！新しいテープやお客様のご要望に合わせて開発

• 非鉄金属
• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体

平面・平行・直角が「もの作り」の基本！ご要望に忠実な金型、治工具、産業機器づくりを致します

• 金型設計
• プレス金型
• その他半導体製造装置

FANUC旧機種のPMC-ROMデータが消えると、設備が長期使用不能になります。予防保全の一環としてバックアップの作成を！

• その他工作機械
• その他加工機械
• その他半導体製造装置

塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター

• コーター

ダム材とフィル材をそれぞれディスペンス塗布し、大気中で貼り合わせを行う装置

• ディスペンサー
• ボンディング装置

OCRを使用したオプティカルボンディング用の量産装置です

• ボンディング装置

OCRを使用したオプティカルボンディング用の量産装置です。

• ボンディング装置

産業用途向けにノイズ耐量を強化！フロッピーディスクドライブの代替品として動作実現します

• 半導体検査/試験装置

最大4インチ角基板対応 手動露光機

• ステッパー
• 紫外線照射装置

最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応露光装置

• ステッパー
• 紫外線照射装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方対応 。CE獲得輸出用機器向き

• その他半導体製造装置

InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社、ウェーハマーキング装置をグローバルに提供し続けています。

• ウエハ加工/研磨装置

研磨量を精密にコントロール！微細穴の内面まで電解研磨を施す事が可能！

• その他表面処理装置
• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

SUS316Lの表面に緻密な酸化クロム皮膜を形成！HF、HClに対しても優れた耐食性が得られます

• その他半導体製造装置
• 表面処理受託サービス
• 加工受託

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金属汚染を抑えられ先進プロセスでの製品品質・歩留まりが改善！

• その他半導体製造装置
• 表面処理受託サービス

一番の目的は研削工程の自動化！人手作業からの研削・良否検査・種別排出全自動装置

• その他機械要素
• ウエハ加工/研磨装置

「新規作成時の受入れ確認」が課題となっていた課題解決事例をご紹介します！

• その他洗浄機
• その他理化学機器
• フォトマスク

銅・鉄（ハイテン）・アルミ銅・マグネシウムなどの金属材料対応OK！凸凹形状をはじめとした様々な形をご要望に合わせてお応えします。

• その他工作機械
• ウエハ加工/研磨装置

6インチウェハに対応したブレーク装置をご紹介します！

• その他半導体
• その他半導体製造装置

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

• 紫外線照射装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。 樹脂にあわせた３種類のランプをご提供します。

• その他半導体製造装置
• プリント基板
• レンズ

ディップコーター　Nシリーズ（精度　1ナノ／毎秒）

• その他塗装機械
• その他加工機械
• コーター

ディップコーター　Fシリーズ（精度　1mm／毎秒）

• その他塗装機械
• その他加工機械
• コーター

ディップコーター　Ｍシリーズ（精度　1マイクロ／毎秒）

• その他塗装機械
• その他加工機械
• コーター

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへの試料の移載が可能

• スパッタリング装置

ほぼ理想的な混合物が作成可能！直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

• スパッタリング装置

自社設計〜組立まで一貫生産が可能！

• 機械設計
• その他半導体製造装置

ユーザーの仕様に合った様々なワークに開発段階から製作する事が可能です

• ウエハ加工/研磨装置

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術から生まれたイオンプレーティング

• 加工受託
• その他半導体製造装置
• 表面処理受託サービス

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

• ウエハー
• CVD装置
• 加工受託

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

• 加工受託
• ウエハー
• スパッタリング装置

長時間の研削、研磨作業に最適なフレキシブルサンダー！

• 研削盤
• 塑性加工機械(切断・圧延)
• ウエハ加工/研磨装置

不良及び結晶欠陥の解析に有効！幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備

• その他計測・記録・測定器
• 半導体検査/試験装置

PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定！オプションにより表面抵抗測定可！

• その他計測・記録・測定器
• 半導体検査/試験装置
• その他検査機器・装置