『GA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがPEEK樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 2相ステッピングモータ使用。 極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能です。 また、4インチウェハに対応。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■RS232C通信制御 ■2相ステッピングモータ使用 ■4インチウェハ対応 ■極単純構造にすることにより、製造コストの大幅な削減が可能 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『AA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがポリアセタール樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ。 RS232C通信制御またはI/O制御です。 また、5・6・8インチウェハに対応しています。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ■2相ステッピングモータ使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を 単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアーム クリーンロボットです。 全軸2相ステッピングモータ仕様。 各種センサを装備しています。 リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、 当社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■各種センサを装備 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式)オプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『PR1000シリーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 また、回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■ハンドがステッピングモータ駆動によって180度反転可能 ■アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

当製品は、あらかじめ登録した欠陥種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作でデータ保存や上位システムと連携する ■ダブルアームロボット、アライナ、反転ユニット、自動撮像ユニット、 　制御機器(基本移載ソフト含む)を装備 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 製造受託

当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■指定の座標の画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する ■自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送 ■受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他検査機器・装置

当製品は、マクロミクロ検査装置にレーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などが搭載された装置です。マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には搬送ユニットがウェハを自動供給。マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行えるほか、上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行えます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■レーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などを搭載 ■マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡観察が行える ■マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には 　搬送ユニットがウェハを自動供給 ■上位システムと連携し指定座標にレーザーによる自動マーキングが行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 製造受託

当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■ウェハID読取りによるソート機能を搭載 ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 　統合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他検査機器・装置

当製品は、ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、観察 ■マクロユニット：ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能 ■ミクロユニット ・電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動 ・トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他検査機器・装置

当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を 追加できる装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。 2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。 また、測定機システムを上位として、連携させることが可能です。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を追加できる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能 ■2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできる ■測定機システムを上位として、連携させることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

当製品は、既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる卓上タイプの コンパクトな装置です。 顕微鏡のステージにウェハを供給、回収。 ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで自動的に 行われます。 もし、顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携させることも できます。 【特長】 ■5・6インチウェハ対応 ■既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる ■顕微鏡のステージにウェハを供給、回収する装置 ■ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで 　自動的に行う ■顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特長】 ■8インチタイコウェハ対応 ■研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応 ■相互間で移し替えることができる ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 　接触することなく移載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他検査機器・装置

当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■全てのカセットステージが昇降機能をもつ ■取出し用と収納用のロボット2台によるソーティングを行う ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 　総合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他検査機器・装置

当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ■6.8インチSEMI規格ウェハ対応 ■カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能 ■相互間で移し替えることができる ■スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハー
• 製造受託
• その他検査機器・装置

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 要望する目視検査できる装置が複雑過ぎて、他社では作ってもらえないとご相談をいただきました。 当社のカスタムオーダーにて、長年の経験と新規開発のソフトウェアを駆使し、ご要望に沿った仕様の装置を製作しました。 【特長】 ■課題：希望する目視検査できる装置が複雑過ぎて、他社では作ってもらえない ■製作：長年の経験と新規開発のソフトウェアを駆使し、ご要望に沿った仕様の装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• 検査ロボット

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 ピンセットを使い、手作業でウェハを運んでいるが、よく破損する。 そのため品質の安定を図り、労働環境を改善したいというご要望をいただきました。 当社のカスタムオーダーにて、取扱が簡単で、安価な自動搬送の検査装置を製作しました。 【特長】 ■要望：品質の安定を図り、労働環境を改善したい ■製作：取扱が簡単で、安価な自動搬送の検査装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 製造受託
• その他搬送機械

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 自社で保有する顕微鏡を再利用して、目視観察のできる装置を作りたいというご要望をいただきました。 当社のカスタムオーダーにて、必要な機能のみを抜粋して、新規に装置を製作しました。 【特長】 ■要望：自社で保有する顕微鏡を再利用して、目視観察のできる装置を作りたい ■製作：必要な機能のみを抜粋した新規装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 検査ロボット
• 製造受託

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 一秒でも早く、一秒でも多く顕微鏡検査をしたいというご要望をいただきました。 当社のカスタムオーダーにて、特別なロボットとコントローラーを作成しました。 【特長】 ■要望：秒でも早く、一秒でも多く顕微鏡検査をしたい ■製作：特別なロボットとコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 検査ロボット
• 製造受託

多くの企業様で検査の自動化の必要性に直面しています。 一昔前は多くの人、多くの検査員の目で製品の品質を確保していました。 しかし、今は人手をかけた作業が難しくなっています。 当社は、今まで人の目を使って検査していた、マクロ検査装置や顕微鏡観察の自動化に長年取り組んできました。 不良、異常の種類によっては、今すぐにでも対応可能。 バックグラインドのウェハ裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕やキズなど、検出が難しい不良も検出可能。まずはご相談ください。 【メリット】 ■コストパフォーマンが高い ■取り扱いが容易 ■高速化しやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 自動選別機
• 検査ロボット

パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものばかり。 扱いが難しかったり、各種センシングの難しいデバイスが多いです。 当社は、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当たり前、「ウェハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発。 そのため当社は、扱いが難しい、特殊ウェハであるタイコウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハなどに自信を持って「対応できると」断言します。 【対応特殊ウェハ】 ■タイコウェハ ■80μm 以下の薄ウェハ ■15mm 以上反ったウェハ ■SiC ウェハ ■石英ウェハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他搬送機械
• その他高分子材料

『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。 【特長】 ■基板保持：前後方向の端面をクランプ ■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■各種センサ装備 ■RS232C制御又はパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング　高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 　180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイプACサーボモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能です。 【特長】 ■コンパクトボディ、ロングストローク ■横スライド軸と簡単にドッキングできる設計 ■スライド軸：インクリメンタルエンコーダ仕様サーボモータ制御可能 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回 ■上下軸：サーボモータ仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■基板保持：CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持 ■フォーク：250℃耐熱性CFRPフォーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『GA2400』は、PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持する エッジグリップ仕様アライナーです。 ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決めが可能。 極単純構造にすることにより、製造コストを大幅に削減できます。 また、2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：PEEK樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め ウェハ外周を把持し、光センサによる位置決め ■2相ステッピングモータ使用 ■RS232C通信制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。 ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。 スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め　スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択が可能 ■ファイバセンサ搭載 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備しています。 【特長】 ■ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替え可能 ■マッピングセンサ搭載 ■帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチ装備 ■専用ソフトによるパソコンでの制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• その他搬送機械

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■アクリルカバー、各種インターロック装備 ■観察ポイント、検査結果を記録収納可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マッピングセンサ搭載 ■塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に顕微鏡XYステージに供給 ■透過式マッピングセンサ搭載 ■ジョイスティックにより任意な座標制御可能 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置
• 検査ロボット

当カタログは、超小型で低消費電力を実現したクリーン搬送機器の 開発専門集団であるアテル株式会社の製品カタログです。 卓上型クリーン搬送装置から半導体用搬送ロボット、防水対応用ロボット、 真空対応用ロボット、液晶用搬送ロボットなどを豊富に掲載しております。 【掲載製品】 ■卓上型　顕微鏡ローダー 　・SYAR110 　・SYAR112 ■卓上型　ソータ 　・SYAR100 　・SYAR110 ■卓上型　マクロミクロ検査装置 　・SYAR120　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• レーザー顕微鏡
• 検査ロボット
• 搬送・ハンドリングロボット