固体試料表面の質量分析法の使い分け
目的成分やイメージ ング視野の大きさなどに応じて、両手法を使い分けることが有効です
代表的な固体試料表面の質量分析法であるTOF-SIMSとMALDI-MSでは、ともに定性分析やイメージン グ分析が可能です。ハードイオン化法を利用するTOF-SIMSでは、質量が数百までの無機・有機成分を 高感度に検出できます。一方、ソフトイオン化法を利用するMALDI-MSでは、数千~数万の高分子を検 出できます。また、照射ビームの径に依存してイメージの空間分解能も異なります。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:1万円 ~ 10万円