X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』
ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置
『Six-3000』は、ウェーハ上のバンプを自動で 検査、判定を行うX線自動検査装置です。 ウェーハ内部のボイド(気泡)をX線を用いて透過し、 その透過画像からボイドの直径(面積)を求め基準値以上の ボイドについての良否を自動判定検査します。 X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には 高性能X線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、 高精度ボイド検査が可能です。 【特長】 ■高解像度の画像が抽出可能 ■高精度ボイド検査が可能 ■高速検査・微小ウェーハバンプ検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社アイビット
- 価格:応相談