LDI-MS(レーザー脱離イオン化質量分析法)の概要と特徴
LDI-MSとMALDI-MSの違いについて
LDI(レーザー脱離イオン化法)とは、紫外レーザーのエネルギーのみを利用して分子を昇華・イオン化させる方法です。一方のMALDI(マトリックス支援レーザー脱離イオン化法)はマトリックスと混合した試料に紫外レーザーを当てることで分子を昇華・イオン化させる方法です。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
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LDI-MSとMALDI-MSの違いについて
LDI(レーザー脱離イオン化法)とは、紫外レーザーのエネルギーのみを利用して分子を昇華・イオン化させる方法です。一方のMALDI(マトリックス支援レーザー脱離イオン化法)はマトリックスと混合した試料に紫外レーザーを当てることで分子を昇華・イオン化させる方法です。
TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。不純物や付着物により生じるセラミックスの変色評価には、着目箇所について有機物・無機物を問わず微量成分のイメージング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。 本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:製造装置・部品 分析目的:組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能
セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。その表面状態は日用品や電子部品などの材料の性質・性能に大きく影響しています。そのため、セラミックスの機能を判断するうえで、表面状態を適切に評価することは重要です。 本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:製造装置・部品 分析目的:定性・分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
再現性の高い不純物量評価が可能です
半導体デバイスの製造において、ドーパント等の不純物の制御は重要な工程となります。 イオン注入に着目した場合、僅かな差が品質や性能に影響を及ぼすため、正確な制御が必要となります。SIMS分析の高い再現性は、それらの開発・維持管理に最適です。
フッ素系グリース、フッ素系潤滑剤、フッ素系オイル等の構造解析
フッ素系の高分子材料は化学的安定かつ様々な特性をもち、産業機械や半導体、エレクトロニクス分野で幅広く使用されています。LDI-MS(レーザー脱離イオン化質量分析法)は分子量数千程度のフッ素系ポリマーを分子のままイオン化できる分析手法であり、フッ素系ポリマーの繰り返し単位と分子量を把握し、末端基組成や構造を推定することが可能です。本資料では、潤滑剤や熱媒体などの基油として使用されるパーフルオロポリエーテル(PFPE)を構造解析した事例を紹介します。 測定法:MALDI-MS 製品分野:高分子材料 分析目的:組成評価・同定、化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
TD-GC/MSにより部材に付着した微量の有機汚染を分析します。
精密機器や真空装置、半導体製造装置においては、用いられる部材の汚染により製品の品質や装置の安定稼働に悪影響を及ぼすことがあります。本事例では種類の異なる使い捨て手袋でガラス部材を扱い、ガラス部材に付着した有機汚染を発生ガス濃縮装置を用いたGC/MS分析によって分析しました。部材の汚染を評価することで、不具合の原因となる部材の特定や部材汚染の原因の除去、部材変更の検討などに役立てることができます。
成分および深さ方向分布評価が可能
ペロブスカイト太陽電池は、フィルム状で優れた変換効率を有し、低コストで製造できることから、実用化に向けた研究開発が盛んに行われています。 HTM層(ホール輸送層)の成分分析や主成分、ドーパント、不純物の深さ方向分布評価には、TOFSIMS(飛行時間型二次イオン質量分析法)が有効です。本資料では、HTM層からペロブスカイト層までの深さ方向分析を実施した事例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:太陽電池 分析目的:同定、分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。
? O-PTIRは以下の特徴があります。 ? 空間分解能(最大空間分解能:1μm以下)での評価が可能なため微小領域でのスペクトル測定・イメージ測定が可能 ? 薄片化不要(異物試料等、薄片化が困難な試料に有効) ? 基本的には非破壊での測定が可能 ? FT-IRのライブラリーを使用することで同様の解析が可能
目的成分やイメージ ング視野の大きさなどに応じて、両手法を使い分けることが有効です
代表的な固体試料表面の質量分析法であるTOF-SIMSとMALDI-MSでは、ともに定性分析やイメージン グ分析が可能です。ハードイオン化法を利用するTOF-SIMSでは、質量が数百までの無機・有機成分を 高感度に検出できます。一方、ソフトイオン化法を利用するMALDI-MSでは、数千~数万の高分子を検 出できます。また、照射ビームの径に依存してイメージの空間分解能も異なります。
有機成分および活物質表面の分布評価、定性分析
リチウムイオン二次電池の正極表面における成分の偏析や被膜の形成は、電気容量に影響する一因と なります。正極として用いられるLi(NiCoMn)O2(NCM)について、AESによる微小領域マッピングおよびXPS、TOF-SIMSによる有機成分(バインダー)や活物質表面被膜の定性分析を行った事例を紹介いたします。これらの手法では、測定までの一連の処理をAr雰囲気下で行い、試料の変質を抑えた分析が可能です。
官能基の変化を捉えることでUV硬化樹脂の硬化度を評価可能です
耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤 として利用されています。FT-IR(フーリエ変換赤外分光法)は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。 一例として、UV硬化樹脂(紫外線硬化樹脂)の硬化度を評価した事例をご紹介します。 接着剤における紫外線照射時間の検討や、製品に剥離が発生した際の硬化状態の評価に有効です。
最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です
XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に 適しています。
重量分析
木質バイオマスの主成分は、セルロース、ヘミセルロース、リグニンから構成されており、その構成割合は元となる植物種によって異なります。これら3種の成分の構成割合は、試料にKlason法やWise法などの特定の化学処理を施し、その重量を量ることで評価できます。MSTでは以下の分析フローにしたがい、木質バイオマス中の主成分割合を算出します。
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。
引張応力ごとの三次元構造変化を評価可能
in situ X線CT測定では、試料に負荷(引っ張りもしくは圧縮)を印加した状態で内部構造分析を行うことが可能です。本資料では、アルミニウム板を試料として、通常状態と引き伸ばした状態においてin situ X線CT測定を実施しました。そして、試料にかかる引張応力を計算し、各応力条件ごとの内部構造変化をモニターしました。 in situ X線CT測定と画像解析技術を組み合わせることで、従来では評価が困難であった実使用条件下 での評価や応力による製品への影響の評価が可能です。