エッチング装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置
• レジスト装置
• 酸化/拡散装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力を精度よくコントロール

• エッチング装置

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• エッチング装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

• めっき装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去！

• エッチング装置
• ドリル
• 乾燥機器

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

微細加工

• エッチング装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工！プロセスガスからラジカルを選択的に生成

• エッチング装置

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置

• エッチング装置
• その他理化学機器
• プラズマ発生装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

• 熱交換器
• エッチング装置
• ウエハ加工/研磨装置

投げ込みタイプ

• 熱交換器
• エッチング装置

シリンダヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

薬液ヒーター　フランジタイプ

• 加熱装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

間欠供給薬液恒温装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

化学研磨ライン、ハンダ剥離ライン、乾燥機・水洗機など！さまざまなコンベア処理ラインのご紹介

• エッチング装置
• その他表面処理装置
• コンベヤ

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

• エッチング装置
• その他機械要素
• その他表面処理装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中

• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

プラスチック成形品の製造ロット管理に新方式！

• エッチング装置
• その他作業工具

UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。　

• ケーブル
• エッチング装置
• その他ネットワークツール

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

• 蒸着装置
• その他半導体製造装置
• エッチング装置

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置

• エッチング装置

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大1500mm X 3000mmの超大型エッチングも対応！

• エッチング装置

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

• エッチング装置

通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫、国内アッセンブリでご提供致します。　

• ケーブル
• エッチング装置
• その他ネットワークツール

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

• CVD装置
• エッチング装置
• コンデンサ

エッチング液は全て、ノウハウによる社内ブレンド！

• 加工受託
• エッチング装置

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

• ウエハー
• エッチング装置
• 工業炉

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

• コーター
• エッチング装置
• 基板加工機

シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定

• 光学測定器
• エッチング装置

バキュームノズルで薬液溜りを解消します

• エッチング装置

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪ タッチパネル制御で簡単にお使い頂けます。

• エッチング装置

有機・無機問わず高いエッチング効果！

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

エッチング処理（網）を施している航空機部品をご紹介！

• エッチング装置
• その他表面処理装置
• その他

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

• コーター
• レジスト装置
• エッチング装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処理炉

• 工業炉
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

安定した量産、低価格！基板へのインパクトが低い、エッチング装置

• エッチング装置

高いメンテナンス性！エッチング均一性・パターン精度が向上した、エッチング装置

• エッチング装置

高いエッチング均一性！特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました

• エッチング装置

現像機等で発生する泡の液化処理に！基板品質の向上を実現する泡処理装置

• エッチング装置
• その他水処理装置

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。

• CVD装置
• エッチング装置
• 液晶ディスプレイ

低圧動作のECR型アトムソース

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。

• 基板加工機
• エッチング装置

スリットバルブシール

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

• 酸化/拡散装置
• CVD装置
• エッチング装置

加工の一体化的な装置化！自動切断による生産効率を向上したレーザーシステム

• 基板加工機
• タッチパネル
• エッチング装置