高温XRDによる極薄膜の結晶性評価
温度条件による相変化・化学反応・格子定数の変化を知るために有効な手段!
当社で行う「高温XRDによる極薄膜の結晶性評価」についてご紹介いたします。 高温でのX線回折(XRD)は、各種材料の温度条件による相変化・化学反応・ 格子定数の変化を知るために有効な手段です。 添付のPDF資料にて、nmオーダの極薄膜の結晶構造の変化をIn-PlaneXRD+ 高温測定で評価した事例をご紹介しておりますので、ぜひご覧ください。 【高温+In-Plane XRD 特長】 ■極低角でX線を入射して面内方向に検出器を走査させる方法 ■入射X線は表面から深くまで入らず、かつ表面に対して 垂直な回折面のみを検出することができる ■数nmの極薄膜についても結晶の情報を得ることができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:東芝ナノアナリシス株式会社
- 価格:応相談