半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案!デモキット無料貸出。

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  • その他安全・衛生用品

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半導体・医療機器分野に求められる高清浄度に対応。精密洗浄から包装・組立までを一貫してクリーン環境で行います。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • レジスト装置

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薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

  • その他の各種サービス
  • 加工受託
  • エッチング装置

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スラリー不使用 濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置(エッジポリッシュ)

  • その他半導体製造装置

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柔軟性、コンパクトな設計、および低い投資コスト!少量生産に理想的な選択肢

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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試料マトリクス変化に対し、感度係数とスパッタリングレートを全深さで補正し、高精度・深さ方向プロファイル分析

  • 受託解析
  • 二次イオン質量分析装置
  • イオン注入装置

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業界で非常に低いRcのシステム設計と最高レベルのウェーハ間再現性!

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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PLP向けにより高い生産性!より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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さまざまなチャンバーサイズやプロセス・自動化を選択可能なBAK蒸着プラットフォームをご紹介

  • 蒸着装置

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各種半導体部品・電子部品の組立工程や基板への実装工程における様々な接合強度試験に一台で対応できる!

  • テスタ

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万能型ボンドテスターDAGE4000がデザインも一新され、より高精度により多機能になって、生まれ変わりました!

  • テスタ

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数多くの特許を取得した独自のLED UV硬化ソリューション!エレクトロニクス、工業、医療、光学などにUVによる樹脂の硬化を応用!

  • その他半導体製造装置
  • LEDモジュール
  • 紫外線照射装置

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UV LED製品を拡充、多様化する紫外線硬化へのニーズに対応強化

エクセリタスノーブルライトジャパン株式会社(本社:東京都文京区、代表取締役社長:鈴木 将彦、 以下 当社)は、紫外線硬化用光源の一つであるUV LEDの製品ポートフォリオを拡充し、新たな成長分野へ紫外線硬化プロセスソリューションの提供を強化していきます。 当社は、2024年1月に米国に本社を置くエクセリタステクノロジーズ社(以下 エクセリタス)に吸収 合併されたことを受け、前身であるヘレウスノーブルライトジャパン株式会社およびフォセオンテクノロジージャ パン株式会社、そしてエクセリタスが取り扱ってきたUV LED製品を取り扱っています。これらの製品は、 ラインおよびエリア照射用からスポット照射用まで、冷却方式を問わず幅広いUV LED 光源ラインアップと なっています。市場からの要求はますます多様化しており、当社はこのような製品拡充によって、広範な 業界に対して一層細やかな提案ができる体制を確立いたしました。

コーターヘッド(スロットコート)塗布装置でum単位での薄膜塗布を実現

  • コーター

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FIBによる高品質な回路加工、配線加工サービスを提供します。高い加工歩留りを実現しています!

  • 半導体検査/試験装置
  • 半導体・IC
  • マイクロコンピュータ

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半導体メーカの供給停止、自動車産業EV化、5G通信普及。 急遽必要になった代替品評価、真贋判定のための評価、故障解析に追いついていますか?

5G通信の普及、自動車業界のEV化、某半導体メーカーに代表される米中貿易摩擦の激化によるメーカーの供給停止、新型コロナウイルス感染拡大の影響によるデジタル製品の急増等、様々な社会現象が半導体の需要を高めています。それらに伴い半導体供給リスクの加速が進んでいます。 新規品の採用に加え、既存品・流通品の評価も必要・・・、新規採用・製品評価にかかわる人員は限られてる。こんなお困りごとはありませんか? ・半導体部品を採用評価するノウハウがない ・代替品の評価をしたいが人や設備が足りない ・在庫品、市場品を使用したいが信頼性に不安がある ・納入された半導体製品が、偽造品なのか正規品なのかわからない ユーロフィンFQLでは、長年の部品評価、故障解析にかかわった経験を活かし、半導体の評価はもちろんのこと、故障解析を受託しています。また、偽造品、模倣品や長期保存品の使用を判断するための真贋判定の一助となる、流通品評価も受託致します。是非お問い合わせください。

イオンクロマトグラフで中和とマトリックス除去を伴う濃縮工程を自動化して半導体製造で使用する高純度水酸化アンモニウムの不純物を測定

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  • 分析機器・装置
  • イオンクロマトグラフ
  • 半導体検査/試験装置

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S45C調質を高精度なCNC切削技術によって加工。半導体製造装置向けのリング部品を製作

  • その他半導体製造装置
  • 加工受託

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SUS304ステンレス材をNC旋盤・マシニングセンタ・円筒研削などを駆使し、半導体製造装置向け高精度リング部品を製作

  • その他半導体製造装置
  • 加工受託

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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar)

  • アニール炉
  • 加熱装置
  • 電気炉

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4元マルチスパッタ装置 【MiniLab-S070】

Φ2inchカソード x 4搭載 同時成膜:3元同時成膜(RF150W or DC780W)+ HiPIMS(PulseDC 5KW) x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF150W(メインチャンバー) + <30Wソフトエッチング(LLチャンバー) 基板加熱:Max500℃, 800℃, 又は1000℃(C/C、又はSiCコート) 基板回転・上下昇降(ステッピングモーター自動制御) APC自動制御:アップストリーム(MFC流量調整)又はダウンストリーム(排気側バルブ自動開度調整) デポレート・膜厚レート制御 寸法:1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。

はんだ天秤や撹拌機などの電子実装製品や、はんだ付け装置、半導体装置などを取扱い!

  • はんだ付け装置
  • その他半導体製造装置

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両面実装基盤の表面のみ検査が可能!3D断層検査にも対応 ※詳細解説資料進呈

  • 半導体検査/試験装置
  • X線検査装置

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シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ボイドを自動で検査!

