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SIMS：二次イオン質量分析法
SIMSによる半導体素材SiGeの不純物の定量・組成評価では、分析時に下記を考慮する必要があります。 ●Ge濃度に応じた適切な定量補正を行わないと不純物定量値は本来の値に比べて50%以上異なることがある。定量評価を行うためには各組成に応じた標準試料が必要。 ●SiとSiGeではスパッタリングレートが異なる事が知られている。組成が深さごとに異なる試料においては、深さごとにスパッタリングレートが変化する。 MSTでは、標準試料の整備により高精度な組成分析が可能です。また、検量線を用いることでSiGe各組成における不純物分析およびスパッタリングレート補正が可能です。
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
ＷＡ（ウエハアナライザー）は、φ76～300mmのウエハを昇温加熱することにより、ウエハ表面に付着している有機汚染物質をガス化させ捕集管にトラップする装置です。そのため、デバイス特性への影響や製造上のトラブルの原因とされるフタル酸エステル系化合物や環状シロキサン化合物などを濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。またヘキサデカンによる換算定量も可能です。 ・ウエハ片面の有機汚染物質の評価が可能 ・真空引きが不要なため、揮発しやすい成分も検出可能 ・有機成分を高感度に検出可能(300mmウエハの場合0.01ng/cm2オーダー) ・ヘキサデカン換算による定量が可能
ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。
TOF-SIMS、D-SIMS：二次イオン質量分析法
半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。 MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-SIMS)で深さ方向へ定量するという、デバイス中の不純物評価が可能です。 本件では、無アルカリガラス中の金属不純物を測定した事例を紹介します。
熱伝導性の情報から高分子の相分離構造を可視化することが可能です。
SiO2製のプローブ先端にPd がコーティングされており、プローブそのものが電気抵抗体となります。そのため、プローブ先端に電流を流すと温度上昇が起こり、試料表面に接触させると、試料がプローブの熱を吸収します。プローブ温度が一定になるように、プローブに供給する電気量を調整し、その供給する電気量の変化を計測点毎にプロットすることで、測定箇所（材質ごと）の熱伝導性を分布として可視化します。
電解液に含まれる各種成分の定性・定量分析
リチウムイオン二次電池の電解液には、電気伝導率の向上のため、比誘電率の高い溶媒と粘度の低い溶媒が組み合わされて用いられます。また、添加剤や電解質（支持塩）にはLiイオンの輸送のほか、電極表面に被膜を形成する機能があり、様々な性能が求められております。電解液そのものをICP-MSで、 電解液加熱時の揮発成分をGC/MSで、また、電解液の乾固物をTOF-SIMSで評価することにより、溶媒、電解質、添加剤など各種成分の定性・定量分析を行った事例を紹介いたします。
活物質表層近傍の組成、結晶構造、化学状態評価が可能！
弊団では、二次電池正極活物質の局所領域評価を承っております。 リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入や劣化に伴い、 活物質表層の結晶構造や金属元素の価数が変化することが知られています。 局所領域の評価としてTEMを用いて組成、結晶構造、化学状態の評価を行った本事例では、 EDXにより最表層にAlOxがコーティングされていることがわかりました。 また電子回折とEELSにより、活物質の表層と内部では 結晶構造および価数が異なっていることがわかりました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
CellPet FTを用いたがんオルガノイドの抗がん剤評価についてご紹介！【技術資料無料進呈】
当資料は、スフェロイド小片化・分散装置「CellPet FT」を用いた "F-PDOの小片化/抗がん剤評価"について掲載している技術資料です。 70μmのメッシュフィルターを使用し、処理直後から培養3日、9日、 13日の様子を写真を用いてご紹介しています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動培養装置「MakCell」は、手培養と比較して温度環境の変化が少ない！【技術資料無料進呈】
卓上型自動細胞培養装置「MakCell」と手培養の比較評価についてご紹介します。 手培養と比べ、MakCellでの培養は、 得られた細胞数の増加が確認できました。 細胞の形態については、特に変わった様子は確認できず、 浮遊する細胞についてはMakCellのみならず手培養ともに確認できました。 ～限定情報～ 現在庫2台（2023年3月時点）に限り、 定価 13,700,000円（税抜）が、2023年6月末までの納入で 約28.5％値引きの定価9,800,000円（税抜）で販売致します！ ［搬入調整費 別途 300,000円（税抜）］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
GD-OES（グロー放電発光分析）によりNiめっきの膜厚、濃度の分析状態を把握できます。他の表面加工の解析にもご活用ください
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。 この事例ではGD-OESによる「めっき工程前の基板洗浄効果調査」を紹介します。 ぜひPDF資料をご一読ください。 弊社では、本事例以外でもめっき関連の分析実績は多数あります。 また、本GD-OESに加えXPS、オージェなどの各種表面分析を行っております。 何かございましたらお気軽にご相談いただければ幸いです。 セイコーフューチャークリエーション 公式HP https://www.seiko-sfc.co.jp/ ※その他の資料もあります。問い合わせボタンからご用命いただければ送付いたします。
信頼性評価・解析、分析等、品質技術に関する『無料セミナー』を開催しています
不定期ではありますが、年に数回の頻度で、信頼性評価・解析、分析等、品質技術に関する『無料セミナー』を開催しています。 ■開催テーマ例■ 開催のご案内は、弊社メールマガジンの購読にご登録いただいたお客様に対して、配信をさせていただいております。無料セミナーのほかにも、お得なキャンペーン等のお知らせも配信致します。 是非ご登録をご検討ください。
パワーモジュール・パワーデバイスの信頼性評価。お客様のパワーサイクル仕様に合わせた試験環境の構築から調査解析までをご提案！
パワー半導体やパワーモジュールなど、電源ON/OFFを繰り返すと、部品・モジュールの自己発熱と冷却の繰り返しにより接合材料の膨張差から歪が発生し接合信頼性の劣化を招きます。自己発熱と冷却の繰り返しサイクルにより発熱動作を考慮したパワーサイクル試験を受託します。 ■パワー半導体・パワーモジュールの採用が進んでいる部品・ユニット・装置 ・電気自動車（EV）、ハイブリッド車（HEV）のトラクションインバーター ・車載充電器、DC-DCコンバーター ・モーター制御、ロボット、工作機械、エレベーター ・産業用インバーターや無停電電源装置（UPS） ・太陽光発電システムや風力発電システム
単位作業場を縦横等間隔に区切って行うA測定や気中濃度のB測定など！技術情報のご紹介
作業環境測定の評価についてご紹介いたします。 A測定とは、気中有害物質の濃度の平均的な状態を把握するために、単位作業場を 縦横等間隔に区切って行う測定です。 B測定とは、A測定を補うための測定で、作業者の曝露量が最大と考えられる場所と 時間における気中濃度の測定です。 【概要】 ■A測定：気中有害物質の濃度の平均的な状態を把握するために、単位作業場を 縦横等間隔に区切って行う測定 ■B測定：A測定を補うための測定で、作業者の曝露量が最大と考えられる場所と 時間における気中濃度の測定 ■第1評価値：単位作業場内の5%がこの濃度を超えている ■第2評価値：算術平均値 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
