SiO2 成膜の製品一覧
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Si基板上のSiO2膜の電気特性と膜質を、成膜方法ごとに詳細に調査した。
- 受託解析
- 受託測定
- 技術書・参考書
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
- CVD装置
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パラメータによる比較評価、膜厚測定などにも対応可能
- その他表面処理装置
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
- CVD装置
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
- CVD装置
MEMS Engineer フォーラム 2025 出展いたします
MEMS Engineerフォーラムは、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術のキープレイヤーの中でもエンジニアを中心に運営されるユニークなフォーラムです。 世界中のMEMS研究者、開発者、技術者が一堂に集うこのフォーラムの技術展示会にて、Plasma Quest Ltd.社製 リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置のご紹介と技術展示をいたします。 弊社展示のみならず、MEMSに関する最先端の技術をご覧いただける絶好の機会でございます。ぜひ足をお運びいただきたくご案内申し上げます。 会場： 国際ファッションセンター ホール 〒130-0015 東京都墨田区横網1-6-1 国際ファッションセンタービル アクセス https://www.tokyo-kfc.co.jp/access/ 展示製品： Plasma Quest Ltd. 社製 リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置 https://mono.ipros.com/product/detail/2001148974 https://www.plasmaquest.com/
ALDでは難しいと言われている低温(室温)＆大気圧中で粉体成膜が可能！
- プラズマ表面処理装置
- 表面処理受託サービス
- その他半導体製造装置
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
- CVD装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニットも装備可能 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuなど成膜が可能
- その他表面処理装置
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conferance (PVSED-33)にオンライン出展いたします。
2022 年11月13日から17日まで日本の名古屋国際会議場で開催される第 33 回国際太陽光発電科学技術会議 (PVSEC-33) にオンライン出展いたします。 PVSEC-33は、2022 年にアジア太平洋地域で最大かつ最も包括的な 太陽光発電に関するカンファレンスになります。 世界の太陽光発電科学者やエンジニアが太陽光発電技術の最新の開発を紹介し、共有する国際会議にて、弊社取り扱い米国Arradiance社製卓上型サーマル／プラズマ式ALD装置をご紹介いたします。 そのほか、デンマークNIL Technology社製簡易型熱ナノインプリント装置CNIツールやドイツ MicroResist Technology社製レジストのご紹介も致します。 ご興味ございましたら、ぜひ弊社オンラインブースへお問い合わせください。 また弊社HPからのお問い合わせもお待ちしております。 http://www.htlco.co.jp/
★従来の透明導電膜と太陽電池層の作成法を完全に捨て 原材料をガラス基板に塗布してレーザーで加熱・焼結する方法とは!
- 技術セミナー
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
- CVD装置
1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハやサファイア、ゲルマニウム、化合物半導体も対応可能。
- その他半導体
- 加工受託
- ウエハー
3インチ～12インチまで少量対応が可能です。 仕様により高抵抗基板・高抵抗活性層でのSOIウェーハも対応可能！
- その他半導体
- 加工受託
- ウエハー
分析のご依頼もお任せください！『分析機器一覧表』無料ダウンロード！
薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、 光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 東邦化研では「イオンプレーティング部」「材料解析部」「環境分析センター」といった三事業を柱としていることから、幅広い分析機器を保有しております。 薄膜コーティングの依頼と併せて、分析・評価まで対応可能です。 薄膜コーティング以外の”検査・分析のみ”のご案件も承っておりますので、まずはお気軽にお声掛け下さい！
防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティング。薄膜透明の膜を常温処理で成膜。医療や電子部品を守ろう。
- その他電子部品
- 表面処理受託サービス
- プラズマ表面処理装置
フッ素樹脂コーティングの代替に“Coat-X”。“Coat-X”はフッ素樹脂コーティングの絶縁・防水・防湿性能を厚さ1μmで実現できる多層コーティングPPX（ポリパラキシリレン）の被膜です。用途に応じて膜厚は厚くも薄くも可！お気軽にお問い合わせください。
スイス発のCoat-X社開発の独自技術を用いた通常のPPXコーティングとは違うコーティング！ Coat-Xのコーティングの特徴は防水・防湿、生体適合性、絶縁性といった強みのある被膜です。さらに薄膜での成膜ができるため、多種多様な用途に対応ができフッ素樹脂コーティングの代替としても使用されます。今回は弊社のPPXコーティングは絶縁性も持ち合わせていることをご紹介致します。 目的に応じ適切なコーティングを提案させていただきます。また、試作品も承りますので、お気軽にご相談ください。
複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。またガスバリア性に優れた薄膜が得られます。
- 真空機器
- その他半導体製造装置
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(第13回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議）
The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(第13回スパッタリング&プラズマプロセス国際会議)の併設のパネル展示コーナーにて、ALD装置とGCIB装置を紹介します。
【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能CVD装置
- CVD装置
- アニール炉
- 加熱装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
防水・防湿はもちろん、絶縁、耐熱、耐薬品性能も持ち合わせているPPXコーティング！薄膜で様々の物から防げる優れたコーテイング
- コーティング剤