  • 半導体検査/試験装置
  • X線検査装置

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X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持った解析用X線観察装置

  • 半導体検査/試験装置
  • X線検査装置

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ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置

  • 半導体検査/試験装置
  • X線検査装置

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超仕上げ加工の自動化・粗さの均一化に。用途や形状に合わせて外径・内径・端面などの研磨装置をご提案

  • ウエハ加工/研磨装置

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今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧ソリューションを提供いたします。

  • 丸型コネクタ
  • その他コネクタ
  • 電子ビーム描画装置

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非常に多用途!輝くエッジ、完璧な仕上がり、短い処理時間を保証

  • ウエハ加工/研磨装置

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平面および成形エッジ用の汎用性の高い完全電動ソリューション!

  • ウエハ加工/研磨装置

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高品質の仕上がりと一貫したパフォーマンスを保証!優れた出力を備えた石研磨機

  • ウエハ加工/研磨装置
  • 石材加工機械

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縦方向に鮮やか!大理石や花崗岩の直線エッジを精密に垂直研磨

  • ウエハ加工/研磨装置

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石材研磨における精度、効率、信頼性の独自のソリューション

  • ウエハ加工/研磨装置
  • 石材加工機械

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透明素材にも対応する高精度検査装置

  • 半導体検査/試験装置

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【展示会情報】『SEMICON JAPAN 2025』に出展します

半導体産業における製造技術、装置、材料の国際展示会である SEMICON JAPANにクボタの半導体検査装置を出展致します。 弊社スタッフ一同、ご来場を心よりお待ちしております。 【出展情報】 開催日時:2025年12月17日(水)~19日(金) 10:00~17:00 会  場:東京ビッグサイト 小間位置:W1963 ※ご来場には事前登録が必要です。  登録方法はSEMICON JAPANホームページをご確認ください。

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

  • 半導体検査/試験装置

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【展示会情報】『SEMICON JAPAN 2025』に出展します

半導体産業における製造技術、装置、材料の国際展示会である SEMICON JAPANにクボタの半導体検査装置を出展致します。 弊社スタッフ一同、ご来場を心よりお待ちしております。 【出展情報】 開催日時:2025年12月17日(水)~19日(金) 10:00~17:00 会  場:東京ビッグサイト 小間位置:W1963 ※ご来場には事前登録が必要です。  登録方法はSEMICON JAPANホームページをご確認ください。

レビュー用顕微鏡搭載!検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

  • 半導体検査/試験装置

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【展示会情報】『SEMICON JAPAN 2025』に出展します

半導体産業における製造技術、装置、材料の国際展示会である SEMICON JAPANにクボタの半導体検査装置を出展致します。 弊社スタッフ一同、ご来場を心よりお待ちしております。 【出展情報】 開催日時:2025年12月17日(水)~19日(金) 10:00~17:00 会  場:東京ビッグサイト 小間位置:W1963 ※ご来場には事前登録が必要です。  登録方法はSEMICON JAPANホームページをご確認ください。

連続塗布でタクトタイムを大幅削減!高精度な微細塗布も可能にする超精密ディスペンサー装置『Quspa-LX』

  • その他半導体製造装置

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ネプコンジャパン2024 出展製品・イベントのお知らせ

このたび進和は、1/24~1/26に開催されるインターネプコンジャパンに出展いたします。 日時:1/24(水)~1/26(金)10:00-17:00 場所:東京ビッグサイト 東1ホール 小間番号 【E4-8B】 弊ブースでは、フルモデルチェンジした新型ディスペンサー装置「Quspa-LX」を初披露。 デモトライをご覧いただけます。 また、世界シェアNo.1のTXC社 水晶振動子、FoxconnグループのCMOS車載向けカメラモジュールをご紹介します。 1/25(木)には、弊ブースにて、あの有名Youtuberの ものづくり太郎 氏がご登場! 新製品の魅力を分かりやすく紹介していただきます。 当日は午前と午後の2回のみの開催です。この機会を是非、お見逃しなく! 午前:11時~ 午後:15時~ 皆様のご来場お待ちしております。 今回より、ネプコンジャパンのご入場には事前登録が必要です。未登録の方はリンクよりご登録ください。

高いクリーン度が求められる環境下での実績が多いストーブリクリーンルームロボット

  • 3D_TS2_60_ESD_vertical_outlet_below_soufflet_profile-49908-jpg-low.jpg
  • 搬送・ハンドリングロボット
  • その他半導体製造装置
  • 多関節ロボット

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スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット

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  • その他半導体製造装置

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SUS304 t1.0薄板使用(溶接あり)

  • 半導体検査/試験装置

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卓上型の搬送機.微細部品の簡易検証にいかがでしょう.

  • 画像処理機器
  • その他半導体製造装置

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3D検査装置 HISR 精密な検査・検証をお手伝い

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  • カラーカメラ
  • その他半導体製造装置

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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有!

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  • スパッタリング装置

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「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています!

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  • CVD装置

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トレイ搬送にも対応可能!優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現

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  • アニール炉
  • 加熱装置

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RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

  • エッチング装置

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好適な表面処理によるパーティクル低減!ロードロック式による高真空プロセスに対応

  • 蒸着装置

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「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有!ご用命の際はお問い合わせください

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  • 蒸着装置

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プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます!

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  • 蒸着装置

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基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!

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  • 加熱装置
  • アニール炉

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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です!

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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【デモ機貸し出し可能!】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適!

  • その他クリーンルーム用機器・設備
  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい

  • その他半導体製造装置

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小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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