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セラミックスの昇温脱離ガス分析
熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような部材が昇温された際に発生するガスは製品や装置に悪影響を及ぼすことがあるため、部材からの脱ガスについて把握しておくことが重要です。今回、多孔質と緻密質のα-アルミナについて、TDS分析（昇温 脱離ガス分析法）を行い、脱ガス量について比較した事例をご紹介します。
試料の切断加工から変色・腐食の原因調査までワンストップで対応します
様々な分野で使用されるSUS等の金属製配管の内壁は、流入する気体や液体と反応して変色や腐食 が発生し、設備の機能低下の原因となります。変色・腐食の生じやすい位置やその原因を把握すること は、設備保全において重要な課題です。MSTではこのような評価を、試料の切断加工から分析まで一貫 してお引き受けします。本資料では真空装置に用いられていたSUS製配管の内壁に見られた通常部位 と変色部位について、XPS分析を行った事例を紹介します。
めっきなどの膜中・界面の不純物をTOF-SIMSで評価できます。
成膜装置部品、ターゲット材、めっき液などからデバイス中に不純物が混入し、悪影響を与えるため、表面、膜中や界面の不純物の定性評価が重要です。TOF-SIMSでは下記3つの特徴から一度の測定で表面、膜中や界面に存在する未知の元素を高感度に評価することが可能です。 1. 金属元素の場合、一度の測定でm/z 1から800のイオンを同時に検出できること 2. 数ppmの検出感度が得られること(材料・各イオンにより変動) 3. スパッタガンを用いることで深さ方向の分布を評価できること
特定フロン(CFC/HCFC)や代替フロン(HFC)の定性分析が可能です。
フロンガスは化学的に極めて安定、かつ、人体への影響が小さいといった性質から、冷媒、発泡剤、半導体、及び、精密部品の洗浄剤など、様々な用途で活用されています。その一方で、オゾン層の破壊や地球温暖化につながる物質であるため、法律で規制されています。本事例では、GC/MSにてフロンガスを分析し、PFCの中でも極性が低く分離が難しいCF4の分離分析を行いました。GC/MSを用いることにより、特定フロンのCFC、HCFCや、代替フロンのHFC、PFCを定性的に分析することが可能です。
定性・半定量分析にて一度に多くの金属元素情報を取得することも可能！
弊団では、Siウエハ表面の金属汚染分析を承っております。 ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染分析の目的には、Siウエハ自体の 汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の 評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。 ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、 さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。 【測定法・加工法】 ■[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
オイルによる汚染が疑われる場合に、オイル種を区別して発生源の推定が可能！
弊団では、石油製品の組成同定、分子量分布の評価、オイル種類の区別が 可能です。 オイル、グリース等の石油製品は様々な組成の炭化水素の混合物であり、 その定性分析にはGC/MS法が有効。ここでは、分子量分布の異なる 市販のオイルをソフトイオン化法で測定した事例を紹介します。 ハードイオン化法(EI法)に対して、ソフトイオン化法(FI法・FD法)では 分子イオンの検出が可能であり、オイル成分の組成評価に有効です。 特にFD法では揮発しにくい高分子量の成分を含むオイルの評価にも 適用することができます。 【測定法・加工法】 ■[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
測定と計算を組み合わせた解析により構造異性体の識別が可能です！
弊団では、量子化学計算による有機分子のNMR化学シフトシミュレーションを 行っております。 有機分子の異性体構造の決定は天然物化学や創薬化学などの分野において、 非常に重要な課題。核磁気共鳴分析(NMR)の測定結果と量子化学計算による NMR化学シフトシミュレーション結果を組み合わせることは、構造-化学 シフト相関を調べるためのモデル化合物が無い新規化合物の構造解明や 特性評価に役立つと考えられます。 本事例では生物活性を有するキノキサリンの誘導体を対象に、 構造異性体の識別を紹介します。 【測定法・加工法】 ■[NMR]核磁気共鳴分析 ■計算科学・AI・データ解析 ■その他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【技術資料無料プレゼント】原材料の品質管理をスマートに。
製品の製造現場において、品質管理は重要課題のひとつと言えます。 その目的は、製造工程でのトラブルを未然に防ぎ、最終製品に対して常に 一定レベルの品質を保証することにあります。 こうしたニーズに対して、赤外分光法は、スピード、操作性、信頼性、 どれを取っても好適な分析手法のひとつと言えます。 当資料では、当社のコンパクトFT-IR「ALPHA」と、付属の 「OPUS/QuickCompare」ソフトウェアに含まれるQuickCompare機能を 用いた、原材料の判別分析についてご紹介しています。 【掲載内容】 ■はじめに ■赤外スペクトルと品質管理 ■ALPHAによる品質管理 ■QuickCompare機能を用いた判別分析 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
不均一系試料に関する化学的評価を簡単かつ正確に行うことが可能です
『LUMOS II』は、顕微赤外分光やイメージング解析をより簡単に、 より迅速に、そして快適に進めることか可能です。 透過、反射、ATR（全反射吸収）、すべての測定モードにおいて 高い性能を発揮。 長作動距離の対物鏡によりアクセスが容易で、動作のすべてが 電動化された自動試料ステージも特長のひとつです。 【特長】 ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微小物分析でお困りごとはございませんか？『LUMOS II』が解決いたします！
微小物分析でお困りごとはございませんか？ ・液体窒素の用意ができない、面倒だ 『LUMOS II』は【液体窒素不要】電子冷却式MCT検出器搭載のため、液体窒素は不要です。 ・初心者でも簡単に使える顕微IRが欲しい 『LUMOS II』は【完全自動化オペレーション】のため、初心者の方にもご利用いただけます。 他にも… ・もっと画像のキレイな顕微IRはないか ・高速イメージング機能を使用してみたい など 『LUMOS II』は、顕微赤外分光やイメージング解析をより簡単に、 より迅速に、そして快適に進めることか可能です。 長作動距離の対物鏡によりアクセスが容易で、動作のすべてが 電動化された自動試料ステージも特長のひとつです。 【特長】 ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング
【高速イメージングおよび高速マッピング機能搭載】FTIRイメージングをこれまで以上に迅速・快適・正確に！
『LUMOS II』は、高速イメージング対応FPA検出器です。 初心者から上級者まで、分析スキルのレベルに関係なくどなたでも使えるガイド機能付きのため、 スキルのレベルに関係なくすべてのユーザーに迅速・快適・正確にご利用いただけます。 また、イメージングはすべての測定モードにおいて実行することができ、 錠剤、高分子材料、汚染物質の分散状態など、 不均一系試料に関する化学的評価を簡単かつ正確に行うことが可能です。 【特長】 ■高速イメージングおよび高速マッピング機能：広域を短時間でカバー ■先進のFPAによる卓越したイメージング性能 ■高品位なスペクトルおよびイメージデータ ■透過、反射、ATR、すべての測定モードに対応するFTIRイメージング ■液体窒素なしでも高感度測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低容量・高速置換ガスセル！校正不要でバックグラウンド測定無しで測定可能です
『MATRIX-MG5』は、RockSolid干渉計を搭載した広い測定濃度範囲の製品です。 校正は不要で、コンパクトかつ堅牢な筐体。バックグラウンド測定無しで 測定が可能です。 また、当製品のソフトウェア「OPUS GA」は、プロセスモニタリングに 最適化したユーザーインターフェースを装備し、プロセスガス計測結果を トレンドチャート画面で瞬時に把握、計測結果と吸収スペクトルとの相関を スペクトル画面で解析が可能です。 【特長】 ■RockSolid干渉計搭載 ■校正不要 ■バックグラウンド測定無しで測定可能 ■簡単操作およびメンテナンス ■広い測定濃度範囲 ■コンパクトかつ堅牢な筐体 ■低容量・高速置換ガスセル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
EU欧州連合における段階的自動車排出ガス規制「EURO6」測定試験で検証されました
EU（欧州連合）にて実施されている、段階的な自動車排ガス規制「EURO6」をご存じですか？ ブルカーの高性能FT-IRガス分析装置「MATRIX-MG」は、そのEURO６の実際の測定試験にて検証されました。 車の荷台に積めるコンパクト設計なボディに、他の追随を許さない高分解能を搭載したFT-IRガス分析の最高峰装置をご紹介いたします。 ■MATRIX-MGの特長 ・ガスの定性および定量を高速・連続・自動で実現 ・卓越した感度と、数ppbから 100 % まで対応する ・広い検出可能レンジ ・ターゲットガスへの校正が不要 ・簡単操作、イージーメンテナンス ・大気中のガスや干渉成分の影響を自動補正 ・191℃まで加熱可能な温調機能付ガスセル ・ガスセル内の温度と圧力を連続モニターし、定量解析にフィードバック ・測定結果を産業用通信インターフェースに出力可能
■アンモニア測定■低濃度～高濃度までフルレンジで測定可能！
アンモニアの低濃度から高濃度までフルレンジで測定可能な分析装置は、今までほとんどないと言われていました。 ブルカーの装置は、フルレンジ測定に対応しています。 【OMEGA5】 19インチラック対応のコンパクトボディに、工業用ガスの測定に 適した光路長5mの多重反射型ガスセルを搭載したガス分析用FT-IRシステムです。 ガス濃度を高精度かつリアルタイムで自動的にモニタリングできるように設計され、 さまざまな分野への応用が可能。 OMEGA5は、運用やメンテナンスを含む全般のコストの低減を 実現しています。 【MATRIX-MG】 ガスの定性および定量を高速・連続・自動で実現！測定結果を産業用通信インターフェースに出力可能 『MATRIX-MGシリーズ』は、堅牢性とコンパクトデザインを特長とする 高性能FT-IRガスアナライザーです。 さまざまな分野のガス分析において、対象ガス中の各成分と濃度を 高精度かつリアルタイムで自動分析できるように設計されております。 300種類以上の化合物を校正測定なしで同定・定量することができます。
